微压力传感器检漏用漏气报警装置论文和设计-李书进

全文摘要

本实用新型公开了半导体检测技术领域的微压力传感器检漏用漏气报警装置，包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠。

主设计要求

1.微压力传感器检漏用漏气报警装置，其特征在于：包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述气源连接于主管路的一端，所述压力表和充气阀安装于主管路的一端上，所述箱体前侧固定有箱盖，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，所述标准接口和测试接口通过支管路及安装于支管路上的平衡阀与主管路的另一端相连接，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，所述控制箱位于箱体上，所述控制箱包括电源、AVR微控制器、报警器和若干指示灯，所述充气阀、平衡阀、温度传感器、加热器、压力传感器、泄压阀、增压阀、差压传感器及报警器和若干指示灯均通过AVR微控制器与电源电性连接。

设计方案

2.根据权利要求1所述的微压力传感器检漏用漏气报警装置，其特征在于：所述标准通道和测试通道均为铝制腔体，内壁光滑。

3.根据权利要求1所述的微压力传感器检漏用漏气报警装置，其特征在于：所述指示灯的数量与差压传感器数量相同。

4.根据权利要求1所述的微压力传感器检漏用漏气报警装置，其特征在于：所述箱盖通过螺钉固定于箱体上。

5.根据权利要求1所述的微压力传感器检漏用漏气报警装置，其特征在于：所述箱体后侧安装有箱门，且箱门与箱体之间设有密封垫。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为微压力传感器检漏用漏气报警装置。

背景技术

传统半导体产品检漏方法有涂抹法，压力变化法，流量法，超声波法。由于涂抹法比较实用，而且费用低，为大多数人接受，但泡沫会进入产品，造成污染。准确性也差，所以为了提高准确性以及可操作性，一般采用差压法检漏。

差压式检漏方法虽然和传统检漏方法相比提高了检测效率和可操作性，但对于多通道型检漏法相比，仍然不能满足生产产能的要求，因为气温压力容器，充气时间，稳定时间等等约束了测试时间，一旦时间缩短，会大大影响精度，另外漏气判断也不准确，而且被测物受温度的变化影响引起的压力变化不同，因而产生非泄漏引起的差压，影响检漏。

基于此，本实用新型设计了微压力传感器检漏用漏气报警装置，以解决上述提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种微压力传感器检漏用漏气报警装置，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，充气时间和稳定时间短，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：微压力传感器检漏用漏气报警装置，包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述气源连接于主管路的一端，所述压力表和充气阀安装于主管路的一端上，所述箱体前侧固定有箱盖，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，所述标准接口和测试接口通过支管路及安装于支管路上的平衡阀与主管路的另一端相连接，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，所述控制箱位于箱体上，所述控制箱包括电源、AVR微控制器、报警器和若干指示灯，所述充气阀、平衡阀、温度传感器、加热器、压力传感器、泄压阀、增压阀、差压传感器及报警器和若干指示灯均通过AVR微控制器与电源电性连接。

优选的，所述标准通道和测试通道均为铝制腔体，内壁光滑。

优选的，所述指示灯的数量与差压传感器数量相同。

优选的，所述箱盖通过螺钉固定于箱体上。

优选的，所述箱体后侧安装有箱门，且箱门与箱体之间设有密封垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过在恒温恒压的箱体内进行检漏测试，测试灵敏度高，避免实验前温度及压力的影响，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，而且在恒温恒压的箱体内采用多通道测试，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠，设备拆卸方便，灵敏度更高，分辨率更高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型后视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、控制箱；2、气源；3、充气阀；4、平衡阀；5、箱体；6、标准通道；7、测试通道；8、主管路；9、压力表；10、箱盖；11、标准接口；12、测试接口；13、支管路；14、螺钉；15、差压传感器；16、温度传感器；17、加热器；18、箱门；19、电源；20、AVR微控制器；21、报警器；22、指示灯；23、压力传感器；24、泄压口；25、增压口；26、泄压阀；27、增压阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：微压力传感器23检漏用漏气报警装置，包括控制箱1、气源2、充气阀3、压力表9、平衡阀4和箱体5，所述箱体5的内部设有标准通道6和测试通道7，所述气源2连接于主管路8的一端，所述压力表9和充气阀3安装于主管路8的一端上，所述箱体5前侧固定有箱盖10，所述箱盖10上设有若干与标准通道6和测试通道7相连通的标准接口11和测试接口12，所述标准接口11和测试接口12通过支管路13及安装于支管路13上的平衡阀4与主管路8的另一端相连接，且标准接口11和测试接口12之间通过管路连接差压传感器15，所述箱体5的一端安装有温度传感器16，所述标准通道6和测试通道7的内壁安装有加热器17，箱体5的另一端安装压力传感器23，且箱体5另一端设有标准通道6和测试通道7相连通的泄压口24和增压口25，泄压口24和增压口25上分别安装泄压阀26和增压阀27，所述控制箱1位于箱体5上，所述控制箱1包括电源19、AVR微控制器20、报警器21和若干指示灯22，所述充气阀3、平衡阀4、温度传感器16、加热器17、压力传感器23、泄压阀26、增压阀27、差压传感器15及报警器21和若干指示灯22均通过AVR微控制器20与电源19电性连接。

其中，所述标准通道6和测试通道7均为铝制腔体，内壁光滑，所述指示灯22的数量与差压传感器15数量相同，每个指示灯22针对每个差压传感器15检测的信号进行指示，所述箱盖10通过螺钉14固定于箱体5上，安装稳定，拆卸方便，所述箱体5后侧安装有箱门18，且箱门18与箱体5之间设有密封垫，保证箱门18关闭后的密封性，从而保证检漏的精确性。

本实用新型的充气阀3、平衡阀4、温度传感器16、加热器17和差压传感器15及报警器21和若干指示灯22等部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

具体工作原理如下所述：实验时，打开箱门18，将待检测的多个标准件和测试件安装于标准通道6和测试通道7内，并与箱盖10上的多个标准接口11和测试接口12相连接，关闭箱门18，实验前，打开电源19开关，温度传感器16可自动检测标准通道6和测试通道7内的温度，并通过加热器17进行调节，保证标准通道6和测试通道7内的温度相同，同时压力传感器23可自动检测标准通道6和测试通道7内的压力，并通过泄压口24和增压口25上安装的泄压阀26和增压阀27进行调节，保证标准通道6和测试通道7内的压力相同，实验开始，AVR微控制器20控制温度传感器16和压力传感器23不工作，保证测试的稳定性，AVR微控制器20控制启动主管路8上的充气阀3和支管路13上的平衡阀4，气源2通过主管道支管路13分别进入到标准通道6和测试通道7内，使得标准通道6和测试通道7内的压力相同，AVR微控制器20控制充气阀3关闭，保压，此时关闭平衡阀4，用差压传感器15来感应位于标准通道6和测试通道7内的压力变化，从而检测处测试件是否漏气。

控制箱1包括电源19、AVR微控制器20、报警器21和若干指示灯22，电源19用于供电，AVR微控制器20用于接收处理传感器检测的信号，并发出指令，当差压传感器15检测的位于测试通道7内某一测试接口12处的测试件有漏气，则通过报警器21进行报警，同时若干指示灯22用于指示每路通道上差压传感器15及平衡阀4的工作状态，当绿灯亮起时，正常工作，当红灯亮起时，差压传感器15及平衡阀4不工作。

通过在恒温恒压的箱体5内进行检漏测试，测试灵敏度高，避免实验前温度及压力的影响，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，而且在恒温恒压的箱体5内采用多通道测试，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠，设备拆卸方便，灵敏度更高，分辨率更高。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

设计图

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