耐腐蚀高精度光电透射式液位测量仪设计

论文摘要

为解决气相沉积法制备材料过程中腐蚀性液体液位测量问题,基于液柱透镜成像原理,设计了高精度耐腐蚀的光电透射式液位测量仪。论文给出了液位测量仪的基本工作原理及结构设计、重点分析了液位特征提取算法的设计和实现过程。设计的液位测量仪能够满足透明、半透明、不透明液体的液位测量。实验结果表明,液位特征提取算法能准确识别液滴、液滴串、气泡段等异常影响。液位测量仪能在溶液结晶等较复杂工况下正常工作,并且其测量分辨率达3.5μm,静态测量误差小于0.02 mm,单个测量头量程为52.5 mm,有较好稳定性,非接触式测量,耐腐蚀,可小型化,能够满足较高精度液位测量需求。

论文目录

• 0 引言
• 1 液位仪设计
•   1.1 液位测量原理
•   1.2 液位仪硬件结构组成
•   1.3 液位特征检测算法
• 2 实验结果及讨论
•   2.1 液位测量仪功能验证实验
•   2.2 静态验证实验
•   2.3 干扰情况下液位测量实验
•   2.4 稳定性实验
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 廖飞,张超群,李岭,龚恒翔,梁霄,杨鑫,卢丽,尹斌军

关键词: 液位测量,光电传感器,气相沉积制备设备,耐腐蚀

来源: 仪表技术与传感器 2019年07期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 重庆理工大学理学院,重庆理工大学材料科学与工程学院

基金: 重庆市科委社会事业与民生保障专项一般项目(cstc2015shmszx00016),重庆理工大学实验技术开发基金项目(SK201810)

分类号: TH816

页码: 38-42+47

总页数: 6

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