论文摘要
G11钼靶材的长度达到3430mm,属于超长靶材,之前国际上未有成熟工艺和技术可借鉴,具有较高的生产难度。洛阳高新四丰电子材料有限公司在已有技术基础上,对生产设备及技术工艺的配套改进和提升,成功研制G11超长高性能钼溅射靶材并实现产业化,填补国内外技术空白,满足了我国当前超高世代产线建设规模日益增长的市场需求。本文重点介绍G11钼靶的轧制工艺改进试验及性能研究取得的成果。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 单玉郎,孙虎民,张雪凤,方宏
关键词: 显示面板生产线,钼靶材,轧制工艺
来源: 功能材料与器件学报 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 金属学及金属工艺,电信技术
单位: 洛阳高新四丰电子材料有限公司
分类号: TN873;TG335
页码: 130-133
总页数: 4
文件大小: 1324K
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