导读:本文包含了微电子机械系统论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微电子,系统,机械,微机,天线,技术,光学。
微电子机械系统论文文献综述
[1]（2018）在《基于MEMS(微电子机械系统)工程和纳米技术的医疗工程研发和产品设计项目》一文中研究指出地区:河南省郑州航空港实验区内外资:外资项目单位:郑州正和医疗器械有限公司行业领域:制造业所属产业:先进制造业合作方式:合资外商投资方式:其他项目有效期:1年投资总额:0.3亿/人民币项目标注:普通项目项目详情:加拿大SENSE INTELLIGENT公司是一家旨在通(本文来源于《中国粉体工业》期刊2018年06期）
李启坤,邱琪[2]（2018）在《基于2D微电子机械系统(MEMS)镜全向激光雷达光学系统设计》一文中研究指出为了满足全向激光探测的需求,提出一种基于2D MEMS镜扫描的激光雷达结构。激光器通过1×6高速光开关分时地给6个扫描子系统提供光信号,6个扫描子系统探测视场迭加起来可实现360°激光探测。每个扫描子系统的扫描范围为60°×30°,其中包含一个扩展MEMS镜扫描角度的发射光学天线和一个大视场有增益的接收光学天线。发射光学天线将MEMS镜±10°的扫描角扩展到±30°,发散度小于0.2mrad;接收视场内的激光回波经过接收天线在探测器上所成的半像高小于1mm,接收增益为3.65。通过计算修正后的激光雷达方程可得到发射功率20W的激光束在工作距离100m内的回波功率≥1nW,结果表明该光学系统可适用于激光雷达系统。(本文来源于《应用光学》期刊2018年04期）
宋宇,张海霞[3]（2018）在《微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述》一文中研究指出18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的大会主席由来自瑞士电子与微技术中心(CSEM)的Michel Despont教授与爱尔兰都柏林城市大学的Jens Ducrée教授共同担任,并设置了最佳口头报告奖与最佳张贴报告奖,得到了国际电气与电子工程协会(IEEE)与IEEE机器人与自动化学会等多个国际组织(本文来源于《太赫兹科学与电子信息学报》期刊2018年02期）
[4]（2016）在《EV集团将GEMINI~300mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业》一文中研究指出EV集团(EVG)是微电子机械系统(MEMS)、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商,该集团宣布其EVG GEMINI~ 300 mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的(MEMS)微电子机械系统大批量制造(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2016年Z1期）
黄金兰,李玉榕,陈建国[5]（2015）在《基于微电子机械系统传感器的功能性电刺激系统》一文中研究指出我们设计了一个基于微电子机械系统(MEMS)传感器的功能性电刺激系统,系统由上位机和下位机两个部分组成,下位机包括信号采集传感器陀螺仪和无线蓝牙芯片,上位机包括电刺激输出系统和无线蓝牙芯片。下位机将采集到的角速度通过无线蓝牙传输给上位机,上位机实时处理接收到的角速度信号,通过步态分段算法检测摆动相,当检测到脚尖离地这个时刻,发出控制信号使电刺激系统输出信号,刺激患者胫前肌使足部产生背屈运动,从而克服足下垂步态。实验中将下位机分别穿戴在大腿、小腿和踝关节叁个位置。结果表明,本研究所设计的算法能准确进行步态分段,准确率达97%以上,并且穿戴在小腿和踝关节位置较佳。此系统实现方法简单,且穿戴方便,为足下垂患者康复治疗提供更为安全有效的方法。(本文来源于《生物医学工程研究》期刊2015年04期）
陈文涛[6]（2015）在《关于微电子机械系统的力学问题分析》一文中研究指出在微电子机械系统当中,存在着许多力学问题,对这些力学问题的分析和研究工作是不可忽视的。本文就微构件材料的基本力学性能研究作出了阐述,以及分析计算微构件的力学问题,深入探讨了微电子机械系统中的各种力学问题。希望通过本文的分析,能对微电子机械系统中的力学问题给出有效见解。(本文来源于《科学中国人》期刊2015年35期）
李小宝,王春晖,曲扬,任逍遥[7]（2015）在《叁维成像激光雷达系统中的微电子机械系统扫描:扫描视场角与扩束》一文中研究指出基于微电子机械系统(MEMS)微镜的二维光学扫描系统是趋于低成本、小型化和高清晰的新一代叁维成像激光雷达的核心部件之一。由于现有可实现二维高帧频扫描的MEMS其口径和扫描角度有限,因而需要对经MEMS微镜扫描后的激光束进行相应扩角和扩束。讨论了开普勒式扩束望远镜系统对扫描光束扩束之后光斑大小与扫描视场角之间的制约关系;推演得到了扫描角与扩束倍率之间的关系式;提出了一种叁维成像激光雷达系统中的基于MEMS和开普勒式望远镜的扫描与变焦扩束系统结构,并在此基础上利用Zemax软件设计出了11片式的扫描变倍扩束光学系统,其模拟的结果与理论计算值完全相吻合。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2015年11期）
陈良,王建国,黄从运[8]（2015）在《基于碳-微电子机械系统的超级电容器的研究进展》一文中研究指出结合国内外研究现状,综述了基于C-MEMS(碳-微电子机械系统)超级电容器的研究进展。介绍了热解条件、电化学活化、沉积电化学活性材料、氧气等离子体处理方法对其电化学性能的影响,新技术的开发和采用极大简化了电容器制作的过程,提高了双电层电容器的电化学性能,最后提出了基于C-MEMS电容器的发展观点。(本文来源于《科技创新与应用》期刊2015年11期）
王志宏[9]（2014）在《微电子机械系统技术与应用领域研究》一文中研究指出微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用的基础技术。文章首先阐述微电子机械系统概念与特点,进而对其技术类别进行了简要介绍,最后对微电子机械技术的应用进行了分析,包括环境科学领域、军事领域以及医疗领域,以期更大程度的发挥微电子机械系统技术的价值。(本文来源于《电子技术与软件工程》期刊2014年20期）
郭俊莉[10]（2014）在《微电子机械系统技术与具体应用》一文中研究指出近年来,微电子机械系统这种新兴的技术迅速发展,已经逐渐影响到人们生活的各个领域。该技术以硅为加工材料,其制品具有集成化、微型化等特点。它的这些特点受到各个领域的青睐,目前许多工业领域期望通过微电子机械系统技术改进技术条件,解决工厂存在的问题。因此,本文将从微电子机械系统的概念,加工过程所采用的技术,及具体应用等方面对其进行探讨。(本文来源于《中国科技信息》期刊2014年16期）
微电子机械系统论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
为了满足全向激光探测的需求,提出一种基于2D MEMS镜扫描的激光雷达结构。激光器通过1×6高速光开关分时地给6个扫描子系统提供光信号,6个扫描子系统探测视场迭加起来可实现360°激光探测。每个扫描子系统的扫描范围为60°×30°,其中包含一个扩展MEMS镜扫描角度的发射光学天线和一个大视场有增益的接收光学天线。发射光学天线将MEMS镜±10°的扫描角扩展到±30°,发散度小于0.2mrad;接收视场内的激光回波经过接收天线在探测器上所成的半像高小于1mm,接收增益为3.65。通过计算修正后的激光雷达方程可得到发射功率20W的激光束在工作距离100m内的回波功率≥1nW,结果表明该光学系统可适用于激光雷达系统。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微电子机械系统论文参考文献
[1]..基于MEMS(微电子机械系统)工程和纳米技术的医疗工程研发和产品设计项目[J].中国粉体工业.2018
[2].李启坤,邱琪.基于2D微电子机械系统(MEMS)镜全向激光雷达光学系统设计[J].应用光学.2018
[3].宋宇,张海霞.微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEEMEMS2018国际会议综述[J].太赫兹科学与电子信息学报.2018
[4]..EV集团将GEMINI~300mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业[J].电子工业专用设备.2016
[5].黄金兰,李玉榕,陈建国.基于微电子机械系统传感器的功能性电刺激系统[J].生物医学工程研究.2015
[6].陈文涛.关于微电子机械系统的力学问题分析[J].科学中国人.2015
[7].李小宝,王春晖,曲扬,任逍遥.叁维成像激光雷达系统中的微电子机械系统扫描:扫描视场角与扩束[J].激光与光电子学进展.2015
[8].陈良,王建国,黄从运.基于碳-微电子机械系统的超级电容器的研究进展[J].科技创新与应用.2015
[9].王志宏.微电子机械系统技术与应用领域研究[J].电子技术与软件工程.2014
[10].郭俊莉.微电子机械系统技术与具体应用[J].中国科技信息.2014
论文知识图
