论文摘要
为了满足运输蛋白质、细胞等微纳米级物体的需求,有必要研制聚合物微静电梳齿驱动系统。与硅静电梳齿驱动器相比,聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)静电梳齿驱动器具有成本低、成品率高、驱动电压低和能耗少等优点。首先通过微细加工工艺,制备硅静电梳齿驱动器模具。基于硅模具,利用热模压工艺制备PMMA微驱动器,再通过机械切削工艺释放制备好的PMMA微驱动器结构,得到带基底的PMMA微静电梳齿驱动器,最后通过切削减薄工艺,释放静电梳齿微结构,得到可动的PMMA微静电梳齿驱动器。驱动结果表明,PMMA微静电梳齿驱动器制备工艺具有可行性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 金敏慧,王洁,蔡金东,吴文渊,李以贵
关键词: 微驱动器,聚甲基丙烯酸甲酯,硅模具,热模压工艺,切削减薄工艺
来源: 微纳电子技术 2019年09期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 有机化工,仪器仪表工业
单位: 上海应用技术大学理学院,上海应用技术大学机械工程学院
基金: 国家自然科学基金资助项目（51035005）,上海市农委重点项目（沪农科创字（2018）第3-3号）
分类号: TQ317;TH703
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.09.006
页码: 715-719
总页数: 5
文件大小: 1482K
下载量: 56
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标签：微驱动器论文; 聚甲基丙烯酸甲酯论文; 硅模具论文; 热模压工艺论文; 切削减薄工艺论文;