参考面误差对平面子孔径拼接的影响

参考面误差对平面子孔径拼接的影响

论文摘要

参考面二阶项(离焦和像散)误差是导致拼接累积误差的主要因素,而参考面高阶误差会导致高频面形误差。分析由参考面误差二阶项和高阶项导致的拼接误差的规律。研究参考面误差导致任意两个子孔径拼接误差之间的关系。提出一种可以有效减小参考面高阶项误差对子孔径拼接结果影响的算法。该算法将拼接后的子孔径面形数据对应相减,分离出参考面高阶项误差的拼接误差。数据仿真和实验验证表明了该算法的正确性和有效性。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 子孔径拼接检测原理
  •   2.1 基本原理
  •   2.2 参考面误差的影响
  •   2.3 抑制参考面误差的算法
  • 3 参考面误差对拼接结果影响的仿真分析
  •   3.1 离焦项误差
  •   3.2 像散项误差
  •   3.3 参考面高阶项误差
  •   3.4 参考面误差的校正
  • 4 实 验
  • 5 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 李萌阳,曹庭分,袁晓东,张尽力,刘长春,易聪之,陈海平,全旭松

    关键词: 测量,干涉测量,子孔径拼接,参考面误差,拼接误差

    来源: 中国激光 2019年12期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

    分类号: TG83

    页码: 187-193

    总页数: 7

    文件大小: 841K

    下载量: 71

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