论文摘要
基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利用在Pyrex玻璃上淀积Au薄膜作为固定电极,通过硅-玻璃阳极键合工艺实现硅结构与玻璃的键合。在键合过程中实现Pryex玻璃上的pad与硅可动电极的互联,实现MEMS电容式差压压力传感器功能。所设计的MEMS差压压力传感器的量程范围为0～40kPa,其电容变化范围为5.4～7.3pF,电容变化量率达到了35%。利用二次曲线拟合,满量程误差小于0.4%FS,可满足大部分应用场合的需求。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 侯智昊,赵雪莹,王增智
关键词: 微电子机械,压力传感器,电容式传感器
来源: 微处理机 2019年02期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 机械工业,自动化技术
单位: 沈阳航空航天大学电子信息工程学院,中国电子科技集团公司第四十七研究所
基金: 辽宁省自然科学基金指导计划“面向通用航空应用的MEMS电容式大气压力传感器研究”(201602555)
分类号: TP212;TH-39
页码: 7-9
总页数: 3
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