全文摘要
本实用新型公开了一种适应不同硅片尺寸石英舟。该石英舟包括结构相同且相互平行设置的第一侧板和第二侧板，第一侧板开有阶梯形的第一通槽，阶梯形的第一通槽包括多个槽角，第一通槽相对于水平面倾斜设置，第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱。本实用新型在侧板上设置阶梯形的通槽，通槽包括有槽角，石英柱置于槽角内，使用者可以通过将石英柱置于不同的槽角内以达到调节两石英柱之间间距的目的，进而使得石英舟能适应不同规格的硅片。
主设计要求
1.一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，其特征在于：所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角，第二石英柱的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角。
设计方案
1.一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，其特征在于：所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角，第二石英柱的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角。
2.根据权利要求1所述的适应不同硅片尺寸石英舟，其特征在于：所述第一石英柱包括带有硅片卡槽的承载部和用于插入第一通槽槽角的支撑部，所述承载部为长方体形，所述承载部的一面沿石英柱长度方向均匀设置有用于承载硅片的硅片卡槽，所述支撑部为L形的圆柱体，所述支撑部包括置于槽角内的支持端和露出槽角的限位端，所述支持端和限位端一体成型，所述承载部与支撑部焊接成型，所述L形支撑部的限位端朝向与承载部设有硅片卡槽一面相反方向，第二石英柱与第一石英柱结构相同。
3.根据权利要求2所述的适应不同硅片尺寸石英舟，其特征在于：第一石英柱设有硅片卡槽的一面与第二石英柱设有硅片卡槽的一面相向设置。
4.根据权利要求2所述的适应不同硅片尺寸石英舟，其特征在于：所述硅片卡槽的两槽边的夹角为30°。
5.根据权利要求1或2所述的适应不同硅片尺寸石英舟，其特征在于：第一侧板、第二侧板在每个槽角处设置有限位孔，所述限位孔设置为多个，每个槽角处的多个限位孔沿弧形布设，所述限位孔内设有用于限位限位端的限位销，所述限位销为C形石英限位销。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及石英舟技术领域，特别涉及一种适应不同硅片尺寸石英舟。
背景技术
石英舟是扩散工艺的必备工具，由于其耐高温、不变形等优良特性，石英舟作硅片的载体已成为太阳能扩散工艺中的常规选择。现有技术中的石英舟根据所需承载硅片的大小进行定制，定制出来的石英舟往往只能适应一种规格的硅片，当硅片规格不同时，需要更换石英舟对硅片进行承载，这样就造成了成本的提高。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种能够适应不同硅片规格尺寸的石英舟。
为了实现上述实用新型目的，本实用新型一种适应不同硅片尺寸石英舟采用了如下技术方案：
一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板结构相同且相互平行设置，所述第一侧板开有阶梯形的第一通槽，所述阶梯形的第一通槽包括多个槽角，所述第一通槽相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽的最高端位于第一侧板的上端，所述第一侧板还开有与第一通槽结构相同的第二通槽，第一通槽与第二通槽对称设置在第一侧板上，与第一侧板结构相同的第二侧板包括第三通槽、第四通槽，所述第一侧板与第二侧板之间设置有第一石英柱和第二石英柱，第一石英柱的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角，第二石英柱的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角。石英舟两侧板上均设有相对称的阶梯形的通槽，两石英柱分别插入通槽的槽角内，由于通槽倾斜设置，将石英柱置于不同的槽角内就能使得两石英柱间的间距不同，也就使得石英舟能承载不同规格大小的硅片。
所述第一石英柱包括带有硅片卡槽的承载部和用于插入第一通槽槽角的支撑部，所述承载部为长方体形，所述承载部的一面沿石英柱长度方向均匀设置有用于承载硅片的硅片卡槽，所述支撑部为L形的圆柱体，所述支撑部包括置于槽角内的支持端和露出槽角的限位端，所述支持端和限位端一体成型，所述承载部与支撑部焊接成型，所述L形支撑部的限位端朝向与承载部设有硅片卡槽一面相反方向，第二石英柱与第一石英柱结构相同。石英柱包括用于承载硅片的承载部和置于槽角内的支撑部，支撑部为L形的圆柱体可以使得石英柱在槽角内进行一定的转动，同时通过将支撑部置于不同的槽角能调节石英柱的位置，也就使得石英舟能适应不同规格的硅片。
第一石英柱设有硅片卡槽的一面与第二石英柱设有硅片卡槽的一面相向设置。所述硅片卡槽的两槽边的夹角为30°石英柱设有硅片卡槽的一面相向设置，方便了石英舟对硅片的承载，卡槽槽边的夹角设为30°使得硅片插入卡槽后能较为稳定。
第一侧板、第二侧板在每个槽角处设置有限位孔，所述限位孔设置为多个，每个槽角处的多个限位孔沿弧形布设，所述限位孔内设有用于限位限位端的限位销，所述限位销为C形石英限位销。限位销配合限位孔能对石英柱支撑部的限位端进行限位固定，保证了石英柱承载硅片时的稳定，同时多个限位孔沿弧形布设也方便了石英柱进行微小转动以适应硅片的插入。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
1、本实用新型在侧板上设置阶梯形的通槽，通槽包括有槽角，石英柱置于槽角内，使用者可以通过将石英柱置于不同的槽角内以达到调节两石英柱之间间距的目的，进而使得石英舟能适应不同规格的硅片。
2、侧板在通槽的槽角处设有限位孔，限位孔沿弧形布设使得使用者在硅片插入时可以调节石英柱硅片卡槽的承载角度，使石英舟能更安全稳定地承载硅片。
附图说明
图1为石英舟的侧视图；
图2为石英舟的俯视图；
图3为石英舟的主视图；
图4为石英柱的结构示意图；
图5为图4的A部放大图；
图6为限位销的结构示意图
其中，11第一侧板，12第二侧板，21第一通槽，22第二通槽，31第一石英柱，312承载部，3121硅片卡槽，313支撑部，3131支持端，3132限位端， 32第二石英柱，41限位销，42限位孔，5槽角,α硅片卡槽两槽边夹角。
具体实施方式
下面结合具体实施方式，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
如图1至图6所示，一种适应不同硅片尺寸石英舟，包括第一侧板11和第二侧板12，第一侧板11和第二侧板12结构相同且相互平行设置，所述第一侧板11开有阶梯形的第一通槽21，所述阶梯形的第一通槽21包括多个槽角5，所述第一通槽21相对于水平面倾斜设置，所述第一通槽21的最高端位于第一侧板11的上端，所述第一侧板11还开有与第一通槽21结构相同的第二通槽22，第一通槽21与第二通槽22对称设置在第一侧板11上，第二通槽22也包括槽角5，与第一侧板11结构相同的第二侧板12包括第三通槽、第四通槽，第三通槽、第四通槽也包括槽角5，所述第一侧板11与第二侧板12之间设置有第一石英柱31和第二石英柱32，第一石英柱31的两端分别插入第一通槽、第三通槽的槽角5，第二石英柱32的两端分别插入第二通槽、第四通槽的槽角5。所述第一石英柱31包括带有硅片卡槽3121的承载部312和用于插入第一通槽槽角的支撑部313，所述承载部312为长方体形，所述承载部312的一面沿石英柱长度方向均匀设置有用于承载硅片的硅片卡槽3121，所述支撑部313为L形的圆柱体，所述支撑部313包括置于槽角内的支持端3131和露出槽角的限位端3132，所述支持端3131和限位端3132一体成型，所述承载部312与支撑部313焊接成型，所述L形支撑部的限位端3132朝向与承载部312设有硅片卡槽3121一面相反方向，第二石英柱32与第一石英柱31结构相同。第一石英柱31设有硅片卡槽的一面与第二石英柱32设有硅片卡槽的一面相向设置。所述硅片卡槽 3121的两槽边的夹角α为30°。第一侧板11、第二侧板12在每个槽角5处设置有限位孔42，所述限位孔42设置为多个，每个槽角5处的多个限位孔42沿弧形布设，所述限位孔42内设有用于限位限位端的限位销41，所述限位销41 为C形石英限位销。
本实用新型的具体工作过程与原理：
将石英柱的支撑部313放在槽角5内，再将支撑部313和石英柱的承载部312 焊接连接，石英柱就安放在了两侧板的通槽的槽角内；当石英舟需要承载硅片时，通过转动石英柱支撑部313的限位端3132调整硅片卡槽3121的承载角度，使用C形石英限位销41插入限位孔42，对石英柱限位固定，保证硅片插入时的安全稳定；当需要承载不同规格的硅片时，调节石英柱将其置于不同的槽角内再使用限位销41在石英柱调整角度后固定石英柱，等待硅片的插入。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920121458.0
申请日:2019-01-24
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209328863U
授权时间:20190830
主分类号:H01L 21/673
专利分类号:H01L21/673
范畴分类:38F;23E;
申请人:扬州美和光电科技有限公司
第一申请人:扬州美和光电科技有限公司
申请人地址:225000 江苏省扬州市邗江区运河北路五丰商贸2号楼
发明人:孔超;徐亮荣;郭辉
第一发明人:孔超
当前权利人:扬州美和光电科技有限公司
代理人:谢东
代理机构:32315
代理机构编号:扬州润中专利代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：石英论文;