论文摘要
采用氧气等离子体处理对铟锡氧化物(ITO)薄膜进行表面改性,基于化学组分、接触角、表面能和极性度的测试表征,研究了氧气等离子体处理对ITO表面性质的影响以及表面性能随放置时间的变化.实验结果表明:氧气等离子体处理有效去除了ITO表面的污染物,改善了ITO表面的化学组分、提高了表面能、极性度和润湿性,从而优化了ITO的表面性能.但是随着处理后放置时间的增加,ITO薄膜的表面能减小、极性度降低、润湿性退化,从而相应的表面性能也变差.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 顾锦华,陆轴,康淮
关键词: 铟锡氧化物,氧气等离子体处理,表面性质
来源: 中南民族大学学报(自然科学版) 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 化学,材料科学,工业通用技术及设备
单位: 中南民族大学实验教学与实验室管理中心,中南民族大学电子信息工程学院
基金: 湖北省自然科学基金资助项目(2011CDB418),中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(CZP17002)
分类号: O646.9;TB383.2
页码: 445-451
总页数: 7
文件大小: 802K
下载量: 43
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标签：铟锡氧化物论文; 氧气等离子体处理论文; 表面性质论文;