生产电子级多晶硅的影响因素

论文摘要

多晶硅在诸多领域被广泛的应用。目前改良西门子法以其节能、节省物耗、减少污染等优点被广泛应用于多晶硅生产中。多晶硅生产厂家现在大多只能生产出太阳能级多晶硅,而对电子级多晶硅的生产一直存在着技术瓶颈。文章从生产原料中的硅粉、生产工艺中的精馏工艺、尾气回收工艺、还原工艺分别对生产电子级多晶硅产品质量的影响作了详细地阐述。从工艺参数控制、原料及中间产物质量管控等方面着重加以论述。

论文目录

• 1 引言
• 2 电子级多晶硅质量影响因素分析
•   2.1 硅粉对产品质量的影响
•   2.2 精馏工序对产品质量的影响
•   2.3 尾气回收工序对产品质量的影响
•   2.4 还原工序对产品质量的影响
• 3 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张娜

关键词: 多晶硅,电子级,原料,精馏,尾气回收,还原

来源: 化工管理 2019年28期

年度: 2019

分类: 经济与管理科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 国电内蒙古晶阳能源有限公司

分类号: TQ127.2

页码: 88-89

总页数: 2

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