基于显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测系统研究

针对MEMS微构件表面缺陷的问题,分析了其表面缺陷的基本特征、种类和检测方法,提出了利用显微机器视觉技术来检测MEMS微构件表面缺陷,并对显微机器视觉检测关键技术进行了探析,对开展显微机器视觉的MEMS微构件表面缺陷检测的研究具有一定的参考价值。

1 目前微构件表面缺陷的基本特征

2 目前微构件表面的几种主要缺陷

2.1 砂眼

2.2 麻坑

2.3 裂纹

3 目前微构件表面缺陷的几种主要检测手段

4 显微机器视觉检测方法

5 结论

类型: 期刊论文

作者: 王思琪,魏绍鹏,丁涛,贺秋冬

关键词: 显微机器视觉,微构件,表面缺陷,检测

来源: 湖北工程学院学报 2019年03期

年度: 2019

分类: 社会科学Ⅱ辑,工程科技Ⅱ辑,信息科技

专业: 机械工业,计算机软件及计算机应用

单位: 湖北工程学院机械工程学院

基金: 湖北省科技厅青年项目(2015CFB369),湖北工程学院科学研究项目(201849)

分类号: TP391.41;TH-39

页码: 49-52

总页数: 4

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