一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统论文和设计-高健

全文摘要

本申请实施例公开了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，基底包括底座与固定设置在底座上的凸台；微动台的底面具有相对设置并垂直底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；弹簧侧侧板与凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，压电侧侧板与凸台的位于第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；基底上设置有滑动组件，微动台与滑动组件连接，并可基于滑动组件沿弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量微动台的位置；解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台宏动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。本申请实施例还公开了一种XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。

主设计要求

1.一种精密运动补偿器，其特征在于，具有基底与微动台，所述基底包括底座与固定设置在所述底座上的凸台；所述微动台的底面具有相对设置并垂直所述底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；所述弹簧侧侧板与所述凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，所述压电侧侧板与所述凸台的位于所述第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；所述基底上设置有滑动组件，所述微动台与所述滑动组件连接，并可基于所述滑动组件沿所述弹簧的轴向滑动；还具有测量部件，用于测量所述微动台的位置。

设计方案

1.一种精密运动补偿器，其特征在于，具有基底与微动台，所述基底包括底座与固定设置在所述底座上的凸台；

所述微动台的底面具有相对设置并垂直所述底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；

所述弹簧侧侧板与所述凸台的第一端面之间设置有预紧压缩的弹簧，所述压电侧侧板与所述凸台的位于所述第一端面对侧的第二端面之间夹设有压电陶瓷；

所述基底上设置有滑动组件，所述微动台与所述滑动组件连接，并可基于所述滑动组件沿所述弹簧的轴向滑动；

还具有测量部件，用于测量所述微动台的位置。

2.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述第一端面上设置有与所述弹簧匹配的弹簧定位柱。

3.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，还包括预紧螺栓；所述弹簧侧侧板上设置有与所述预紧螺栓匹配的螺纹孔；所述预紧螺栓通过所述螺纹孔与所述弹簧侧侧板连接，其端部对所述弹簧侧侧板内侧的所述弹簧预紧压缩。

4.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述滑动组件具体包括导轨与滑块；

所述导轨沿所述弹簧的轴向设置在所述基底上，所述滑块套设在所述导轨上，所述微动台与所述滑块连接。

5.根据权利要求4所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述导轨具体设置在所述基底的底座上。

6.根据权利要求1所述的精密运动补偿器，其特征在于，所述测量部件具体为光栅尺，所述光栅尺的读数头沿所述弹簧的轴向设置在所述底座上。

7.一种XYZ三维精密运动补偿器，其特征在于，包括两个如权利要求1至6任一项所述的精密运动补偿器，分别为X轴精密运动补偿器与Y轴精密运动补偿器；

所述Y轴精密运动补偿器以所述X轴精密运动补偿器的微动台为底座，层叠设置在所述X轴精密运动补偿器上；

所述Y轴精密运动补偿器的微动台上设置有Z轴精密运动补偿器。

8.根据权利要求7所述XYZ三维精密运动补偿器，其特征在于，所述Z轴精密运动补偿器的底座为所述精密运动Y轴精密运动补偿器的微动台；

所述Z轴精密运动补偿器的底座上固定设置有Z轴凸台，所述Z轴凸台沿竖直方向开设有向下的阶梯孔，在所述阶梯孔中由下至上依次放置有Z轴压电陶瓷、Z轴向推杆与Z轴弹簧，所述Z轴弹簧套设在所述Z轴向推杆上以定位；

所述阶梯孔的下孔与所述Z轴压电陶瓷匹配，其上孔内壁设置有与Z轴预紧螺栓匹配的螺纹；所述Z轴预紧螺栓通过所述螺纹与所述Z轴凸台连接，其端部对所述Z轴弹簧预紧压缩；

所述Z轴预紧螺栓中空设置，所述Z轴微动台与所述Z轴向推杆连接；

还具有Z轴测量部件，用于测量Z轴微动台的位置。

9.根据权利要求8所述的XYZ三维精密运动补偿器，其特征在于，所述Z轴测量部件具体为Z轴光栅尺，所述Z轴光栅尺的读数头竖直设置在其底座。

10.一种XYZ三维精密运动补偿系统，其特征在于，包括上位机与如权利要求7-9任一项所述的XYZ三维精密运动补偿器；

所述上位机用于，根据所述XYZ三维精密运动补偿器中的X、Y和\/或Z轴精密运动补偿器的微动台的位置，输出信号控制对应的压电陶瓷。

设计说明书

技术领域

本申请涉及精密运动技术领域，尤其涉及一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统。

背景技术

微电子产品高质量高产能的制造，取决于关键机构的高精度定位与高加速度运动的二者兼顾。然而，高精度定位与高加速度运动难免会带来振动问题。在宏运动中，高加速度运动必定会引起的平台的振动，在微运动中，微动动力的作用后，平台也会由于惯性无法精准的停留在目标位置。

现有的一种消除运动平台振动的方案是采用压电陶瓷和柔性铰链配合的结构，但由于柔性铰链的非线性程度高，计算复杂，并且计算出的结果在实际作用时误差较大，无论是平台宏动时的振动抵消还是微动时的精准定位都难以符合要求。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种精密运动补偿器，解决了现有的压电陶瓷和柔性铰链配合的结构运用时误差较大，平台运动时的振动抵消和微动时的精确定位都难以符合要求的技术问题。

有鉴于此，本申请第一方面提供了一种精密运动补偿器，具有基底与微动台，所述基底包括底座与固定设置在所述底座上的凸台；

所述微动台的底面具有相对设置并垂直所述底面的压电侧侧板与弹簧侧侧板；

所述基底上设置有滑动组件，所述微动台与所述滑动组件连接，并可基于所述滑动组件沿所述弹簧的轴向滑动；

还具有测量部件，用于测量所述微动台的位置。

优选地，所述第一端面上设置有与所述弹簧匹配的弹簧定位柱。

优选地，还包括预紧螺栓；所述弹簧侧侧板上设置有与所述预紧螺栓匹配的螺纹孔；所述预紧螺栓通过所述螺纹孔与所述弹簧侧侧板连接，其端部对所述弹簧侧侧板内侧的所述弹簧预紧压缩。

优选地，所述滑动组件具体包括导轨与滑块；

所述导轨沿所述弹簧的轴向设置在所述基底上，所述滑块套设在所述导轨上，所述微动台与所述滑块连接。

优选地，所述导轨具体设置在所述基底的底座上。

优选地，所述测量装置具体为光栅尺，所述光栅尺的读数头沿所述弹簧的轴向设置在所述底座上。

本申请第二方面提供了一种XYZ三维精密运动补偿器，包括两个如上述第一方面所述的任一种精密运动补偿器，分别为X轴精密运动补偿器与Y轴精密运动补偿器；

所述Y轴精密运动补偿器以所述X轴精密运动补偿器的微动台为底座，层叠设置在其上；

所述Y轴精密运动补偿器的微动台上设置有Z轴精密运动补偿器。

优选地，所述Z轴精密运动补偿器的底座为所述Y轴精密运动补偿器的微动台；

所述Z轴预紧螺栓中空设置，所述Z轴微动台与所述Z轴向推杆连接；

还具有Z轴测量部件，用于测量Z轴微动台的位置。

优选地，所述Z轴测量部件具体为Z轴光栅尺，所述Z轴光栅尺的读数头竖直设置在其底座。

本申请第三方面提供了一种XYZ三维精密运动补偿系统，包括上位机与如上述第二方面所述的任一种XYZ三维精密运动补偿器；

所述上位机用于，根据所述XYZ三维精密运动补偿器中的X、Y和\/或Z轴精密运动补偿器的微动台的位置，输出信号控制对应的压电陶瓷。

从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：

本申请实施例中，提供了一种精密运动补偿器，其底座设置有固定的凸台，凸台位于微动台的压电侧侧板与弹簧侧侧板之间，在凸台的第一端面与弹簧侧侧板之间预紧压缩有弹簧，在凸台的位于第一端面的对侧的第二端面与压电侧侧板之间夹设有压电陶瓷，顶部的微动台可以沿弹簧轴向滑动；该补偿器还具有用于测量微动台位置的测量部件。

可见，受到预紧压缩的弹簧的作用，微动台与固定凸台的相对位置被牢牢的限制住，而压电陶瓷也在弹簧的作用力下被夹紧在第一端面与弹簧侧侧板之间。如此，在平台做高加速度运动时，弹簧本身对微动台的振动就具有缓冲作用，同时，可以根据测量部件测量到的微动台的位置，输出控制压电陶瓷，利用压电陶瓷与弹簧共同作用来抵消平台运动的振动，大大降低振动的影响。而在微运动中，测量部件测量到微动台的位置与目标位置出现偏差时，可以通过输入控制压电陶瓷产生推力，该推力作用在微动台的压电侧侧板与固定凸台的第二端面之间，相当于也作用在微动台的弹簧侧侧板与固定凸台的第一端面之间，对弹簧进行压缩。弹簧本身处于预紧压缩的状态，对微动台的位置有强力的限制作用，因此在压电陶瓷产生的推力作用下，微动台可以在实现精准微位移后定位在目标位置，而不会由于惯性或振动偏离目标位置，实现精准定位。

而相比现有技术，采用了弹簧代替现有的柔性铰链，使原来的非线性系统变为线性系统，使得计算要简单很多，并且计算出来的结果反映到对微动台位置的微动调整上也更贴近预期，使得微动台的位置能够精准的控制，误差大大减小。

附图说明

图1为本申请第一个实施例提供的一种精密运动补偿器的立体图；

图2为图1所示的一种精密运动补偿器的爆炸图；

图3为本申请第二个实施例提供的一种XYZ三维精密运动补偿器的爆炸图；

图4为图3所示的XYZ三维精密运动补偿器的X轴精密运动补偿器的侧视图；

图5为图3所示的XYZ三维精密运动补偿器的Y轴精密运动补偿器的侧视图；

图6为图3所示的XYZ三维精密运动补偿器的Z轴精密运动补偿器的侧视图；

图7为本申请第三个实施例提供的一种XYZ三维精密运动补偿器的结构示意图；

附图标记如下：底座1，凸台2，微动台3，弹簧侧侧板31，压电侧侧板32，压电陶瓷4，弹簧5，预紧螺栓6，导轨7，滑块8，滑块连接件9，弹簧定位柱10，光栅尺的读数头11，Z轴凸台12，上孔1201，下孔1202，Z轴压电陶瓷13，Z轴向推杆14，Z轴弹簧15，Z轴预紧螺栓16，Z轴微动台17，Z轴光栅尺的读数头18。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请实施例中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请实施例保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

本申请提供了一种XYZ三维精密运动补偿器，其包括X轴精密运动补偿器、Y轴精密运动补偿器以及Z轴精密运动补偿器。下面，为便于理解，首先结合图1、图2以及图4，对本申请第一个实施例提供的单轴向的一种精密运动补偿器进行说明。

本申请实施例提供的精密运动补偿器具有基座，基座包括底座1与固定设置在底座1上的凸台2。凸台2在形状上至少具有相对设置的两个端面，比如可以是长方体或者具有偶数个面的正棱柱等，当然也可以是其他符合上述要求的形状。

补偿器还包括微动台3，微动台3具有平台结构，其底面还设置有两个侧板，分别为压电侧侧板32与弹簧侧侧板31。两个侧板均垂直该底面，并且两个侧板所在的平面平行，即两个侧板相对设置。

其中，弹簧侧侧板31与凸台2的第一端面之间设置有经过预紧压缩过的弹簧5，而压电侧侧板32与凸台2的第二端面之间设置有压电陶瓷4，第一端面和第二端面互为对面。可见，在预紧压缩的弹簧5的作用力下，压电陶瓷4也被紧紧夹持在压电侧侧板32与凸台2的第二端面之间，而微动台3的两个侧板也分别受到向外的力，使得微动台3类似于被卡住，与凸台2的相对位置不容易发生改变。

需要说明的是，上述的弹簧5应当具有足够的刚度，以提供足够大的压紧力，也能承受压电陶瓷4巨大的推力。

为了便于弹簧5的固定，可以在凸台2第一端面上设置与弹簧5的直径匹配的弹簧定位柱10。该弹簧定位柱10垂直于凸台2的第一端面，可以设置成圆柱体的形状，以方便弹簧5套设进去。需要注意的是，该弹簧定位柱10的长度需要偏短，从而不会对弹簧5的压缩造成阻碍，也就是说，弹簧定位柱10的长度应当小于弹簧5在最大压缩时的长度，当然这里的最大压缩是指运行中可能用到的最大的压缩量，而不是弹簧5本身的极限压缩量。

由于设置在弹簧侧侧板31与凸台2的第一端面之间的弹簧5是经过预紧压缩的，为了方便安装，也为了能够根据需要对弹簧5的预紧压缩量进行调整，可以使用预紧螺栓6对弹簧5进行预紧压缩。该预紧螺栓6的端部应当与弹簧5有所匹配，以使其能正向的对弹簧5进行压缩，不会偏歪。

具体的，可以在弹簧侧侧板31上设置与该预紧螺栓6匹配的螺纹孔，则预紧螺栓6可以通过该螺纹孔与弹簧侧侧板31连接，其端部可以随着预紧螺栓6的旋进量增大对弹簧5进行压缩。

微动台3可以沿弹簧5的轴向小范围的微动，具体的实现是依靠滑动组件。滑动组件设置在基底上，微动台3与滑动组件连接，从而可以基于滑动组件沿弹簧5的轴向滑动。

滑动组件的实现方式有多种，比如可以是轨道加滑轮，也可以是采用钢珠滑轨等方式，但优选的是本申请提供的采用导轨7与滑块8的方式，有更高的滑动稳定性和可靠性。

导轨7的设置方向应当与弹簧5的轴向相同，其设置基底上，具体的，可以设置在基底的底座1上。当然，其也可以设置在基底的凸台2上，即在凸台2的顶面设置导轨7，如此，同样可以实现微动台3的滑动。但优选的是设置在基底的底座1上，底座1空间较大，更方便安装维护。

导轨7可以对称设置在凸台2的与弹簧5轴向垂直的两侧，具体可以设置成“凸”字形的导轨7条，而滑块8与导轨7条的形状匹配，可以套设在导轨7条上。微动台3与滑块8连接，从而实现微动台3沿弹簧5轴向的滑动。需要说明的是，为方便连接，还可以设置滑块连接件9，该滑块连接件9用于实现微动台3与滑块8的连接。

进一步的，还包括测量部件，用于测量微动台3的位置。能够对微动台3的位置进行测量的部件有多种，比如激光干涉仪、电容传感器等，但最为适用于该补偿器运动工况的是光栅尺。光栅尺可以设置在滑块连接件9上，当然，也可以设置在其他能够测量微动台位置的地方，而光栅尺的读数头11可以设置在底座1上，沿弹簧5的轴向设置。

在本实施例中，受到预紧压缩的弹簧5的作用，微动台3与固定凸台2的相对位置被牢牢的限制住，而压电陶瓷4也在弹簧5的作用力下被夹紧在第一端面与弹簧侧侧板31之间。如此，在平台做高加速度运动时，弹簧5本身对微动台3的振动就具有缓冲作用，同时，可以根据测量部件测量到的微动台3的位置，输出控制压电陶瓷4，利用压电陶瓷4与弹簧5共同作用来抵消平台运动的振动，大大降低振动的影响。而在微运动中，测量部件测量到微动台3的位置与目标位置出现偏差时，可以通过输入控制压电陶瓷4产生推力，该推力作用在微动台3的压电侧侧板32与固定凸台2的第二端面之间，相当于也作用在微动台3的弹簧侧侧板31与固定凸台2的第一端面之间，对弹簧5进行压缩。弹簧5本身处于预紧压缩的状态，对微动台3的位置有强力的限制作用，因此在压电陶瓷4产生的推力作用下，微动台3可以在实现精准微位移后定位在目标位置，而不会由于惯性或振动偏离目标位置，实现精准定位。

而相比现有技术，采用了弹簧5代替现有的柔性铰链，使原来的非线性系统变为线性系统，使得计算要简单很多，并且计算出来的结果反映到对微动台3位置的微动调整上也更贴近预期，使得微动台3的位置能够精准的控制，误差大大减小。

以上是对本申请第一个实施例提供的单轴向的一种精密运动补偿器的详细说明。本申请实施例提供的一种精密运动补偿器，可单独使用以在单轴向上消除运动机构的振动影响以及实现精确定位，但通过多个上述的精密运动补偿器之间的深度结合，也可以实现在多轴向上的振动消除以及精确定位，提高运动机构性能。

下面结合图3至6，对本申请第二个实施例提供的一种XYZ三维精密运动补偿器进行说明。

如前文所述，XYZ三维精密运动补偿器包括X轴精密运动补偿器、Y轴精密运动补偿器以及Z轴精密运动补偿器。其中，X轴精密运动补偿器与Y轴精密运动补偿器与上一个实施例中提供的任一种精密运动补偿器相同。

需要说明的是，X轴精密运动补偿器的弹簧轴向与Y轴精密运动补偿器的弹簧轴向垂直，X轴精密运动补偿器与Y轴精密运动补偿器是层叠设置的，即Y轴精密运动补偿器层叠设置在X轴精密运动补偿器上。但此处的层叠不是简单的堆叠，Y轴精密运动补偿器是以X轴精密运动补偿器的微动台3为底座叠在其上的。X轴与Y轴两个轴向的精密运动补偿器之间通过环扣层叠组合成一个整体。

应当理解的是，此处的X轴与Y轴只是表示两个在水平面上垂直的两个方向，两者可以互换，即也可以是，X轴精密运动补偿器层叠设置在Y轴精密运动补偿器上，两者的结构是相同的，此处并非对两者的层叠顺序进行限定。

Y轴精密运动补偿器的微动台3上设置有Z轴精密运动补偿器，其中，Z轴精密运动补偿器可以有两种实现方式，第一种实现方式中，其具有上一个实施例中提供的任一种精密运动补偿器相同的结构，但其设置方式是竖直设置的。也就是说，Z轴精密运动补偿器的底座垂直设置在Y轴精密运动补偿器的微动台3上。如此，Z轴精密运动补偿器的微动台3处于竖直而非水平的状态，因此可以在其竖直的微动台3上设置与其垂直的水平微动副台，实现在Z轴向的微动控制。

但上述的实现方式结构复杂，稳定性差，因此本实施例提供这一种更为适用且有效的第二种实现方式。

类似于X轴与Y轴精密运动补偿器的结合方式，Z轴精密运动补偿器的底座同样可以与Y轴精密运动补偿器的微动台3共用。Z轴精密运动补偿器的底座上可以设置一个固定的Z轴凸台12，Z轴凸台12可以沿竖直方向开设有向下的阶梯孔，即开设出上孔1201大、下孔1202小的阶梯孔。

可以在阶梯孔中依次放入Z轴压电陶瓷13、Z轴向推杆14与Z轴弹簧15，其中阶梯孔的下孔1202是与所述Z轴压电陶瓷13匹配，Z轴向推杆14则与Z轴弹簧15是匹配的，Z轴弹簧15可以套设在Z轴向推杆14上以起到对Z轴弹簧15的定位功能。

同样为了能够方便对Z轴弹簧15预紧以及调整预紧的压缩量，Z轴精密运动补偿器也采用了预紧螺栓的手段。具体的，Z轴预紧螺栓16可以与阶梯孔的上孔1201配合，在阶梯孔的上孔1201内壁设置与Z轴预紧螺栓16匹配的螺纹，则Z轴预紧螺栓16可以通过该螺纹与Z轴凸台12连接，其端部则可以对Z轴弹簧15进行预紧压缩。需要注意的是，Z轴预紧螺栓16应当中空设置，即在Z轴预紧螺栓16上开设沿其轴向的通孔，以提供空间给Z轴微动台17与Z轴向推杆14连接。

进一步的，还具有Z轴测量部件，用于测量Z轴微动台17的位置。Z轴测量部件同样优选为光栅尺，即Z轴光栅尺，Z轴光栅尺的读数头18应当竖直设置，安设在其底座上，即安装在Y轴精密运动补偿器的微动台3上。

本实施例中，提供了一种XYZ三维精密运动补偿器，X轴精密运动补偿器与Y轴精密运动补偿器环扣层叠设置，即Y轴精密运动补偿器以X轴精密运动补偿器的微动台为底座，而Z轴精密运动补偿器则建立在Y轴精密运动补偿器的微动台上，在提供的第二种实现方式中，Z轴精密运动补偿器也同样是以Y轴精密运动补偿器的微动台为底座。因此，X轴精密运动补偿器的微动台在X轴上的位移可以在Y轴精密运动补偿器的微动台上反映，而Y轴精密运动补偿器的微动台也可以在Z轴精密运动补偿器的Z轴微动台上反映，也就是说，Z轴微动台具备在XYZ三维上的微动调整功能，即可以在XYZ三维上抵消振动，在XYZ三维上精准定位。

以上为本申请第二个实施例提供的一种XYZ三维精密运动补偿器的详细说明。可以理解的是，本申请实施例提供的精密运动补偿器以及XYZ三维精密运动补偿器，可以适用于任何需要减振和精密运动的运动平台或者运动组件中。

下面请参考图7，图7为本申请第三个实施例提供的一种XYZ三维精密运动补偿系统的结构示意图。

本申请还提供了一种XYZ三维精密运动补偿系统，包括工控机与上一个实施例中提供的任一种的XYZ三维精密运动补偿器；

该工控机用于，根据上述XYZ三维精密运动补偿器中的X、Y和\/或Z轴精密运动补偿器的微动台的位置，输出信号控制对应的压电陶瓷。

X、Y和\\或Z轴精密运动补偿器的测量部件可以测量到其微动台的位置信号，若测量部件是光栅尺的话，则对应的是X轴光栅尺信号、Y轴光栅尺信号与Z轴光栅尺信号。此时其会将该位置信号输入给工控机，由工控机将获得的位置信号与目标位置进行比对，根据比对结果，工控机可以输出如图7所示的X、Y或Z轴向压电陶瓷控制信号，控制压电陶瓷产生一定的推力，从而改变微动台的位置，实现快速减振或者精密补偿定位功能。

本申请的说明书及上述附图中术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

应当理解，在本申请中，“至少一个(项)”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和\/或”，用于描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和\/或B”可以表示：只存在A，只存在B以及同时存在A和B三种情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“\/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，a，b或c中的至少一项(个)，可以表示：a，b，c，“a和b”，“a和c”，“b和c”，或“a和b和c”，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。

以上所述，以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

设计图

一种精密运动补偿器、XYZ三维精密运动补偿器及补偿系统论文和设计

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