相衬光学显微镜中相衬板的研制

相衬光学显微镜中相衬板的研制

论文摘要

基于Zernike相衬法原理和相衬板设计理论,利用金属材料Ag具有宽角度消偏振的特性,设计一种低偏振效应的移相膜。采用光刻及镀膜法,研制了可用于相衬显微镜中的新型结构相衬板。通过控制介质膜和金属膜的物理厚度,分别调节相衬板的相位和透过率,提高相衬度;通过优化光刻及制备薄膜的工艺参数,得到高质量的圆环结构。最终获得振幅透过率为18.03%,相移量为0.49π的相衬板。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 相衬板的设计理论
  • 3 相衬板的设计
  •   3.1 材料的选取
  •   3.2 相衬板结构及膜层设计
  • 4 相衬板的制备
  •   4.1 光 刻
  •   4.2 薄膜制备
  • 5 测试与分析
  •   5.1 移相膜光谱透过率及牢固度测试
  •   5.2 相位测试
  •   5.3 相衬显微系统测试
  • 6 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 刘冬梅,曹洪玉,付秀华,张静,刘文成,濮继虎

    关键词: 薄膜,相衬板,光刻工艺,相位

    来源: 光学学报 2019年11期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

    专业: 仪器仪表工业

    单位: 长春理工大学光电工程学院,丹阳丹耀光学有限公司

    基金: 吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)

    分类号: TH742

    页码: 388-395

    总页数: 8

    文件大小: 2881K

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