论文摘要
提出了一种基于感光干膜的微流控模具制作方法。以50μm厚的感光干膜为主要原材料,设计并制作了不同微流道结构的干膜微流控模具。针对紫外曝光和显影主要环节的关键实验参数进行了选择优化。利用该工艺制作的干膜微流控模具,完成了不同结构和功能的微流控芯片的封装及应用。结果表明,与传统光刻微流控模具制作方法相比,干膜微流控模具制备工艺具有操作简单快速、成本低、无需昂贵实验设备和专业操作人员,且制作后的干膜微流控模具边界规则、图形分辨率高,应用效果良好。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张敏,李松晶,刘航
关键词: 干膜,微流控模具,曝光,显影
来源: 实验技术与管理 2019年12期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 华北科技学院机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院
基金: 河北省自然科学基金项目（E2019508105）,中央高校基本科研业务费资助（3142019003）
分类号: TG76
DOI: 10.16791/j.cnki.sjg.2019.12.010
页码: 40-43
总页数: 4
文件大小: 1519K
下载量: 68
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