浅谈洁净用品在高纯多晶硅后处理过程中的重要性

论文摘要

高纯多晶硅作为电子材料的基石,其纯度及表金属杂质的控制是有严格要求的,当多晶硅通过一系列复杂的工艺从还原炉中生长出直至到下游厂家,其中的各个流程都有二次污染的风险,为了尽量减少或杜绝产品的污染,我们需要借助许多工具或物品设施来实现,这样就对过程中接触多晶硅的物品要求提出了考验,无论是运输车辆还是破碎工具等。文章针对在多晶硅后处理过程中为隔离杜绝人接触而污染产品的洁净用品分析探讨,重点从洁净手套方面分析高纯多晶硅后处理中质量保证的特殊性和重要性,从而对有效的控制管理措施提供科学的依据。

论文目录

• 1 后处理过程中质量影响因素
• 2 高纯多晶硅用洁净用品类别
• 3 洁净手套作用及使用研究
•   3.1 洁净手套作用
•   3.2 洁净手套使用要求
•   3.3 洁净手套质量对产品质量影响
•   3.4 手套材质选型对产品质量影响
• 4 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李生全,陈叮琳

关键词: 高纯多晶硅,后处理,洁净用品

来源: 智能城市 2019年23期

年度: 2019

分类: 信息科技,经济与管理科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 青海黄河水电公司新能源分公司青海省新能源材料与技术重点实验室

分类号: TQ127.2

DOI: 10.19301/j.cnki.zncs.2019.23.068

页码: 125-126

总页数: 2

文件大小: 1643K

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