基于Au/PDMS自组装褶皱图案的实验研究

论文摘要

采用离子溅射法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面上沉积30～50nm厚的Au膜。基于Au与PDMS热膨胀系数的差异,有效制备出规则有序且周期可控的光栅结构和锯齿结构褶皱图案。通过局部遮挡镀膜方式,实验研究了Au膜厚度及PDMS表面特征结构对褶皱图案的影响规律。研究发现特征结构为圆形时,褶皱图案以圆形特征结构为中心,沿径向向周围辐射并逐渐形成分叉,从而获得稳定的褶皱周期,Au膜中的应力与圆的径向垂直。特征结构为微沟槽时,褶皱垂直于微沟槽的边缘,微沟槽内的褶皱方向一致且保持很好的周期稳定性。对Au/PDMS系统进行有限元非线性屈曲分析,结果表明,随着膜厚的增加,褶皱的周期随之增大,与实验结果相吻合。

论文目录

• 0 引言
• 1 Au/PDMS自组装褶皱图案的产生原因
• 2 褶皱图案的实验研究
•   2.1 光栅状与锯齿状褶皱的制备
•   2.2 遮挡镀膜后褶皱的分叉现象
•   2.3 特征结构对褶皱的影响
• 3 Au/PDMS系统褶皱的屈曲分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 刘冰,邢晓东,陈诚

关键词: 聚二甲基硅氧烷,褶皱,热沉积,有限元,屈曲分析

来源: 国外电子测量技术 2019年08期

年度: 2019

分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 物理学,工业通用技术及设备

单位: 天津商业大学机械工程学院,一汽-大众汽车有限公司

基金: 国家自然科学基金青年项目（51805371）,天津市自然科学基金青年项目（18JCQNJC75400）资助

分类号: O484

DOI: 10.19652/j.cnki.femt.1901477

页码: 69-73

总页数: 5

文件大小: 390K

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