全局平面化论文_李薇薇,刘玉岭,王胜利,李广福

导读:本文包含了全局平面化论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:集成电路,全局,化学,机械,论文,CMP。

全局平面化论文文献综述

李薇薇,刘玉岭,王胜利,李广福^[1]（2005）在《集成电路制备中化学机械全局平面化(CMP)后的表面清洗技术》一文中研究指出论述了集成电路制备中CMP过程带来污染的重大危害,介绍了目前CMP后清洗所面临的两大新挑战,同时对CMP后清洗的现状做出了分析,提出了存在的问题,并且对未来清洗的方向进行了展望。(本文来源于《清洗世界》期刊2005年11期）

王新^[2]（2002）在《超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术》一文中研究指出由河北工业大学承担完成的“超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术”项目,经专家评审鉴定,属国际领先水平。该成果发明了超大规模集成电路化学机械全局平整化新技术的新机理模型和多层Cu布线纳米CMP抛光液、抛光表面纳米粒子的清洗技术及无污染、作用力强、可溶性的金属离子螯合剂和Cu2+、Cu+高效强络合剂。其中FA/O型Cu布线CMP抛光液价格仅为进口产品的1/4以下,中科(本文来源于《天津科技》期刊2002年06期）

全局平面化论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

由河北工业大学承担完成的“超大规模集成电路纳米磨料化学机械全局平面化新技术”项目,经专家评审鉴定,属国际领先水平。该成果发明了超大规模集成电路化学机械全局平整化新技术的新机理模型和多层Cu布线纳米CMP抛光液、抛光表面纳米粒子的清洗技术及无污染、作用力强、可溶性的金属离子螯合剂和Cu2+、Cu+高效强络合剂。其中FA/O型Cu布线CMP抛光液价格仅为进口产品的1/4以下,中科

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。