全文摘要
本实用新型的一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，包括上磨盘、分液口接头、固定法兰、注液口、注液口固定支架、悬挂轴、流液槽、漏液槽、固定柱，输液管；上磨盘与固定法兰之间通过固定柱连接，上磨盘上的分液口接头均布固定在上磨盘上，分液口接头上设有螺纹，输液管螺纹连接漏液槽底部的分液口接头和上磨盘的分液口接头，漏液槽安装在固定法兰上，漏液槽上方布置有流液槽以及注液口，并固定在注液口固定支架上流液槽安装在固定法兰上，在流液槽上设有流液孔，注液口位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽上方。本实用新型的通过上磨盘上的均布分液口可以使研磨液均匀注入，可以减小磨盘上工件的破片，提高磨削质量。
主设计要求
1.一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，其特征在于，包括上磨盘(1)、分液口接头(2)、固定法兰(3)、注液口(4)、注液口固定支架(5)、悬挂轴(6)、流液槽(7)、漏液槽(8)、固定柱(9)，输液管(10)；上磨盘(1)与固定法兰(3)之间通过固定柱(9)连接，上磨盘上的分液口接头(2)均布固定在上磨盘(1)上，分液口接头(2)上设有螺纹，输液管(10)螺纹连接漏液槽(8)底部的分液口接头(2)和上磨盘的分液口接头(2)，漏液槽(8)安装在固定法兰(3)上，漏液槽(8)上方布置有流液槽(7)以及注液口(4)，注液口(4)与研磨液外部储液罐通过管路连接，并固定在注液口固定支架(5)上，注液口固定支架(5)与外部支架固定，流液槽(7)安装在固定法兰(3)上，在流液槽(7)上设有流液孔，注液口(4)位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽(8)上方，固定法兰(3)中心的悬挂轴(6)与外部横梁，固定支架(5)与悬挂轴(6)通过滚动轴承连接。
设计方案
1.一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，其特征在于，包括上磨盘(1)、分液口接头(2)、固定法兰(3)、注液口(4)、注液口固定支架(5)、悬挂轴(6)、流液槽(7)、漏液槽(8)、固定柱(9)，输液管(10)；上磨盘(1)与固定法兰(3)之间通过固定柱(9)连接，上磨盘上的分液口接头(2)均布固定在上磨盘(1)上，分液口接头(2)上设有螺纹，输液管(10)螺纹连接漏液槽(8)底部的分液口接头(2)和上磨盘的分液口接头(2)，漏液槽(8)安装在固定法兰(3)上，漏液槽(8)上方布置有流液槽(7)以及注液口(4)，注液口(4)与研磨液外部储液罐通过管路连接，并固定在注液口固定支架(5)上，注液口固定支架(5)与外部支架固定，流液槽(7)安装在固定法兰(3)上，在流液槽(7)上设有流液孔，注液口(4)位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽(8)上方，固定法兰(3)中心的悬挂轴(6)与外部横梁，固定支架(5)与悬挂轴(6)通过滚动轴承连接。
2.根据权利要求1所述的一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，其特征在于，研磨抛光机的上盘研磨液输送机构包括四个漏液槽(8)，每个漏液槽具有8个接头。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及电子及半导体冷加工领域，更具体的涉及一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构。
背景技术
今年来，电子及半导体行业对磨盘上工件的要求越来越高时，为了减小磨盘上工件的破片和提高磨削质量，需要均匀的加入研磨液。
发明内容
发明目的：针对上述现有技术提出一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，使得研磨液能够均匀注入，减小磨盘上工件的破片，提高磨削质量。
技术方案：
一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，包括上磨盘、分液口接头、固定法兰、注液口、注液口固定支架、悬挂轴、流液槽、漏液槽、固定柱，输液管；上磨盘与固定法兰之间通过固定柱连接，上磨盘上的分液口接头均布固定在上磨盘上，分液口接头上设有螺纹，输液管螺纹连接漏液槽底部的分液口接头和上磨盘的分液口接头，漏液槽安装在固定法兰上，漏液槽上方布置有流液槽以及注液口，注液口与研磨液外部储液罐通过管路连接，并固定在注液口固定支架上，注液口固定支架与外部支架固定，流液槽安装在固定法兰上，在流液槽上设有流液孔，注液口位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽上方，固定法兰中心的悬挂轴与外部横梁，固定支架与悬挂轴通过滚动轴承连接。
进一步地，所述研磨抛光机的上盘研磨液输送机构包括四个漏液槽，每个漏液槽具有8个接头。
有益效果：
本发明的一种研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，通过上磨盘上的均布分液口可以使研磨液均匀注入，可以减小磨盘上工件的破片，提高磨削质量；漏液槽上方敞开，利用液体重力注液，压差固定，流量更均匀；漏液槽上设置流液槽，可以避免液体飞溅到其他地方；磨盘旋转运动时，也而不影响系统注液。
附图说明
图1为研磨抛光机的上盘研磨液输送机构示意图；
图2为研磨抛光机的上盘研磨液输送机构立体图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做更进一步的解释。
如图1和图2所示的研磨抛光机的上盘研磨液输送机构，包括上磨盘1、分液口接头2、固定法兰3、注液口4、注液口固定支架5、悬挂轴6、流液槽7、漏液槽8、固定柱9，输液管10；上磨盘1与固定法兰3之间通过固定柱9连接，上磨盘上的分液口接头2均布固定在上磨盘1上，分液口接头2上设有螺纹，输液管10螺纹连接漏液槽8底部的分液口接头2和上磨盘的分液口接头2，漏液槽8安装在固定法兰3上，漏液槽8上方布置有流液槽7以及注液口4，注液口4与研磨液外部储液罐通过管路连接，并固定在注液口固定支架5上，注液口固定支架5与外部支架固定，流液槽7安装在固定法兰3上，在流液槽7上设有流液孔，注液口4位于流液孔上方，流液孔位于漏液槽8上方，研磨抛光机的上盘研磨液输送机构包括四个漏液槽8，每个漏液槽具有8个接头，固定法兰3中心的悬挂轴6与外部横梁，固定支架5与悬挂轴6通过滚动轴承连接。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201822266058.7
申请日:2018-12-31
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209289028U
授权时间:20190823
主分类号:B24B 57/02
专利分类号:B24B57/02;B24B41/04
范畴分类:26F;
申请人:江苏仁凯光电设备有限公司
第一申请人:江苏仁凯光电设备有限公司
申请人地址:224700 江苏省盐城市建湖县民营科技创业园2号路106号
发明人:谢德海;刘勇
第一发明人:谢德海
当前权利人:江苏仁凯光电设备有限公司
代理人:陈建和
代理机构:32249
代理机构编号:南京瑞弘专利商标事务所（普通合伙）
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：抛光机论文;