金刚线在硅晶体切割领域的应用研究

金刚线在硅晶体切割领域的应用研究

论文摘要

金刚石切割线近年来迅猛发展,通过与传统砂浆切割工艺对比分析优缺点,详细介绍了新材料金刚石切割线的分类、特性、结构原理、切割工作原理以及发展前景。

论文目录

  • 1 金刚线切削加工生产工艺
  • 2 金刚石线切割工件微细分析
  • 3 金刚石线的发展
  • 4 结束语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 赵雷,李欢,胡孝伟

    关键词: 金刚线,超精细,损伤层,碎片率

    来源: 电子工业专用设备 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 化学

    单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所

    分类号: O786;O613.72

    页码: 33-36

    总页数: 4

    文件大小: 1945K

    下载量: 181

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