基于石墨烯复合薄膜的平面微电感

论文摘要

石墨烯由于其独特的组成结构,具有极其优异的电学性能,基于石墨烯薄膜的电子器件越来越受到研究者的关注。通过将石墨烯与微型导电线圈结合,探究石墨烯对线圈微电感性能的影响。滴涂石墨烯并通过三组对比实验确定石墨烯薄膜的干燥方式（-5℃冷干干燥、室温真空干燥和室温自然干燥）。结果显示,室温真空干燥形成的石墨烯薄膜更为连续均匀、薄膜厚度小且电阻率更低。进一步实验得到,45℃为室温真空干燥方式的较佳干燥温度。采用微电子机械系统（MEMS）工艺制备三种不同材料的微型导电线圈（铜导线、石墨烯/铜复合导线、石墨烯导线）。对三种线圈的电学参数进行测试,发现石墨烯/铜复合导电线圈的电感性能有较大提高。

论文目录

• 0 引言
• 1 实验设计与工艺流程
•   1.1 石墨烯薄膜制备工艺
•   1.2 三种薄膜微电感制备工艺流程
•   1.3 微电感器件电学性能测试
• 2 结果与讨论
•   2.1 不同干燥方式下石墨烯成膜效果
•   2.2 不同真空干燥温度下石墨烯成膜
•   2.3 三种器件的电学性能测试
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 闫丽丽,郭磊,支绍韬,冯竹,雷冲,周勇

关键词: 微电子机械系统,石墨烯薄膜,微电感,真空干燥,平面线圈,石墨烯,铜复合导线

来源: 微纳电子技术 2019年03期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室

基金: 国家自然科学基金资助项目(61273065),航天支撑技术基金资助项目(15GFZ-JJ02-05),上海交通大学Agri-X基金资助项目(AgriX2015005)

分类号: TQ127.11;TB383.2

DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.03.006

页码: 204-210+223

总页数: 8

文件大小: 3557K

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