一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置论文和设计

全文摘要

一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,解决了实际操作中为应对不同纵深及尺寸的需求,可能需要更换晶圆扫描装置或者更改装置的部分结构,从而影响到生产进度,增加了投入成本的问题,其包括工作台底座,所述工作台底座的一侧通过螺栓固定有定位板,定位板的一侧对称滑动安装有探头安装座,探头安装座上安装有探头,工作台底座的顶部中心处焊接固定有齿轮条,工作台底座的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨。本实用新型结构新颖,构思巧妙,使用方便,在两个探头相对位置确定的情况下,延长探头的扫描纵深,同时也可以调节探头间距,使其可以根据晶圆的直径进行探头间距的快速调节,满足不同工况的需要,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性。

主设计要求

1.一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,包括工作台底座(1),其特征在于,所述工作台底座(1)的一侧通过螺栓固定有定位板(2),定位板(2)的一侧对称滑动安装有探头安装座(3),探头安装座(3)上安装有探头(4),工作台底座(1)的顶部中心处焊接固定有齿轮条(5),工作台底座(1)的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨(6),直线导轨(6)上滑动连接有方形滑块(13),方形滑块(13)的顶部一侧焊接固定有固定板(11),且两个固定板(11)之间转动连接有转轴(15),固定板(11)的一侧通过螺栓固定有减速器(8),且减速器(8)的输出端与转轴(15)的一端连接,减速器(8)的输入端与伺服电机(7)的输出端连接,转轴(15)的中心处套接固定有第一齿轮(12),且第一齿轮(12)与齿轮条(5)啮合连接,转轴(15)远离减速器(8)的一端套接固定有电磁抱闸(9),固定板(11)的顶部通过螺栓固定有负载工作台(10),且负载工作台(10)的一侧通过导线与控制板(14)连接,控制板(14)电性连接探头(4)、伺服电机(7)和电磁抱闸(9)。

设计方案

1.一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,包括工作台底座(1),其特征在于,所述工作台底座(1)的一侧通过螺栓固定有定位板(2),定位板(2)的一侧对称滑动安装有探头安装座(3),探头安装座(3)上安装有探头(4),工作台底座(1)的顶部中心处焊接固定有齿轮条(5),工作台底座(1)的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨(6),直线导轨(6)上滑动连接有方形滑块(13),方形滑块(13)的顶部一侧焊接固定有固定板(11),且两个固定板(11)之间转动连接有转轴(15),固定板(11)的一侧通过螺栓固定有减速器(8),且减速器(8)的输出端与转轴(15)的一端连接,减速器(8)的输入端与伺服电机(7)的输出端连接,转轴(15)的中心处套接固定有第一齿轮(12),且第一齿轮(12)与齿轮条(5)啮合连接,转轴(15)远离减速器(8)的一端套接固定有电磁抱闸(9),固定板(11)的顶部通过螺栓固定有负载工作台(10),且负载工作台(10)的一侧通过导线与控制板(14)连接,控制板(14)电性连接探头(4)、伺服电机(7)和电磁抱闸(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,其特征在于,所述探头安装座(3)包括旋钮(16)、齿轮槽(17)、滑槽(18)、L型滑块(20)和第二齿轮(21),滑槽(18)开设在定位板(2)的一侧中心处,滑槽(18)的底部内壁中心处开设有齿轮槽(17),齿轮槽(17)内部啮合连接有第二齿轮(21),滑槽(18)的内部滑动连接有L型滑块(20),L型滑块(20)的顶部中心处通过螺栓固定有探头(4),旋钮(16)穿过L型滑块(20)的顶部一侧焊接固定在第二齿轮(21)的中心处。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,其特征在于,所述滑槽(18)的一侧嵌入安装有刻度条(19)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,其特征在于,所述负载工作台(10)的顶部四个拐角处对称开设有螺栓孔。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,其特征在于,所述探头(4)的外侧罩有防护罩,且防护罩为一种钢化玻璃材料构件。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆检测技术领域,具体为一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,晶圆扫描装置是使用光纤传感器进行晶圆扫描的装置,按照其光纤扫描方式分类主要分为对射型和反射型两类。但是实际操作中为应对不同纵深及尺寸的需求,可能需要更换晶圆扫描装置或者更改装置的部分结构,从而影响到生产进度,增加了投入成本。因此,设计一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置是很有必要的。

实用新型内容

针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置,有效的解决了实际操作中为应对不同纵深及尺寸的需求,可能需要更换晶圆扫描装置或者更改装置的部分结构,从而影响到生产进度,增加了投入成本的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:本实用新型包括工作台底座,所述工作台底座的一侧通过螺栓固定有定位板,定位板的一侧对称滑动安装有探头安装座,探头安装座上安装有探头,工作台底座的顶部中心处焊接固定有齿轮条,工作台底座的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨,直线导轨上滑动连接有方形滑块,方形滑块的顶部一侧焊接固定有固定板,且两个固定板之间转动连接有转轴,固定板的一侧通过螺栓固定有减速器,且减速器的输出端与转轴的一端连接,减速器的输入端与伺服电机的输出端连接,转轴的中心处套接固定有第一齿轮,且第一齿轮与齿轮条啮合连接,转轴远离减速器的一端套接固定有电磁抱闸,固定板的顶部通过螺栓固定有负载工作台,且负载工作台的一侧通过导线与控制板连接,控制板电性连接探头、伺服电机和电磁抱闸。

优选的,所述探头安装座包括旋钮、齿轮槽、滑槽、L型滑块和第二齿轮,滑槽开设在定位板的一侧中心处,滑槽的底部内壁中心处开设有齿轮槽,齿轮槽内部啮合连接有第二齿轮,滑槽的内部滑动连接有L型滑块,L型滑块的顶部中心处通过螺栓固定有探头,旋钮穿过L型滑块的顶部一侧焊接固定在第二齿轮的中心处。

优选的,所述滑槽的一侧嵌入安装有刻度条。

优选的,所述负载工作台的顶部四个拐角处对称开设有螺栓孔。

优选的,所述探头的外侧罩有防护罩,且防护罩为一种钢化玻璃材料构件。

本实用新型结构新颖,构思巧妙,使用方便,在两个探头相对位置确定的情况下,延长探头的扫描纵深,同时也可以调节探头间距,使其可以根据晶圆的直径进行探头间距的快速调节,满足不同工况的需要,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:

图1是本实用新型整体三维结构示意图;

图2是本实用新型伺服电机驱动结构示意图;

图3是本实用新型探头安装座平面结构示意图;

图4为本实用新型第二齿轮结构示意图;

图中标号:1、工作台底座;2、定位板;3、探头安装座;4、探头;5、齿轮条;6、直线导轨;7、伺服电机;8、减速器;9、电磁抱闸;10、负载工作台;11、固定板;12、第一齿轮;13、方形滑块;14、控制板;15、转轴;16、旋钮;17、齿轮槽;18、滑槽;19、刻度条;20、L型滑块;21、第二齿轮。

具体实施方式

下面结合附图1-4对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。

实施例一,由图1和图2给出,本实用新型包括工作台底座1,工作台底座1的一侧通过螺栓固定有定位板2,定位板2的一侧对称滑动安装有探头安装座3,探头安装座3上安装有探头4,工作台底座1的顶部中心处焊接固定有齿轮条5,工作台底座1的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨6,直线导轨6上滑动连接有方形滑块13,方形滑块13的顶部一侧焊接固定有固定板11,且两个固定板11之间转动连接有转轴15,固定板11的一侧通过螺栓固定有减速器8,且减速器8的输出端与转轴15的一端连接,减速器8的输入端与伺服电机7的输出端连接,转轴15的中心处套接固定有第一齿轮12,且第一齿轮12与齿轮条5啮合连接,转轴15远离减速器8的一端套接固定有电磁抱闸9,固定板11的顶部通过螺栓固定有负载工作台10,且负载工作台10的一侧通过导线与控制板14连接,便于实现智能控制,有效的提升使用的方便性,控制板14电性连接探头4、伺服电机7和电磁抱闸9,通过操控控制板14使伺服电机7工作,带动减速器8工作,从而带动转轴15旋转,进而带动第一齿轮12旋转,使第一齿轮12在齿轮条5上运动,继而带动工作台底座1运动,最终带动探头4运动,在两个探头4相对位置确定的情况下,延长探头4的扫描纵深,满足不同工况的需要,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性,同时,探头4可以伸缩的特性也可以减小晶圆扫描装置的占地面积,节省空间,通过设置的电磁抱闸9,可以有效的保证探头4扫描时,在外界影响下转轴15的稳定性,防止转轴15自转,造成测量精确度不高,有效的提升使用的方便性。

实施例二,在实施例一的基础上,由图1、图3和图4给出,探头安装座3包括旋钮16、齿轮槽17、滑槽18、L型滑块20和第二齿轮21,滑槽18开设在定位板2的一侧中心处,滑槽18的底部内壁中心处开设有齿轮槽17,齿轮槽17内部啮合连接有第二齿轮21,滑槽18的内部滑动连接有L型滑块20,L型滑块20的顶部中心处通过螺栓固定有探头4,旋钮16穿过L型滑块20的顶部一侧焊接固定在第二齿轮21的中心处,通过旋转旋钮16,从而使第二齿轮21在齿轮槽17的内部运动,继而带动L型滑块20在滑槽18的内部运动,同时与刻度条19相配合,便于精确的调节探头4的位置,使其可以根据晶圆的直径进行探头4间距的快速调节,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性,有效的提升了使用的方便性。

实施例三,在实施例二的基础上,由图3给出,滑槽18的一侧嵌入安装有刻度条19,提升调节的精度。

实施例四,在实施例一的基础上,由图1给出,负载工作台10的顶部四个拐角处对称开设有螺栓孔,便于固定。

实施例五,在实施例一的基础上,探头4的外侧罩有防护罩,且防护罩为一种钢化玻璃材料构件,防止探头4损坏。

本实用新型使用时,通过操控控制板14使伺服电机7工作,带动减速器8工作,从而带动转轴15旋转,进而带动第一齿轮12旋转,使第一齿轮12在齿轮条5上运动,继而带动工作台底座1运动,最终带动探头4运动,在两个探头4相对位置确定的情况下,延长探头4的扫描纵深,满足不同工况的需要,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性,同时,探头4可以伸缩的特性也可以减小晶圆扫描装置的占地面积,节省空间,通过设置的电磁抱闸9,可以有效的保证探头4扫描时,在外界影响下转轴15的稳定性,防止转轴15自转,造成测量精确度不高,有效的提升使用的方便性,通过旋转旋钮16,从而使第二齿轮21在齿轮槽17的内部运动,继而带动L型滑块20在滑槽18的内部运动,同时与刻度条19相配合,便于精确的调节探头4的位置,使其可以根据晶圆的直径进行探头4间距的快速调节,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性,有效的提升了使用的方便性。

本实用新型结构新颖,构思巧妙,使用方便,在两个探头相对位置确定的情况下,延长探头的扫描纵深,同时也可以调节探头间距,使其可以根据晶圆的直径进行探头间距的快速调节,满足不同工况的需要,增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

设计图

一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置论文和设计

相关信息详情

申请码:申请号:CN201920298431.9

申请日:2019-03-08

公开号:公开日:国家:CN

国家/省市:32(江苏)

授权编号:CN209342120U

授权时间:20190903

主分类号:G01D 5/26

专利分类号:G01D5/26

范畴分类:31P;

申请人:无锡职业技术学院

第一申请人:无锡职业技术学院

申请人地址:214121 江苏省无锡市高浪西路1600号

发明人:梅华斌;刘春;张智;闵海英;张敏

第一发明人:梅华斌

当前权利人:无锡职业技术学院

代理人:冯智文

代理机构:32228

代理机构编号:无锡华源专利商标事务所(普通合伙)

优先权:关键词:当前状态:审核中

类型名称:外观设计

标签:;  ;  ;  

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