全文摘要
本实用新型涉及一种升华炉，该升华炉包括：多个真空腔体，用于放置多个物料；等待区，设置于升华炉的一侧，等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；加热区，与等待区衔接，加热区内设有加热模组，加热模组用于加热多个物料；冷却区，与加热区衔接，冷却区用于多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与多个真空腔体对应连接，多个第一升降支撑架用于带动多个真空腔体升降；以及移动装置，与多个第一升降支撑架的另一端连接，移动装置通过多个第一升降支撑架与多个真空腔体连接。本实用新型实现一台升华炉同时进行进料、升温、升华及冷却动作，减少操作者实际生产时的等待时间，增加生产效率。
主设计要求
1.一种升华炉，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其特征在于，所述升华炉包括：多个真空腔体，用于放置所述多个物料；等待区，设置于所述升华炉的一侧，所述等待区用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；加热区，与所述等待区衔接，所述加热区内设有加热模组，所述加热模组用于加热所述多个物料；冷却区，与所述加热区衔接，所述冷却区用于所述多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与所述多个真空腔体对应连接，所述多个第一升降支撑架用于带动所述多个真空腔体升降；以及移动装置，与所述多个第一升降支撑架的另一端连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架与所述多个真空腔体连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架带动所述多个真空腔体由所述等待区移动至所述加热区及由所述加热区移动至所述冷却区；其中，当将所述多个物料中的其中一个物料放置在所述其中一个真空腔体内后，所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架移动到所述加热区内的所述加热模组上，所述加热模组加热所述一个物料，并且在所述等待区内将所述多个物料中的另一个物料放置在所述其中另一个真空腔体内；当所述一个物料升温、升华后，所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架带动移动到所述冷却区，所述另一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架由所述等待区移动到所述加热区内的所述加热模组上，所述加热模组加热所述另一个物料。
设计方案
1.一种升华炉，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其特征在于，所述升华炉包括：
多个真空腔体，用于放置所述多个物料；
等待区，设置于所述升华炉的一侧，所述等待区用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内，以真空状态存放所述多个物料；
加热区，与所述等待区衔接，所述加热区内设有加热模组，所述加热模组用于加热所述多个物料；
冷却区，与所述加热区衔接，所述冷却区用于所述多个物料的冷却；
多个第一升降支撑架，一端与所述多个真空腔体对应连接，所述多个第一升降支撑架用于带动所述多个真空腔体升降；以及
移动装置，与所述多个第一升降支撑架的另一端连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架与所述多个真空腔体连接，所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架带动所述多个真空腔体由所述等待区移动至所述加热区及由所述加热区移动至所述冷却区；
其中，当将所述多个物料中的其中一个物料放置在所述其中一个真空腔体内后，所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架移动到所述加热区内的所述加热模组上，所述加热模组加热所述一个物料，并且在所述等待区内将所述多个物料中的另一个物料放置在所述其中另一个真空腔体内；当所述一个物料升温、升华后，所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架带动移动到所述冷却区，所述另一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架由所述等待区移动到所述加热区内的所述加热模组上，所述加热模组加热所述另一个物料。
2.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，所述升华炉还包括：
抽真空装置，与所述多个真空腔体连接，所述抽真空装置用于将所述多个真空腔体抽真空；以及
多个真空阀门，对应设置于所述多个真空腔体与所述抽真空装置之间，所述多个真空阀门用于分別控制所述多个真空腔体的抽真空。
3.根据权利要求2所述的升华炉，其特征在于，还包括多个真空软管，所述抽真空装置通过所述多个真空软管与所述多个真空腔体连接，所述多个真空阀门对应设置于所述多个真空软管上。
4.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，还包括机械手，设置于所述等待区内，所述机械手用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内。
5.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，所述加热模组为管式加热炉。
6.根据权利要求5所述的升华炉，其特征在于，所述管式加热炉包括：
多个第二升降支撑架，一端固定于台面或地面上；
固定炉盖，与所述多个第二升降支撑架的另一端连接，所述固定炉盖通过所述多个第二升降支撑架带动而升降；
侧翻式炉盖，设置于所述固定炉盖上方并与所述固定炉盖的一端连接，所述侧翻式炉盖可绕着其与所述固定炉盖的连接处翻转；以及
电加热丝，设置于所述固定炉盖及所述侧翻式炉盖内，所述电加热丝用于加热所述真空腔体。
7.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，所述移动装置为滑轨，所述多个第一升降支撑架与所述滑轨上的滑块连接，所述多个第一升降支撑架通过所述滑块带动沿着所述滑轨移动。
8.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，所述第一升降支撑架包括支撑部和与所述支撑部连接的升降部，所述支撑部用于支撑所述真空腔体，所述升降部通过所述支撑部带动所述真空腔体升降。
9.根据权利要求1所述的升华炉，其特征在于，还包括风扇，设置于所述冷却区，所述风扇用于加速所述物料的冷却。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及一种升华炉，特别是涉及一种用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却的升华炉。
背景技术
现有技术的升华炉通常只能对单一炉管依次进行进料、抽真空、升温、升华、冷却、收料、清洁的动作，且操作人员只能等待前一动作完成后才能进行下一动作，由于炉管在抽真空、升温及冷却时用时较多，占整个升华物料时间的10～30％。
因此导致操作者大部分的时间都是在等待炉管的抽真空、升温及冷却，浪费了较多的生产时间，进而导致生产效率低。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种升华炉，以解决上述技术问题，具体的技术方案如下：一种升华炉，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其中升华炉包括：多个真空腔体，用于放置多个物料；等待区，设置于升华炉的一侧，等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内，以真空状态存放多个物料；加热区，与等待区衔接，加热区内设有加热模组，加热模组用于加热多个物料；冷却区，与加热区衔接，冷却区用于多个物料的冷却；多个第一升降支撑架，一端与多个真空腔体对应连接，多个第一升降支撑架用于带动多个真空腔体升降；以及移动装置，与多个第一升降支撑架的另一端连接，移动装置通过多个第一升降支撑架与多个真空腔体连接，移动装置通过多个第一升降支撑架带动多个真空腔体由等待区移动至加热区及由加热区移动至冷却区。
其中，当将多个物料中的其中一个物料放置在其中一个真空腔体内后，一个真空腔体通过移动装置及第一升降支撑架移动到加热区内的加热模组上，加热模组加热一个物料，并且在等待区内将多个物料中的另一个物料放置在其中另一个真空腔体内；当一个物料升温、升华后，一个真空腔体通过移动装置及第一升降支撑架带动移动到冷却区，另一个真空腔体通过移动装置及第一升降支撑架由等待区移动到加热区内的加热模组上，加热模组加热另一个物料。
在一种可能的设计中，升华炉还包括：抽真空装置，与多个真空腔体连接，抽真空装置用于将多个真空腔体抽真空；以及多个真空阀门，对应设置于多个真空腔体与抽真空装置之间，多个真空阀门用于分别控制多个真空腔体的抽真空。
在一种可能的设计中，还包括多个真空软管，抽真空装置通过多个真空软管与多个真空腔体连接，多个真空阀门对应设置于多个真空软管上。
在一种可能的设计中，还包括机械手，设置于等待区内，机械手用于将多个物料放置在多个真空腔体内。
在一种可能的设计中，加热模组为管式加热炉。
在一种可能的设计中，管式加热炉包括：多个第二升降支撑架，一端固定于台面或地面上；固定炉盖，与多个第二升降支撑架的另一端连接，固定炉盖通过多个第二升降支撑架带动而升降；侧翻式炉盖，设置于固定炉盖上方并与固定炉盖的一端连接，侧翻式炉盖可绕着其与固定炉盖的连接处翻转；以及电加热丝，设置于固定炉盖及侧翻式炉盖内，电加热丝用于加热真空腔体。
在一种可能的设计中，移动装置为滑轨，多个第一升降支撑架与滑轨上的滑块连接，多个第一升降支撑架通过滑块带动沿着滑轨移动。
在一种可能的设计中，第一升降支撑架包括支撑部和与支撑部连接的升降部，支撑部用于支撑真空腔体，升降部通过支撑部带动真空腔体升降。
在一种可能的设计中，还包括风扇，设置于冷却区，风扇用于加速物料的冷却。
本实用新型与现有技术相比具有的优点有：
本实用新型通过移动装置及多个第一升降支撑架将多个真空腔体依次从等待区移动到加热区及冷却区，实现多个真空腔体在等待区放置物料，在加热区进行升温、升华物料，在冷却区冷却物料，并且等待区、加热区及冷却区可同时进行操作，进而实现一台升华炉同时进行进料、升温、升华及冷却动作，减少操作者实际生产时的等待时间，增加生产效率。
附图说明
利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的内容不构成对本实用新型的任何限制。
图1是本实用新型第一实施例的升华炉的俯视示意图。
图2是本实用新型第一实施例的升华炉的侧视示意图。
图3是本实用新型第一实施例的加热模组加热真空腔体的结构示意图。
图4是本实用新型第二实施例的升华炉的使用方法的流程示意图。
具体实施方式
关于本文中所使用之“第一”、“第二”等，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本申请，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已。
本实用新型的第一实施例中揭露了一种升华炉1，请参考图1-3所示，用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,升华炉1包括多个真空腔体2、等待区3、加热区4、冷却区5、多个第一升降支撑架6和移动装置7，其中：
请参考图1-3所示，多个真空腔体2用于放置多个物料，优选的一个真空腔体2放置一个物料，但并不以此为限。本实用新型中的多个物料可以为一种物料，也可以为多种物料，真空腔体2主要是使物料在真空状态下升温、升华，在本实用新型中对于真空腔体2的选择可以没有特殊要求，参照本领域技术人员的常规选择即可。
请参考图1、2所示，等待区3设置于升华炉1的一侧，在本实用新型对于等待区3的选择可以没有特殊要求，本领域技术人员可以根据实际生产需求选择方便向真空腔体2内填充物料的位置为等待区3即可，本实施例公开的等待区3是设置在台面8的一侧。等待区3用于将多个物料放置在多个真空腔体2内，使多个物料以真空状态存放，其放置方式可以是通过人工将物料放置在真空腔体2内，也可以通过机械手(图中未示出)将物料放置在真空腔体2内，但并不以此为限，本领域技术人员也可以根据实际生产需求选择其他合适的放置方式。
请参考图1、2所示，加热区4与等待区3衔接，本实施例公开的加热区4设置在台面8的中间位置处，但并不以此为限。加热区4内设有加热模组41，加热模组41用于加热多个物料，本实施例公开的加热模组41为管式加热炉，但并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际升华需求选择其他合适的加热模组41。
在一优选实施例中，请参考图3所示，管式加热炉包括多个第二升降支撑架411、固定炉盖412、侧翻式炉盖413和电加热丝，多个第二升降支撑架411的一端固定于台面8或地面上，固定炉盖412与多个第二升降支撑架411的另一端连接，优选的多个第二升降支撑架411位于固定炉盖412的下方，并设置于固定炉盖412的两侧，以保证固定炉盖412的稳定性，但并不以此为限。固定炉盖412通过多个第二升降支撑架411带动而升降，当第二升降支撑架411带动固定炉盖412下降，相当于减少了第一升降支撑架6带动真空腔体2上升的高度，进而可以减少升华炉1的高度，侧翻式炉盖413设置于固定炉盖412上方并与固定炉盖412的一端连接，侧翻式炉盖413可绕着其与固定炉盖412的连接处翻转，侧翻式炉盖413与固定炉盖412的连接方式可以是通过合页或转轴连接，但并不以此为限。电加热丝设置于固定炉盖412及侧翻式炉盖413内(图中未示出)，电加热丝用于加热真空腔体2，进而加热物料，使物料升温、升华。
请参考图1、2所示，冷却区5与加热区4衔接，在本实用新型对于冷却区5的选择可以没有特殊要求，本领域技术人员可以根据实际生产需求选择方便真空腔体2及物料冷却的位置为冷却区5即可，本实施例公开的等待区3设置在台面8的另一侧，冷却区5用于多个物料的冷却，其冷却方式可以是空冷，也可以通过风扇(图中未示出)向真空腔体2吹风冷却，但并不以此为限，本领域技术人员也可以根据本实用新型的教导选择其他合适的冷却方式。
请参考图1、2所示，多个第一升降支撑架6一端与多个真空腔体2对应连接，本实施例中所指的对应连接方式是二个第一升降支撑架6设置于一个与真空腔体2的下端两侧，但并不以此为限，本领域技术人员也可以选择其他合适的对应连接方式。多个第一升降支撑架6用于带动多个真空腔体2升降，本实施例公开的第一升降支撑架6包括支撑部61和与支撑部连接的升降部62，支撑部61用于支撑真空腔体2，升降部62通过支撑部61带动真空腔体2升降。本实施例进一步公开的升降部62为升降气缸，支撑部61包括弧形支撑杆611和设置于弧形支撑杆611下端竖直支撑杆612，真空腔体2设置于弧形支撑杆611上，升降气缸设置于竖直支撑杆612上，然支撑部61和升降部62的结构并不局限于此，本领域技术人员也可以根据本实用新型的教导选择其他合适的结构做为支撑部61和升降部62。
请参考图1-3所示，移动装置7与多个第一升降支撑架6的另一端连接，本实施例公开的移动装置7为滑轨，多个第一升降支撑架6与滑轨上的滑块连接，多个第一升降支撑架6通过滑块带动沿着滑轨移动，然移动装置7并不局限于此，本领域技术人员也可以根据实际生产需求选择其他合适的移动装置7。移动装置7通过多个第一升降支撑架6带动多个真空腔体2由等待区3移动至加热区4及由加热区4移动至冷却区5，本实施例公开的滑轨依次穿过等待区3、加热区4及冷却区5，但并不以此为限。
请参考图1、2所示，当将多个物料中的其中一个物料放置在其中一个真空腔体2内后，一个真空腔体2通过移动装置7及第一升降支撑架6移动到加热区4内的加热模组41上，加热模组41加热一个物料，并且在等待区3内将多个物料中的另一个物料放置在其中另一个真空腔体2内。
当一个物料升温、升华后，一个真空腔体2通过移动装置7及第一升降支撑架6带动移动到冷却区5，另一个真空腔体2通过移动装置7及第一升降支撑架6由等待区3移动到加热区4内的加热模组41上，加热模组41加热另一个物料，按照上述方式往复循环，实现将多个真空腔体2依次从等待区3移动到加热区4及冷却区5，进而实现多个真空腔体2在等待区3放置物料，在加热区4进行升温、升华物料，在冷却区5冷却物料，并且等待区3、加热区4及冷却区5可同时进行操作，实现一台升华炉1同时进行进料、升温、升华及冷却动作，减少操作者实际生产时的等待时间，增加生产效率。
在一优选实施例中，请参考图2、3所示，升华炉1还包括抽真空装置9和多个真空阀门10，抽真空装置9与多个真空腔体2连接，抽真空装置9用于将多个真空腔体2抽真空，多个真空阀门10对应设置于多个真空腔体2与抽真空装置9之间，多个真空阀门10用于分别控制多个真空腔体2的抽真空，在本实用新型中对于抽真空装置9及真空阀门10的选择可以没有特殊要求，参照本领域技术人员的常规选择即可。本实施例进一步公开的升华炉1还包括多个真空软管11，抽真空装置9通过多个真空软管11与多个真空腔体2连接，多个真空阀门10对应设置于多个真空软管11上，但并不以此为限。
相应地，本实用新型的第二实施例中揭露了一种升华炉1的使用方法12，请参考图4及图1-3所示，其中升华炉1的使用方法12包括以下步骤121～126。
步骤121：提供一如上述第一实施例中揭露的升华炉1；
步骤122：在等待区3内将多个物料中的其中一个物料放置在其中一个真空腔体2内；
步骤123：通过移动装置7将一个真空腔体2移动到加热区4内，并通过第一升降支撑架6将一个真空腔体2放置在加热模组41上；
步骤124：启动加热模组41，加热一个物料，使一个物料升温升华，同时，在等待区3内将多个物料中的另一个物料放置在其中另一个真空腔体2内；
步骤125：当一个物料升温、升华后，关闭加热模组41，一个真空腔体2通过第一升降支撑架6移出加热模组41，并通过移动装置7将一个真空腔体2移动到冷却区5内，进行冷却，同时，另一个真空腔体2通过移动装置7将另一个真空腔体2移动到加热区4内，并通过第一升降支撑架6将另一个真空腔体2放置在加热模组41上；
步骤126：重复步骤124及步骤125，直至完成多个物料的升温、升华及降温。
具体的，上述步骤中的多个物料(也即上述所述的一个物料和另一个物料)放置在多个真空腔体2(也即上述所述的一个真空腔体2和另一个真空腔体2)内的方式可以是人工放置，也可以是通过机械手放置，并且当物料放置在真空腔体2内后，通过抽真空装置9将真空腔体2内抽真空。
同时，上述步骤中多个真空腔体2(也即上述所述的一个真空腔体2和另一个真空腔体2)通过第一升降支撑架6将多个真空腔体2依次放置在加热模组41上的步骤包括：第一升降支撑架6带动真空腔体2上升，移动装置7将真空腔体2移动到加热模组41上方，第一升降支撑架6带动真空腔体2下降，使真空腔体2放置在加热模组41上。
更进一步的，当移动装置7带动真空腔体2向加热模组41上方移动时，第二升降支撑架411带动加热模组41下降，以减少真空腔体2的上升高度。
以上所述仅为本实用新型之较佳实施例，并非用以限定本实用新型之权利范围；同时以上的描述，对于相关技术领域之专门人士应可明了及实施，因此其他未脱离本实用新型所揭示之精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请专利范围中。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920106079.4
申请日:2019-01-22
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:61(陕西)
授权编号:CN209500854U
授权时间:20191018
主分类号:B01D 7/00
专利分类号:B01D7/00
范畴分类:23A;
申请人:陕西坤同半导体科技有限公司
第一申请人:陕西坤同半导体科技有限公司
申请人地址:712046 陕西省咸阳市秦都区西咸新区沣西新城西部云谷C3楼4层1号
发明人:林家禾;施秉彝
第一发明人:林家禾
当前权利人:陕西坤同半导体科技有限公司
代理人:李有财
代理机构:11315
代理机构编号:北京国昊天诚知识产权代理有限公司
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：真空阀论文;