不同磨料对硬质合金刀片化学机械抛光的影响

论文摘要

为了提高硬质合金刀片前刀面化学机械抛光(CMP)的材料去除率和表面质量,采用6种不同硬度磨料(金刚石、碳化硼、碳化硅、氧化铝、氧化锆、氧化硅)对硬质合金刀片CMP加工,采用表面粗糙度测量仪和超景深三维显微系统观察抛光前后刀片的表面形貌,探讨硬质合金刀具CMP材料去除机制。实验结果表明:碳化硼磨料因粒径分散性大,造成硬质合金刀片表面划痕较多;低硬度的氧化硅、氧化锆、碳化硅磨料只能去除硬质合金刀片表面局部划痕区域;接近硬质合金刀片硬度的氧化铝磨料,可获得较好的表面质量;硬度最大的金刚石磨料在CMP加工时,在硬质合金刀片表面上产生机械应力,促进化学反应,获得比其他磨料更高的材料去除率和更好的表面质量。因此,在硬质合金刀片粗加工时可以选用氧化铝磨料,精加工时选用金刚石磨料。

论文目录

• 1 实验部分
•   1.1 实验仪器和材料
•   1.2 抛光实验
• 2 结果与分析
•   2.1 磨料对硬质合金刀片CMP材料去除率的影响
•   2.2 磨料对硬质合金刀片抛光前后表面质量的影响
•   2.3 讨论与分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 毛美姣,刘舜,胡自化,陈小告

关键词: 硬质合金刀片,化学机械抛光,磨料硬度,材料去除

来源: 润滑与密封 2019年10期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 湘潭大学机械工程学院,湘潭大学复杂轨迹加工工艺及装备教育部工程研究中心,湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心

基金: 湖南省自然科学基金项目(2017JJ4055),湖南省重点研发计划项目(2016GK2014),湖南省教育厅科学研究项目(17C1533)

分类号: TG711;TG73;TG580.692

页码: 144-150

总页数: 7

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