导读:本文包含了薄层电阻论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:薄层,电阻,矿化度,电阻率,硅片,地层,探针。
薄层电阻论文文献综述
李斌[1]（2018）在《四探针薄层电阻测试仪的电路原理》一文中研究指出四探针薄层电阻测试仪具有量程选择方便、恒流源电流可调及数据读出迅速、稳定的特点。因此,本文结合半导体制程中扩散层薄层电阻测量的实际需要,介绍了四探针薄层电阻测试仪的测试原理和电路原理,以期为相关学者的研究提供参考。(本文来源于《河南科技》期刊2018年14期）
马桂艳,王建明,冯凌悍[2]（2016）在《基于水汽气氛磷扩散技术的高薄层电阻制备方法研究》一文中研究指出针对光伏工业界对磷扩散薄层电阻不断提升的需求,采用了在磷扩散工艺气氛中增加水汽的方法进行磷源扩散制备高薄层电阻,并通过实验对比两种扩散气氛下的掺杂浓度,少子寿命等表征。实验结果表明:在相同薄层电阻条件下,水汽气氛下掺杂剂的表面浓度降低,耗尽层的复合率减小,间隙态的金属杂质浓度降低,硅基体的少子寿命从6.27μs提升至7.16μs。由于掺杂剂浓度分布得到改善,降低了硅片的表面复合率和结区光生载流子的俄歇复合,使得水汽气氛扩散后硅片制备的太阳电池,光电转换效率提升0.1%。(本文来源于《电子设计工程》期刊2016年06期）
王敬蕊,苏树兵,诸葛霞[3]（2016）在《SiN_x:H膜沉积压强与扩散薄层电阻的匹配性研究》一文中研究指出利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在多晶硅片上生长Si N_X:H膜,研究了不同沉积压强与Si N_X:H膜折射率和钝化效果的关系。在沉积压强为1.4Torr时,Si N_X:H膜的折射率和钝化效果均达到理想的范围。对于扩散层电阻为80Ω/□、Si N_X:H膜的厚度为(83±2)nm、折射率在2.03时,制得的太阳电池开路电压和短路电流最高,电池效率达到17.8%。(本文来源于《海峡科技与产业》期刊2016年03期）
董鹏,吴翔,张治,王举亮[4]（2015）在《太阳电池扩散薄层电阻与副栅线匹配设计研究》一文中研究指出优化设计太阳电池正面电极图案,对提高太阳电池的光电转化效率有着重要作用。以实例介绍了太阳电池正面电极(副栅线)的效率损失与扩散薄层电阻及副栅线宽度之间的关系,通过理论计算仿真得到匹配扩散薄层电阻的副栅线宽度,经过实验验证,在最佳设计方案下,电池转换效率增益为0.2%。最终得到了一种有效提高电池转换效率的工艺方案——低表面浓度扩散的高阻密栅工艺。(本文来源于《太阳能》期刊2015年01期）
张汝青[5]（2014）在《基于LabVIEW的四探针法薄层电阻测试系统研究》一文中研究指出在半导体的生产和制造过程中，电阻率是检测半导体材料掺杂浓度的一个重要性能指标，因此测试微区电阻率成为了加工芯片时的一道重要工序。四探针技术是测量微区电阻率的常用测量手段，它包括丰富的理论，已经在半导体生产中得到了广泛的应用。随着集成电路的快速发展，对半导体材料提出了更高的要求，不仅要求设计工具完善，还需要操作可靠、精度高的测试手段。论文以四探针法测量原理为基础，利用LabVIEW软件搭建的薄层电阻测试系统，实现对薄层电阻的测量，解决了传统测量测量速度慢、测量精度低的缺点，具有很高的应用价值。主要研究内容包括：首先，介绍了国内外薄层电阻测试技术的发展现状，对虚拟仪器和LabVIEW软件进行相应描述，总结了虚拟仪器相对于传统仪器的优势。对常规直线四探针测量法、范德堡法、改进的范德堡法、斜置式方形四探针法进行比较，分析各自优缺点。选择常规直线四探针测量原理作为测试系统的理论基础。其次，根据测试系统应该具有快速测量、准确测量等特点。对测试系统整体规划，将测试系统分别进行硬、软件设计，为了使设计更加清晰，绘制了技术路线流程图和测试系统的总体结构图。对测试系统的硬件部分进行了整体设计，测试系统的硬件由恒流源电路、模拟通道、放大电路、滤波电路、温度传感器、数据采集卡、计算机七部分组成，详细的描述了各个电路在整个系统中的作用，利用软件绘制相应的电路图。并根据实验需求选择适合系统的温度传感器和数据采集卡。LabVIEW具有很强的数据采集和信号处理能力，本文的软件部分主要使用该软件进行设计。设计出系统的数据采集模块、数据处理模块、温度矫正模块、数据存储模块、数据读取模块的程序。最后，为了验证系统的可行性，利用RTS-8型四探针测试仪与本系统做了对比实验，研究结果表明，基于LabVIEW的四探针法薄层电阻测试系统能够对薄层电阻进行测量，不仅操作灵活，还降低了成本，提高了效率。(本文来源于《河北工业大学》期刊2014-03-01）
冉彦祥,孟昭光[6]（2013）在《印制电路板埋入平面薄层电阻研究》一文中研究指出近年来高速、高性能电子产品骤增,对应高密度的同时,还要对应高频、高速传输,因此,电路板的表面封装需要转换到埋置元件PCB上来。不受寄生元件或者噪音影响,而又能高速地传输大容量的信号的关键影响因素在于电阻。文章以Ohmega公司生产的NI-P薄层电阻材料作为研究对象,通过实验发现在整个制作过程中,酸性蚀刻、碱性蚀刻、棕化、硫酸铜缸蚀刻对电阻精度均有一定的影响,其中酸性蚀刻和碱性蚀刻在整个加工过程中影响最大。通过对以上加工过程中的参数进行控制研究,得到精度较高的电阻阻值,为印制电路板埋入电阻阻值的控制提供了参考。(本文来源于《印制电路信息》期刊2013年05期）
王功军,王冬梅[7]（2013）在《油田薄层低电阻特性研究》一文中研究指出在西江油田的挖潜工作中,发现了许多低电阻率油层。由于低电阻率油层的形成受多种复杂因素的影响,对该油层的识别尚存在一定困难。因此,有必要对低电阻率油层进行系统研究。(本文来源于《内江科技》期刊2013年02期）
王功军,王冬梅[8]（2011）在《薄层低电阻特性分析》一文中研究指出在西江油田的挖潜工作中,发现了许多低电阻率油层。这类油层对今后油田的发展起到至关重要的作用。由于低电阻率油层的形成受多种复杂因素的影响,因此对该油层的识别尚存在一定困难。尤其当常规油层与低电阻率油层、相对高阻水层与相对低阻油层并存时,对低电阻率油层的解释就更加困难了。因此有必要对低电阻率油层进行系统研究。(本文来源于《国外测井技术》期刊2011年06期）
韩萌,刘晟[9]（2011）在《非平衡载流子的注入对硅片薄层电阻测量的影响研究》一文中研究指出对半导体硅片进行薄层电阻测试的过程中,当探针接触半导体材料表面,将向表面材料中注入载流子,这将影响薄层电阻测量数据的误差,文章分析了注入的非平衡载流子对测试精度的影响,讨论了注入造成影响的原因,得出测试过程中为减小注入的影响而采用的合适的测试条件。(本文来源于《中国高新技术企业》期刊2011年31期）
赵晓然[10]（2010）在《表征薄层电阻的Mapping技术研究》一文中研究指出本文介绍了常用的微区电阻测试方法,通过比较各种方法的优劣,选择四探针方法进行研究,分析了常规直线四探针法的基本原理、测准条件、电流量的选择、边缘和厚度的修正以及测量区域的选择。从常规直线四探针法入手,引进了改进的范德堡法,即斜置式四探针法,阐述了该方法优于常规直线四探针法的测量原理及测试条件,然后基于常规直线四探针法和改进的范德堡法,探讨了用于测量薄层电阻率的斜置式方形Rymaszewski四探针法的原理,用该方法测定了4寸圆形硅片的电阻率分布。从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分割数和差值,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归于不同的模糊集,同一模糊集对应相同的电阻率,这样使得电阻率能以一定间隔分布,然后应用MATLAB软件画出电阻率的图形,以构成Mapping图。选取的Mapping图表示方法有:径向图、径向对比图、彩图、灰度图和等值线图。比较各种薄层电阻分布图的表示方法,优选出最理想的表征薄层电阻的Mapping图,即灰度显示,对样品的测试结果进行表示。表征薄层电阻的Mapping图的研究目的在于使薄层电阻分布情况一目了然,提高对测试结果的分析效果。本课题拟以改进原有样机对处理结果的表示方法为目标,改进后的处理结果直观、具体。(本文来源于《河北工业大学》期刊2010-12-01）
薄层电阻论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对光伏工业界对磷扩散薄层电阻不断提升的需求,采用了在磷扩散工艺气氛中增加水汽的方法进行磷源扩散制备高薄层电阻,并通过实验对比两种扩散气氛下的掺杂浓度,少子寿命等表征。实验结果表明:在相同薄层电阻条件下,水汽气氛下掺杂剂的表面浓度降低,耗尽层的复合率减小,间隙态的金属杂质浓度降低,硅基体的少子寿命从6.27μs提升至7.16μs。由于掺杂剂浓度分布得到改善,降低了硅片的表面复合率和结区光生载流子的俄歇复合,使得水汽气氛扩散后硅片制备的太阳电池,光电转换效率提升0.1%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
薄层电阻论文参考文献
[1].李斌.四探针薄层电阻测试仪的电路原理[J].河南科技.2018
[2].马桂艳,王建明,冯凌悍.基于水汽气氛磷扩散技术的高薄层电阻制备方法研究[J].电子设计工程.2016
[3].王敬蕊,苏树兵,诸葛霞.SiN_x:H膜沉积压强与扩散薄层电阻的匹配性研究[J].海峡科技与产业.2016
[4].董鹏,吴翔,张治,王举亮.太阳电池扩散薄层电阻与副栅线匹配设计研究[J].太阳能.2015
[5].张汝青.基于LabVIEW的四探针法薄层电阻测试系统研究[D].河北工业大学.2014
[6].冉彦祥,孟昭光.印制电路板埋入平面薄层电阻研究[J].印制电路信息.2013
[7].王功军,王冬梅.油田薄层低电阻特性研究[J].内江科技.2013
[8].王功军,王冬梅.薄层低电阻特性分析[J].国外测井技术.2011
[9].韩萌,刘晟.非平衡载流子的注入对硅片薄层电阻测量的影响研究[J].中国高新技术企业.2011
[10].赵晓然.表征薄层电阻的Mapping技术研究[D].河北工业大学.2010
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