基于条纹反射方法的Angel型龙虾眼X射线镜片面型测试

论文摘要

研制了一套结构简单、易于操作的条纹反射测量系统,用以测试Angel型龙虾眼X射线镜片的面型。通过电荷耦合器件(CCD)相机拍摄40 mm×40 mm口径的龙虾眼镜片的条纹反射图像,计算得到了龙虾眼镜片面型的斜率误差分布,并通过积分得到了龙虾眼镜片的面型误差均方根及峰谷值,分别为0.81μm和6.34μm。该结果与Zygo干涉仪得到的面型分布规律大体一致。基于条纹反射方法重复测量面型得到的均方根和峰谷值的标准差分别为0.017μm和0.11μm,验证了条纹反射方法测量龙虾眼镜片面型的可行性。利用蒙特卡罗方法对待测龙虾眼镜片的面型误差进行X射线聚焦成像模拟,得到面型误差引起的弥散十字焦斑的半峰全宽为0.23 mm,对应的角分辨率为2.11′。该光学测量系统的建立为龙虾眼镜片的球面热成形提供了参考依据。

论文目录

• 1 引 言
• 2 实验原理
•   2.1 龙虾眼聚焦成像的原理
•   2.2 条纹反射原理
•   2.3 实验装置
• 3 结果与讨论
•   3.1 条纹反射测试结果
•   3.2 蒙特卡罗模拟
• 4 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张诗鲲,黎龙辉,孙建宁,金戈,顾燕,吕峰,张振,姜博文,徐昭,陈托,廖亦戴,郭右利,凌志兴,张臣

关键词: 射线光学,型龙虾眼,条纹反射,面型误差,聚焦成像

来源: 光学学报 2019年09期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 物理学,仪器仪表工业

单位: 北方夜视技术股份有限公司,微光夜视技术重点实验室,中国科学院国家天文台中国科学院空间天文与技术重点实验室,中国科学院大学天文与空间科学学院

基金: 中国科学院战略性先导科技专项(XDA15310101-01),国家自然科学基金重点支持项目(Y713021V01)

分类号: O434.1;TH74

页码: 427-432

总页数: 6

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