论文摘要
基于Zernike相衬法原理和相衬板设计理论,利用金属材料Ag具有宽角度消偏振的特性,设计一种低偏振效应的移相膜。采用光刻及镀膜法,研制了可用于相衬显微镜中的新型结构相衬板。通过控制介质膜和金属膜的物理厚度,分别调节相衬板的相位和透过率,提高相衬度;通过优化光刻及制备薄膜的工艺参数,得到高质量的圆环结构。最终获得振幅透过率为18.03%,相移量为0.49π的相衬板。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘冬梅,曹洪玉,付秀华,张静,刘文成,濮继虎
关键词: 薄膜,相衬板,光刻工艺,相位
来源: 光学学报 2019年11期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 长春理工大学光电工程学院,丹阳丹耀光学有限公司
基金: 吉林省重大科技攻关专项(20190302095GX)
分类号: TH742
页码: 388-395
总页数: 8
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