全文摘要
一种电子束扫描测量仪的载片台，解决了电子束扫描测量仪中的载片台只能运送8英寸晶片的问题，其包括载片台体，所述载片台体的正面一侧开设有交换手臂摆动凹槽，载片台体位于交换手臂摆动凹槽的一侧中心处嵌入安装有限位滑动弹柱，载片台体的正面围绕交换手臂摆动凹槽的四周粘接固定有三个承载胶垫，载片台体的正面另一侧开设有三个标样孔，载片台体的背部对应标样孔的位置处对称开设有初级限位轨道，且两个初级限位轨道之间开设有次级限位轨道，次级限位轨道的顶端开设有限位凹槽。本实用新型结构新颖，构思巧妙、成本低、在晶片到达指定位置后自动限位，并自动卡紧晶片，防止观察中晶片震动，保证小尺寸晶片定位精度。
主设计要求
1.一种电子束扫描测量仪的载片台，包括载片台体(1)，其特征在于，所述载片台体(1)的正面一侧开设有交换手臂摆动凹槽(2)，载片台体(1)位于交换手臂摆动凹槽(2)的一侧中心处嵌入安装有限位滑动弹柱(3)，载片台体(1)的正面围绕交换手臂摆动凹槽(2)的四周粘接固定有三个承载胶垫(4)，载片台体(1)的正面另一侧开设有三个标样孔(5)，载片台体(1)的背部对应标样孔(5)的位置处对称开设有初级限位轨道(9)，且两个初级限位轨道(9)之间开设有次级限位轨道(10)，次级限位轨道(10)的顶端开设有限位凹槽(13)，载片台体(1)的背部一侧开设有定位杆槽(12)，且定位杆槽(12)与限位滑动弹柱(3)的底端相连接，载片台体(1)的背部对应两侧开设有平行滑台(11)。
设计方案
1.一种电子束扫描测量仪的载片台，包括载片台体(1)，其特征在于，所述载片台体(1)的正面一侧开设有交换手臂摆动凹槽(2)，载片台体(1)位于交换手臂摆动凹槽(2)的一侧中心处嵌入安装有限位滑动弹柱(3)，载片台体(1)的正面围绕交换手臂摆动凹槽(2)的四周粘接固定有三个承载胶垫(4)，载片台体(1)的正面另一侧开设有三个标样孔(5)，载片台体(1)的背部对应标样孔(5)的位置处对称开设有初级限位轨道(9)，且两个初级限位轨道(9)之间开设有次级限位轨道(10)，次级限位轨道(10)的顶端开设有限位凹槽(13)，载片台体(1)的背部一侧开设有定位杆槽(12)，且定位杆槽(12)与限位滑动弹柱(3)的底端相连接，载片台体(1)的背部对应两侧开设有平行滑台(11)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的载片台，其特征在于，所述载片台体(1)的背部对应两侧开设有斜坡(7)，且两个斜坡(7)的中心处开设有精确限位槽(8)。
3.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的载片台，其特征在于，所述载片台体(1)的背部对应初级限位轨道(9)的另一侧中心处开设有卡勾槽(6)。
4.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的载片台，其特征在于，所述标样孔(5)的背部开设有盲孔。
5.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪的载片台，其特征在于，所述限位滑动弹柱(3)包括弹片(14)、顶柱(15)、复位弹簧(16)、定位块(17)、滚轮座(18)和滚轮(19)，弹片(14)焊接固定在载片台体(1)背部定位杆槽(12)的一侧，弹片(14)的顶部中心处焊机固定有穿过载片台体(1)的顶柱(15)，顶柱(15)的顶部焊接固定有定位块(17)，定位块(17)的顶部通过滚轮座(18)固定有滚轮(19)，顶柱(15)通过复位弹簧(16)与载片台体(1)连接。
6.根据权利要求5所述的一种电子束扫描测量仪的载片台，其特征在于，所述滚轮(19)的外侧套接固定有防护套(20)，且防护套(20)为一种橡胶材料构件。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及电子束扫描测量仪配件技术领域，具体为一种电子束扫描测量仪的载片台。
背景技术
电子束扫描测量仪是一种在半导体制程中用于测量晶片上图案及其关键尺寸的仪器，其工作原理为：从电子枪照射出的高能电子束，通过线圈偏转和汇聚后，照射到试样表面，通过探测激发出的二次电子获得试样表面的图像，以清晰的表面图像为基础，高精度的测量关键尺寸。
载片台用于在电子束扫描仪中将晶片从真空交换腔移送到真空观察腔进行观测。在移送过程中，晶片不能发生移位，在移送完毕后，晶片应处于观察中心，并且晶片不能晃动。电子束扫描测量仪中的载片台是针对8英寸晶片的，而对于其他尺寸的晶片则无法使用。因此设计一种电子束扫描测量仪的载片台是很有必要的。
实用新型内容
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种电子束扫描测量仪的载片台，有效的解决了电子束扫描测量仪中的载片台只能运送8英寸晶片的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括载片台体，所述载片台体的正面一侧开设有交换手臂摆动凹槽，载片台体位于交换手臂摆动凹槽的一侧中心处嵌入安装有限位滑动弹柱，载片台体的正面围绕交换手臂摆动凹槽的四周粘接固定有三个承载胶垫，载片台体的正面另一侧开设有三个标样孔，载片台体的背部对应标样孔的位置处对称开设有初级限位轨道，且两个初级限位轨道之间开设有次级限位轨道，次级限位轨道的顶端开设有限位凹槽，载片台体的背部一侧开设有定位杆槽，且定位杆槽与限位滑动弹柱的底端相连接，载片台体的背部对应两侧开设有平行滑台。
优选的，所述载片台体的背部对应两侧开设有斜坡，且两个斜坡的中心处开设有精确限位槽。
优选的，所述载片台体的背部对应初级限位轨道的另一侧中心处开设有卡勾槽。
优选的，所述标样孔的背部开设有盲孔。
优选的，所述限位滑动弹柱包括弹片、顶柱、复位弹簧、定位块、滚轮座和滚轮，弹片焊接固定在载片台体背部定位杆槽的一侧，弹片的顶部中心处焊机固定有穿过载片台体的顶柱，顶柱的顶部焊接固定有定位块，定位块的顶部通过滚轮座固定有滚轮，顶柱通过复位弹簧与载片台体连接。
优选的，所述滚轮的外侧套接固定有防护套，且防护套为一种橡胶材料构件。
本实用新型结构新颖，构思巧妙、成本低、在晶片到达指定位置后自动限位，并自动卡紧晶片，防止观察中晶片震动，保证小尺寸晶片定位精度。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型载片台体正面结构示意图；
图2是本实用新型载片台体背面结构示意图；
图3是本实用新型限位滑动弹柱结构示意图；
图4为本实用新型滚轮结构示意图；
图中标号：1、载片台体；2、交换手臂摆动凹槽；3、限位滑动弹柱；4、承载胶垫；5、标样孔；6、卡勾槽；7、斜坡；8、精确限位槽；9、初级限位轨道；10、次级限位轨道；11、平行滑台；12、定位杆槽；13、限位凹槽；14、弹片；15、顶柱；16、复位弹簧；17、定位块；18、滚轮座；19、滚轮；20、防护套。
具体实施方式
下面结合附图1-4对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。
实施例一，由图1和图2给出，本实用新型包括载片台体1，载片台体1的正面一侧开设有交换手臂摆动凹槽2，保证交换手臂能够将晶片摆动传输至载片台体1，载片台体1位于交换手臂摆动凹槽2的一侧中心处嵌入安装有限位滑动弹柱3，载片台体1的正面围绕交换手臂摆动凹槽2的四周粘接固定有三个承载胶垫4，用于承载晶片，防止晶片划伤和污染，载片台体1的正面另一侧开设有三个标样孔5，用于放置晶片标样，载片台体1的背部对应标样孔5的位置处对称开设有初级限位轨道9，载片台体1移动到设定位置时，初级限位轨道9中的滑轮顶到轨道边界，完成初级限位，且两个初级限位轨道9之间开设有次级限位轨道10，在载片台体1移动到设定位置时，次级限位轨道10中的滑轮沉入限位凹槽13中，完成次级限位，次级限位轨道10的顶端开设有限位凹槽13，载片台体1的背部一侧开设有定位杆槽12，在载片台体1到达设定位置时，定位杆槽12中的定位杆会顶动限位滑动弹柱3，进而使限位滑动弹柱3卡紧晶片，且定位杆槽12与限位滑动弹柱3的底端相连接，载片台体1的背部对应两侧开设有平行滑台11，平行滑台11放置于滑轨上时，载片台体1可以在外力驱动下沿着滑轨往复运动。
实施例二，在实施例一的基础上，由图2给出，载片台体1的背部对应两侧开设有斜坡7，方便精确限位小滑轮滑上载片台体1，且两个斜坡7的中心处开设有精确限位槽8，在载片台移动到设定位置时，小滑轮进入精确限位槽8，完成载片台体1的精确限位。
实施例三，在实施例一的基础上，由图2给出，载片台体1的背部对应初级限位轨道9的另一侧中心处开设有卡勾槽6，外力通过卡勾连接载片台体1的卡勾槽6，驱动载片台体1进行往复运动。
实施例四，在实施例一的基础上，标样孔5的背部开设有盲孔，便于排出标样孔5内部的空气，有效的保证晶片标样放置的稳定性。
实施例五，在实施例一的基础上，由图1和图3给出，限位滑动弹柱3包括弹片14、顶柱15、复位弹簧16、定位块17、滚轮座18和滚轮19，弹片14焊接固定在载片台体1背部定位杆槽12的一侧，弹片14的顶部中心处焊机固定有穿过载片台体1的顶柱15，顶柱15的顶部焊接固定有定位块17，定位块17的顶部通过滚轮座18固定有滚轮19，顶柱15通过复位弹簧16与载片台体1连接，在载片台体1到达设定位置时，定位杆槽12中的定位杆会顶动弹片14，进而使顶柱15向承载胶垫4的一侧运动，从而卡紧晶片，实现载片台体1到达指定位置后自动卡紧晶片，防止晶片晃动，在弹片14释放后，在复位弹簧16的作用下自动返回原位，有效的提升了使用的方便性。
实施例六，在实施例五的基础上，由图4给出，滚轮19的外侧套接固定有防护套20，且防护套20为一种橡胶材料构件，限位滑动弹柱3顶端装有滚轮19，且在滚轮19的外侧包裹有防护套20，当与晶片接触并发生相对移动时，滚轮19滑动可降低对晶片的摩擦损伤。
本实用新型使用时，通过卡勾卡入卡勾槽6驱动载片台体1移动，初级限位轨道9、限位凹槽13和精确限位槽8，使载片台体1移动到设定位置，通过定位杆槽12中的定位杆，顶动限位滑动弹柱3的弹片14，卡紧晶片，实现晶片的可靠固定，从而完成整个晶片移送和自动定位卡紧功能，有效的提升了使用的方便性。
本实用新型结构新颖，构思巧妙、成本低、在晶片到达指定位置后自动限位，并自动卡紧晶片，防止观察中晶片震动，保证小尺寸晶片定位精度。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920069174.1
申请日:2019-01-15
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209298058U
授权时间:20190823
主分类号:H01J 37/20
专利分类号:H01J37/20;H01J37/28
范畴分类:38D;
申请人:无锡卓海科技有限公司
第一申请人:无锡卓海科技有限公司
申请人地址:214000 江苏省无锡市天山路6-2407
发明人:相宇阳
第一发明人:相宇阳
当前权利人:无锡卓海科技有限公司
代理人:冯智文
代理机构:32228
代理机构编号:无锡华源专利商标事务所（普通合伙）
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计