锥形内表面干涉测量误差分析

论文摘要

为了实现对回转锥形内表面的形貌精密测量,分析了干涉测量中误差产生的原因,明确了误差对测量结果造成的影响。通过在圆柱坐标系下建立数学模型,推导出偏移误差和角度误差的数学公式,并对误差公式进行分析。结果表明:圆锥反射镜的偏移量和顶角的加工误差都会造成光程差;当偏移量极小时,光程差与反射镜偏移量成线性关系;光程差对于角度误差非常敏感,为了保证测量精度,需要严格控制圆锥反射镜的顶角大小。

论文目录

• 引言
• 1 测量原理
• 2 误差分析
•   2.1 误差来源
•   2.2 偏移误差
•   2.3 角度误差
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 黄欣,吴鹏,唐寿鸿,韩森,李雪园,王全召

关键词: 干涉测量,锥形内表面,误差分析

来源: 光学仪器 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 上海理工大学光电信息与计算机工程学院

基金: 国家重点研发计划项目(2016YFF0101900)

分类号: TG801

页码: 23-27

总页数: 5

文件大小: 1428K

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