导读:本文包含了氧化硅薄膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:薄膜,偏振,性能,溶胶,等离子体,湿法,肉桂。
氧化硅薄膜论文文献综述
高丹,康洪亮,徐强,佟丽英[1]（2019）在《APCVD制备二氧化硅薄膜工艺研究》一文中研究指出背封技术可以有效防止硅外延过程中造成的自掺杂现象。讨论了APCVD制备二氧化硅膜工艺中膜厚、淀积温度和O_2与SiH_4比例等关系,分析了膜厚均匀性的影响因素和膜表面质量,提出了SiO_2膜淀积的工艺条件及背封前清洗方法。(本文来源于《电子工艺技术》期刊2019年06期）
常潇,赵青南,王晓宏,陆文涛,董玉红[2]（2019）在《碳氧化硅过渡层对玻璃基DLC薄膜性能的影响》一文中研究指出采用射频-直流磁控溅射法,首先通过不同沉积时间在普通玻璃基底表面得到了不同厚度的碳氧化硅过渡层,然后在过渡层上沉积DLC薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、共焦显微拉曼光谱仪(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、全自动显微硬度仪、紫外可见分光光度计,研究了不同沉积时间下碳氧化硅层对DLC薄膜的结构组成、表面形貌、表面硬度、可见光区域内透过率性能的影响。结果表明,随着沉积碳氧化硅层时间的增加,DLC薄膜样品硬度先增大后减小,可见光区平均透过率逐渐下降;当沉积过渡层时间为5 min时,DLC薄膜样品的玻璃硬度值最大(795 HV),相比未镀膜的玻璃基片(610 HV),硬度值增加了30.33%,可见光区域内平均透过率为58.47%。(本文来源于《硅酸盐通报》期刊2019年10期）
赵旸周,袁卫锋[3]（2019）在《纳米二氧化硅/聚偏氟乙烯复合材料薄膜的压电性能》一文中研究指出本研究介绍了纳米二氧化硅/聚偏氟乙烯(SiO_2/PVDF)压电复合材料的制备和性能。为提高材料的压电性能,在PVDF中添加纳米SiO_2颗粒,使用溶液流延法制成薄膜,采用高倍率单轴拉伸的方法增加PVDF材料中β相的含量,之后在薄膜两面涂布导电银浆电极,并在高电压下对材料进行极化。研究中使用悬臂梁振动试验台对压电复合材料薄膜的性能进行了一系列测试,分析了纳米SiO_2颗粒含量以及悬臂梁振动频率对SiO_2/PVDF薄膜开路电压的影响规律,并对悬臂梁-压电膜能量转换系统的电能采集能力进行了评估。结果表明,添加纳米SiO_2颗粒可以显着提高该PVDF复合材料的压电性能。由于SiO_2/PVDF薄膜为柔性材料,因此可以被更方便地应用于环境小能量采集或者自我供能的可穿戴装置。(本文来源于《材料科学与工程学报》期刊2019年04期）
阳耀月[4]（2019）在《硅晶圆表面氧化硅薄膜的化学沉积及温度对反应动力学的影响研究》一文中研究指出为推动开发硅基太阳能电池单面制绒工艺,本研究利用化学湿法在Si晶圆表面构建了均一的SiO_2膜(记为SiO_2@Si),动力学研究表明膜生长速率从(1.1±0.01) nm·min~(-1)(30℃)逐渐增至(4.9±0.41) nm·min~(-1)(70℃),这与该沉积反应的吸热特性相符。(本文来源于《山东化工》期刊2019年15期）
张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理[5]（2019）在《用PECVD工艺制备功能装饰氧化硅薄膜的性能》一文中研究指出用PECVD技术制备氧化硅薄膜,研究了生成样品的位置对薄膜成分、结构和性能的影响,探讨了制备兼具高透光性和耐刮擦性的功能装饰氧化硅薄膜的方法。结果表明,在阳极位置生成的薄膜具有Si(CH3)nO有机氧化硅结构,在380～780 nm波长范围内透光率高达90%～98%,但是薄膜的结构疏松,硬度仅为2 GPa。提高制备温度可使薄膜硬度提高至6 GPa,但是透光率略有降低;在阴极位置生成的薄膜具有无机氧化硅复合非晶碳结构,薄膜结构致密,硬度可达15 GPa,但是在380～780 nm波长范围内透光性差;增加O2反应气体可促使碳与氧反应生成二氧化碳,非晶碳结构消失,薄膜透光率提高到99%,但是硬度降低到9 GPa。(本文来源于《材料研究学报》期刊2019年06期）
党秀洁[6]（2019）在《二氧化硅—肉桂醛抗菌微胶囊及其可降解薄膜的制备与表征》一文中研究指出食品腐败会导致人体食源性感染,因此需要寻找一种新型、高效且安全的防止食品腐败变质的抗菌剂。肉桂醛(CA)是肉桂精油的主要成分,具有广谱抗菌性,可用于食品调味和防腐,但因易挥发、易降解等不稳定性的影响而限制了其应用。微胶囊技术能够将肉桂醛包裹在壁材内部,使之免受光、热及氧的降解。本课题利用溶胶-凝胶微胶囊化包埋天然抗菌剂肉桂醛制备二氧化硅-肉桂醛(SiO2-CA)微胶囊,并研究缓释规律;在此基础上利用自动涂膜机制备PBAT/SiO2-CA抗菌薄膜,研究结果如下:(1)采用溶胶-凝胶法和水包油法制备了以肉桂醛为芯材,二氧化硅为壁材的SiO2-CA微胶囊。通过单因素试验和正交试验探究出微胶囊的最佳制备工艺为:正硅酸乙酯0.7 mL,乙醇与水体积比0.59,氨水体积1.5 mL,表面活性剂质量0.09g,肉桂醛体积0.1 mL,转速700 r/min。最佳工艺制备的微胶囊包埋率为58.33%,且微胶囊形态呈规则的球状,粒径范围在540nm-760nm之间,透射电镜观察到SiO2-CA微胶囊的“壳-核”结构,壳厚约40nm。SiO2-CA微胶囊的抑菌圈实验表明微胶囊对单核细胞增生李斯特菌和大肠杆菌均具有抑菌性,其浓度为90 mg/mL的抑菌圈分别为13.95 mm和11.99 mm。(2)研究了不同温度和不同湿度条件下SiO2-CA微胶囊中肉桂醛在15 d的释放规律,结果发现在40℃、23℃和4℃下其最终释放率分别为87.46%、74.46%和56.58%;在90%RH、70%RH和50%RH下其最终释放率为87.46%、84.4%和77.87%。并利用零级动力学模型,一级动力学模型、Higuchi模型以及Korsmeyer-Peppas模型拟合Si02-CA微胶囊的缓释机理,结果表明不同条件下微胶囊的释放规律均与一级动力学模型有较高的相关系数(R2>0.94);而在低温(4℃)和较低湿度条件下(50%RH和70%RH)Si02-CA微胶囊的释放还与Korsmeyer-Peppas模型有较高的相关系数(R2>0.92)。(3)利用自动涂膜机制备Si02-CA微胶囊添加量为0.5%、2.5%和4.5%的PBAT/SiO2-CA抗菌薄膜。PBAT/SiO2-CA抗菌薄膜抑菌率实验表明:不同SiO2-CA微胶囊添加量的抗菌薄膜对大肠杆菌和李斯特菌的抑菌率均>95%。微胶囊的添加增加了薄膜刚性,降低了薄膜韧性,在Si02-CA添加量为2.5%时,拉伸强度为13.58MPa,达到最大值;PBAT/Si02-CA抗菌薄膜的阻湿性能分析表明,添加量为2.5%的微胶囊能提高薄膜阻湿性能;原子力显微镜结果分析表明,2.5%的微胶囊添加量能降低薄膜表面粗糙度。PBAT/Si02-CA抗菌薄膜的热性能分析表明,SiO2-CA微胶囊可增加薄膜结晶程度以及晶片完善程度,进一步解释了薄膜拉伸强度、阻湿性提高的原因。(本文来源于《广西大学》期刊2019-06-01）
陈若望,汪鹏君,张晓伟,张跃军,张会红[7]（2019）在《Au/Bi共掺二氧化硅薄膜的制备及近红外光谱调控》一文中研究指出根据X射线光电子能谱分析和选择性光致发光谱测试结果,探讨了Bi离子掺杂非晶二氧化硅薄膜的近红外发光来源。我们认为非晶二氧化硅薄膜中Bi离子的近红外发光来源于低价态Bi~+离子从轨道~3P_1层到~3P_0层的辐射复合跃迁和Bi~0从轨道~2D_(3/2)层到~4S_(3/2)层的辐射复合跃迁。此外,本文利用限制性晶化原理,通过在掺Bi二氧化硅薄膜中引入Au离子,实现了Bi离子相关的近红外发光峰位可调,荧光强度增大了300%。高分辨透射电子显微镜截面图片证实了非晶二氧化硅薄膜厚度约为90 nm以及不同尺寸、数密度Au量子点的形成。变温光致发光谱测试结果表明,部分Au离子可有效降低Bi离子掺杂非晶二氧化硅薄膜中羟基集团等非辐射复合中心密度。Bi离子掺杂非晶二氧化硅薄膜近红外发光来源的探讨以及通过Au量子点调控Bi离子近红外发光性质的讨论将有助于未来掺Bi发光材料的相关研究。(本文来源于《发光学报》期刊2019年05期）
赵美姣[8]（2019）在《二氧化硅纳米通道薄膜的限域分子传输研究》一文中研究指出当纳米多孔膜内的传质空间与分子或离子的运动自由程相当时,分子或离子表现出与其在本体溶液中不同的传输行为,这一异常传质特性归因于纳米多孔膜的纳米限域效应。研究纳米多孔膜的纳米限域效应,在药物释放、节能过滤、能源产生和存储领域均具有十分重要的意义。二氧化硅纳米通道薄膜(Silica Nanochannel Membrane,简称SNM)是一类孔径均一、孔道高度有序且垂直贯穿整个结构的多孔薄膜材料。均一的孔径有利于提高SNM的尺寸选择性;超高的孔隙率可以实现高通量过滤;此外,在SNM孔道表面修饰功能性基团,还可以得到多种刺激响应型的薄膜。本论文围绕SNM的纳米限域效应,主要研究了分子“单行扩散”和超快质子传输,分为四个章节展开。第一章,首先介绍了纳米多孔膜的基本理论,包括双电层理论和电势分布。然后介绍了纳米多孔膜的分离机理,其中着重介绍了纳米限域效应,并从“单行扩散”、超快离子传输、超快水传输和超快气体传输四个方面进行了简单概述。接着,分别介绍了不同种类的纳米多孔膜及其制备方法。最后,从纳米限域效应的角度,列举了纳米多孔膜在药物释放、节能过滤、动能生电、能源存储等方面的应用。第二章,采用Stober溶液生长法在氧化铟锡(ITO)电极表面制备了孔径约为2.3 nm的SNM,并利用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)辅助转移法,将SNM转移到聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)多孔基底上,得到双通的SNM/PET复合膜。通过将PET硅烷化处理,在SNM和PET之间引入不可逆的化学键合来提高SNM/PET复合膜的稳定性。并且在SNM表面接枝上对pH敏感的聚多胺分子,可在不同的pH条件下调节孔道的开关。接着分别在模拟胃液(SGF,pH=1.2)和模拟肠液(SIF,pH=7.5)的条件下开展过滤实验,来模拟pH控制的肠道药物释放。选用甲砜霉素甘氨酸酯盐酸盐(TPG)作为模型药物分子,发现TPG在SIF条件下可以选择性地通过聚多胺修饰的SNM/PET复合膜,并且能够以“单行扩散”的方式进行传输,其24 h的扩散动力学曲线为一条零级释放的直线。第叁章,SNM制备经济简单、孔径均一、孔道高度有序,具备高选择性和高通量,并且之前有文献报道过质子可以在二氧化硅纳米通道内进行超快传输,这些特性使得SNM在质子交换膜领域展现出潜在的应用价值。结合Bocquet之前报道过的纳米短通道离子电导模型,通过引入修正系数来构建一个新的多孔纳米短通道离子电导理论模型。利用PMMA辅助转移法将SNM转移到单孔SiN基底上,得到SNM/SiN复合膜。通过实验测出SiN和SNM/SiN芯片在不同浓度的KCl、NaCl和HCl溶液中的Ⅰ-Ⅴ曲线,并经过简单计算得到了SNM在不同溶液中的离子电导。用KCl和NaCl的实验电导数据与理论电导数据拟合求得修正系数,最终得到完整的多孔纳米短通道离子电导理论模型。根据离子电导与电迁移率的关系,计算得到质子在SNM内的电迁移率约为本体电迁移率的4倍,从而证明了质子在SNM中的超快传输。第四章,对以上两个工作进行了总结,并对未来可能开展的工作进行了展望。(本文来源于《浙江大学》期刊2019-04-22）
高宇晗[9]（2019）在《硅酸铒镶嵌氧化硅薄膜的制备及其光学性能的研究》一文中研究指出硅基光电子是信息技术发展的重要方向之一,与大规模集成电路工艺相兼容的高效硅基光源已成为硅基光电子集成亟待解决的问题。由于体硅是间接带隙半导体,其发光效率很低。因此,在过去的十多年间,研究者开发了多种技术希望解决这一关键问题。在众多的解决方案中,掺铒硅基材料由于铒离子在1540 nm处的发光正好对应于石英光纤的最低损耗窗口,从而得到了广泛的关注。但是铒离子的激发截面较小,且在大部分硅基材料中的掺杂浓度较低,因此如何实现铒离子的高效发光是该方向研究中的关键问题,而将硅酸铒材料与敏化剂结合起来是解决铒离子高效发光的重要途径。本文系统地研究了硅酸铒的制备,晶型转变,不同晶型的晶体结构、发光性能,以及硅酸铒的敏化发光过程,取得了如下主要创新结果:(1)成功制备了具有不同晶型的硅酸铒薄膜,并在研究中发现了硅基薄膜中铒硅成分比例、热处理温度、热处理气氛对硅酸铒结晶及晶型转变的影响规律。实验指出,高浓度铒掺杂的氧化硅薄膜中硅酸铒的结晶温度约为1000℃。当薄膜中的铒硅成分比接近1:1时,形成的硅酸铒从低温到高温的晶型转变过程为由y-ErSi2O7转变为α-Er2Si2O7,再到β-Er2Si2O7。当薄膜中的铒硅成分比接近2:1时,形成的硅酸铒从低温到高温的晶型转变过程则为由X1-Er2SiO5转变为α-Er2Si2O7,再到β-Er2Si2O7。但是,薄膜成分偏离硅酸铒的化学计量比或在氧气气氛下热处理都会提高硅酸铒的晶型转变温度并减小薄膜中硅酸铒晶粒的尺寸。(2)研究指出了不同晶型的硅酸铒具有不同的发光性能,并在硅酸铒不同晶型的发光性能及其晶体结构信息之间建立起了可对应的联系,包括谱线位置、发光效率、发光寿命及温度淬灭效应。其中发光效率最高、发光寿命最长的是y-Er2Si2O7,其次是α-Er2Si2O7与β-Er2 Si2O7,发光寿命最短的是X1-Er2SiO5。另外,v-Er2Si2O7的温度淬灭效应明显低于α-Er2Si2O7。经过计算,y-Er2Si2O7、α-Er2Si2O7、β-Er2Si2O7、X1-Er2SiO5中的铒离子发光寿命-密度乘积比为3.1:1.5:1.3:1.2,该值的大小也代表了材料在1540 nm处的光放大能力。研究还指出,y-Er2Si2O7之所以拥有最高的发光效率、最长的发光寿命以及最低的温度淬灭效应,是因为其较大的光学活性铒离子数量、较大的铒离子间距与较好的对称性以及较强的Er-O键。(3)成功制备了非晶硅团簇与硅酸铒共镶嵌的氧化硅薄膜,并在研究中发现了纳米硅的形成受限于硅酸铒的结晶的规律。在热处理温度较低时,富硅硅酸铒薄膜中会析出大量硅纳米晶,但是当温度升高至接近硅酸铒的结晶温度时,硅纳米晶消失,硅酸铒结晶,从而形成了非晶硅团簇镶嵌的硅酸铒薄膜。若将热处理时间进一步延长,非晶硅团簇中仍然无法形成硅纳米晶,这主要是由于非晶硅团簇中硅纳米晶的形核受到了包覆其外的硅酸铒晶体与非晶硅界面的严重影响,使其形核功大大增加。(4)研究发现富硅硅酸铒薄膜中硅酸铒的敏化发光主要来源于薄膜中的非晶硅团簇及发光中心的敏化作用。热处理后,在非晶硅团簇镶嵌的硅酸铒薄膜中得到了硅酸铒的敏化发光,主要敏化剂为薄膜中的非晶硅团簇及发光中心。为了提高硅酸铒的敏化发光效果,实验利用新的两步热处理的方法,同时优化富硅硅酸铒薄膜的微结构、晶体质量、晶型组成以及敏化剂浓度等参数,并在经过1000℃30 min+1100℃30 min热处理的样品中得到了最佳的敏化发光强度。(本文来源于《浙江大学》期刊2019-04-01）
张晔岚,张昆,孔伟金,李采彧,夏峰[10]（2019）在《基于二氧化硅薄膜夹层式亚波长金属光栅的宽波段太赫兹偏振分束器（英文）》一文中研究指出设计出一种结构新颖的宽波段太赫兹偏振分束器,这种偏振分束器由夹层式亚波长金属光栅制成。亚波长金属光栅偏振分束器可以将入射的任意自然光分成两束偏振状态垂直的线偏振光。其中,TE模反射而TM模透射。设计的偏振分束器在3.5～5.5 THz波段可以达到很高的衍射效率与消光比。但是,在光栅的实际制作过程中,加工技术的缺陷引起的误差大大影响了光栅的性能,比如衍射效率,消光比等。因此文中对一些结构参数进行了计算,从计算结果可以看出这种偏振分束器也有很好的TM工艺容差。当覆盖层厚度D_1与底层介质厚度D_3的变化范围分别为1～1.2μm和2.8～3μm时,T_0~(TE)大于96.9%,R_0~(TE)大于98.7%。T_c和R_c分别大于31 d B和33.4 dB。结果显示,设计的偏振分束器在2 THz的带宽10°的大角度范围内,衍射效率高于90%,消光比大于20 dB。因此文中设计对于太赫兹调制器件的研究,以及太赫兹通信系统的集成都有很大的参考价值。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2019年05期）
氧化硅薄膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
采用射频-直流磁控溅射法,首先通过不同沉积时间在普通玻璃基底表面得到了不同厚度的碳氧化硅过渡层,然后在过渡层上沉积DLC薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、共焦显微拉曼光谱仪(Raman)、场发射扫描电子显微镜(SEM)、全自动显微硬度仪、紫外可见分光光度计,研究了不同沉积时间下碳氧化硅层对DLC薄膜的结构组成、表面形貌、表面硬度、可见光区域内透过率性能的影响。结果表明,随着沉积碳氧化硅层时间的增加,DLC薄膜样品硬度先增大后减小,可见光区平均透过率逐渐下降;当沉积过渡层时间为5 min时,DLC薄膜样品的玻璃硬度值最大(795 HV),相比未镀膜的玻璃基片(610 HV),硬度值增加了30.33%,可见光区域内平均透过率为58.47%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
氧化硅薄膜论文参考文献
[1].高丹,康洪亮,徐强,佟丽英.APCVD制备二氧化硅薄膜工艺研究[J].电子工艺技术.2019
[2].常潇,赵青南,王晓宏,陆文涛,董玉红.碳氧化硅过渡层对玻璃基DLC薄膜性能的影响[J].硅酸盐通报.2019
[3].赵旸周,袁卫锋.纳米二氧化硅/聚偏氟乙烯复合材料薄膜的压电性能[J].材料科学与工程学报.2019
[4].阳耀月.硅晶圆表面氧化硅薄膜的化学沉积及温度对反应动力学的影响研究[J].山东化工.2019
[5].张栋,柯培玲,汪爱英,王香勇,智理.用PECVD工艺制备功能装饰氧化硅薄膜的性能[J].材料研究学报.2019
[6].党秀洁.二氧化硅—肉桂醛抗菌微胶囊及其可降解薄膜的制备与表征[D].广西大学.2019
[7].陈若望,汪鹏君,张晓伟,张跃军,张会红.Au/Bi共掺二氧化硅薄膜的制备及近红外光谱调控[J].发光学报.2019
[8].赵美姣.二氧化硅纳米通道薄膜的限域分子传输研究[D].浙江大学.2019
[9].高宇晗.硅酸铒镶嵌氧化硅薄膜的制备及其光学性能的研究[D].浙江大学.2019
[10].张晔岚,张昆,孔伟金,李采彧,夏峰.基于二氧化硅薄膜夹层式亚波长金属光栅的宽波段太赫兹偏振分束器（英文）[J].红外与激光工程.2019
论文知识图
