全文摘要
本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域,具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机,所述切片机的下方设有废液收集槽,所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置,且回收处理装置位于加工台的下端,所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接。本实用新型克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,有效的解决了切割后的废液无法直接使用,处理需要耗费大量的人力物力,得不偿失,直接排放则会造成资源浪费的问题。
主设计要求
1.一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机,其特征在于:所述切片机的下方设有废液收集槽,所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置,且回收处理装置位于加工台的下端,所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接;所述回收处理装置包括废液箱,且废液箱通过进液管与废液收集槽的下端贯通连接,所述废液箱上插设有输出管,且输出管位于废液箱内腔的一段上安装有液体泵,输出管的另一端连接有过滤组件,所述过滤组件的另一侧通过第一连接管贯通连接有沉淀组件,所述沉淀组件通过第二连接管连接有曝气组件,所述曝气组件的侧壁上部通过出液管贯通连接有回流箱,所述回流箱通过回流管与喷液机的输入端相连接。
设计方案
1.一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机,其特征在于:所述切片机的下方设有废液收集槽,所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置,且回收处理装置位于加工台的下端,所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接;
所述回收处理装置包括废液箱,且废液箱通过进液管与废液收集槽的下端贯通连接,所述废液箱上插设有输出管,且输出管位于废液箱内腔的一段上安装有液体泵,输出管的另一端连接有过滤组件,所述过滤组件的另一侧通过第一连接管贯通连接有沉淀组件,所述沉淀组件通过第二连接管连接有曝气组件,所述曝气组件的侧壁上部通过出液管贯通连接有回流箱,所述回流箱通过回流管与喷液机的输入端相连接。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,其特征在于:所述过滤组件包括过滤箱,所述过滤箱的内腔上部倾斜安装有过滤网板,所述过滤网板的上端滑动安装有刮板,且刮板通过电动推杆安装在过滤箱的侧壁上,所述过滤箱的后端安装有粉体收集箱,且粉体收集箱的前壁上开设有贯穿过滤箱后壁的排灰孔,所述排灰孔的下端口与过滤网板的上端口齐平。
3.如权利要求1-2中任一项所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,其特征在于:所述沉淀组件包括沉淀箱,所述沉淀箱的下端贯通安装有多个出泥支管,且出泥支管的另一端安装在同一个出泥总管上,所述出泥总管安装在污泥泵的输入端上,且污泥泵的输出端上安装有输泥管,所述输泥管的另一端贯通安装在粉体收集箱的侧壁上部。
4.如权利要求1所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,其特征在于:所述曝气组件包括曝气箱,所述曝气箱的内腔下端平行设有多个曝气支管,且曝气支管上安装有多个气嘴,多个所述曝气支管的一端均到达曝气箱的外腔并安装在同一个曝气总管上,所述曝气总管上安装有气泵。
5.如权利要求3所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,其特征在于:所述沉淀箱的内腔下部为向内倾斜的倒台型结构。
6.如权利要求2所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,其特征在于:所述过滤网板与过滤箱内壁之间的倾斜夹角为45°至60°。
7.如权利要求2所述的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,其特征在于:所述粉体收集箱的侧壁下部开设有排粉口,且排粉口上安装有夹管阀。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及多晶硅加工设备技术领域,具体涉及一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置。
背景技术
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。
现有的太阳能电池用多晶硅是由多晶硅铸锭炉生产出来多晶硅锭并对多晶硅锭进行去头尾并切片成型为多晶硅片,并对多晶硅片进行再加工得到了,多晶硅铸在切割过程中会使用具有润滑及冷却作用的切割液,以降低切割过程中的机械应力和热应力损害,然而,多晶硅铸在切割后,大量的切割废液和切削损失的硅粉、锯线金属等物质混合后排出,这部分的废液无法直接使用,然而现有的企业在处理切削废液时需要耗费大量的人力物力,得不偿失,直接排放则会造成资源的浪费。
为此,我们提出了一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,克服了现有技术的不足,设计合理,结构紧凑,有效的解决了切割后的废液无法直接使用,处理需要耗费大量的人力物力,得不偿失,直接排放则会造成资源浪费的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:
一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台、加工台上端安装的切片机和喷液机,所述切片机的下方设有废液收集槽,所述废液收集槽的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置,且回收处理装置位于加工台的下端,所述回收处理装置的输出端通过回流管与喷液机相连接;
所述回收处理装置包括废液箱,且废液箱通过进液管与废液收集槽的下端贯通连接,所述废液箱上插设有输出管,且输出管位于废液箱内腔的一段上安装有液体泵,输出管的另一端连接有过滤组件,所述过滤组件的另一侧通过第一连接管贯通连接有沉淀组件,所述沉淀组件通过第二连接管连接有曝气组件,所述曝气组件的侧壁上部通过出液管贯通连接有回流箱,所述回流箱通过回流管与喷液机的输入端相连接。
进一步的,所述过滤组件包括过滤箱,所述过滤箱的内腔上部倾斜安装有过滤网板,所述过滤网板的上端滑动安装有刮板,且刮板通过电动推杆安装在过滤箱的侧壁上,所述过滤箱的后端安装有粉体收集箱,且粉体收集箱的前壁上开设有贯穿过滤箱后壁的排灰孔,所述排灰孔的下端口与过滤网板的上端口齐平。
进一步的,所述沉淀组件包括沉淀箱,所述沉淀箱的下端贯通安装有多个出泥支管,且出泥支管的另一端安装在同一个出泥总管上,所述出泥总管安装在污泥泵的输入端上,且污泥泵的输出端上安装有输泥管,所述输泥管的另一端贯通安装在粉体收集箱的侧壁上部。
进一步的,所述曝气组件包括曝气箱,所述曝气箱的内腔下端平行设有多个曝气支管,且曝气支管上安装有多个气嘴,多个所述曝气支管的一端均到达曝气箱的外腔并安装在同一个曝气总管上,所述曝气总管上安装有气泵。
进一步的,所述沉淀箱的内腔下部为向内倾斜的倒台型结构。
进一步的,所述过滤网板与过滤箱内壁之间的倾斜夹角为45°至60°。
进一步的,所述粉体收集箱的侧壁下部开设有排粉口,且排粉口上安装有夹管阀。
(三)有益效果
本实用新型实施例提供了一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置。具备以下有益效果:
1、通过废液收集槽、进液管和废液箱的组合结构,有效的将切片机切片后的废液收集起来并通过进液管流入废液箱中,有效的完成废液的收集,避免废液的浪费,便于进行下一步废液的回收利用。
2、通过废液箱、输出管、过滤组件、第一连接管、沉淀组件、曝气组件、第二连接管、出液管和回流箱的组合结构,先将废液箱中的切割废液抽吸到过滤组件中进行过滤,其中切割废液中混杂的硅粉等杂质被排放到粉体收集箱中,过滤后的切割废液经过沉淀组件和曝气组件的沉淀曝气处理变为可再次利用的切割液,有效的完成回收处理,节约了生产成本。
3、通过过滤箱、过滤网板、粉体收集箱、电动推杆、刮板的组合结构,电动推杆启动,带动刮板运动,将过滤网板上过滤下来的硅粉等微小固体颗粒推入粉体收集箱中,完成持续的过滤,同时,结合污泥泵和输泥管从沉淀箱底部抽吸出的沉淀硅粉,有效的完成硅粉的全部回收,减少资源的浪费,大大提高了切割液的回收再利用。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型中回收处理装置结构俯视图;
图3为本实用新型中过滤组件结构示意图;
图4为本实用新型中沉淀组件内部后视图;
图5为本实用新型中曝气组件与回流箱的组合结构示意图。
图中:加工台1、切片机2、喷液机3、废液收集槽4、回收处理装置5、废液箱51、输出管52、过滤组件53、过滤箱531、过滤网板532、粉体收集箱533、电动推杆534、刮板535、第一连接管54、沉淀组件55、沉淀箱551、出泥支管552、出泥总管553、污泥泵554、输泥管555、夹管阀536、曝气组件56、曝气箱561、曝气支管562、气嘴563、曝气总管564、气泵565、第二连接管57、出液管58、回流箱59、回流管6。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
参照附图1,本实用新型一实施例提供的一种多晶硅片金刚线切割液用回收处理装置,包括加工台1、加工台1上端安装的切片机2和喷液机3,所述切片机2的下方设有废液收集槽4,所述废液收集槽4的下端通过进液管贯通连接有回收处理装置5,且回收处理装置5位于加工台1的下端,通过废液收集槽4和进液管,有效的将切片机2切片后的废液收集起来并通过进液管流入废液箱51中,有效的完成废液的收集,避免废液的浪费,便于进行下一步废液的回收利用,所述回收处理装置5的输出端通过回流管6与喷液机3相连接,直接进行切割液的再利用。
本实施例中,如图2所示,所述回收处理装置5包括废液箱51,且废液箱51通过进液管与废液收集槽4的下端贯通连接,所述废液箱51上插设有输出管52,且输出管52位于废液箱51内腔的一段上安装有液体泵,输出管52的另一端连接有过滤组件53,所述过滤组件53的另一侧通过第一连接管54贯通连接有沉淀组件55,所述沉淀组件55通过第二连接管57连接有曝气组件56,所述曝气组件56的侧壁上部通过出液管58贯通连接有回流箱59,所述回流箱59通过回流管6与喷液机3的输入端相连接,先将废液箱51中的切割废液抽吸到过滤组件53中进行过滤,其中切割废液中混杂的硅粉等杂质被排放到粉体收集箱533中,过滤后的切割废液经过沉淀组件55和曝气组件56的沉淀曝气处理变为可再次利用的切割液,有效的完成回收处理,节约了生产成本。
本实施例中,如图3所示,所述过滤组件53包括过滤箱531,所述过滤箱531的内腔上部倾斜安装有过滤网板532,所述过滤网板532的上端滑动安装有刮板535,且刮板535通过电动推杆534安装在过滤箱531的侧壁上,所述过滤箱531的后端安装有粉体收集箱533,且粉体收集箱533的前壁上开设有贯穿过滤箱531后壁的排灰孔,所述排灰孔的下端口与过滤网板532的上端口齐平,通过输出管52上安装的液体泵将废液箱51中的废液提升到过滤箱531中,随后,废液通过倾斜安装的过滤网板532过滤,电动推杆534启动,带动刮板535运动,将过滤网板532上过滤下来的硅粉等微小固体颗粒推入粉体收集箱533中,完成持续的过滤,同时,结合污泥泵554和输泥管555从沉淀箱551底部抽吸出的沉淀硅粉,有效的完成硅粉的全部回收,减少资源的浪费,大大提高了切割液的回收再利用。
本实施例中,如图4所示,所述沉淀组件55包括沉淀箱551,所述沉淀箱551的下端贯通安装有多个出泥支管552,且出泥支管552的另一端安装在同一个出泥总管553上,所述出泥总管553安装在污泥泵554的输入端上,且污泥泵554的输出端上安装有输泥管555,所述输泥管555的另一端贯通安装在粉体收集箱533的侧壁上部,过滤后的切割废液进入沉淀箱551中进行沉淀,废液中的硅粉等杂质在沉淀时向下落到沉淀箱551的箱底,随后,污泥泵554启动,将硅粉等杂质排入粉体收集箱533中,有效完成硅粉的收集。
本实施例中,如图2和5所示,所述曝气组件56包括曝气箱561,所述曝气箱561的内腔下端平行设有多个曝气支管562,且曝气支管562上安装有多个气嘴563,多个所述曝气支管562的一端均到达曝气箱561的外腔并安装在同一个曝气总管564上,所述曝气总管564上安装有气泵565,气泵565启动,将外界的氧气通过曝气总管564-曝气支管562-多个气嘴563充入沉淀后的废液中,有效的减少废液中悬浮的杂质,便于回收再利用。
本实施例中,如图4所示,所述沉淀箱551的内腔下部为向内倾斜的倒台型结构,便于废液中的硅粉等杂质在沉淀时向下落到沉淀箱551的箱底,随后被污泥泵554抽吸收集。
本实施例中,如图3所示,所述过滤网板532与过滤箱531内壁之间的倾斜夹角为45°至60°。
本实施例中,如图3所示,所述粉体收集箱533的侧壁下部开设有排粉口,且排粉口上安装有夹管阀536,通过排粉口上安装的夹管阀536,有效的将粉体收集箱533中的收集的硅粉排放出来,实现硅粉的再利用。
根据本实用新型上述实施例的,经过回收处理装置5对废液的回收处理,同样也将高温的切割液经过处理循环后进行降温,便于喷液机3的循环使用,大大提高了资源的利用效率。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920081403.1
申请日:2019-01-17
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:34(安徽)
授权编号:CN209794247U
授权时间:20191217
主分类号:B28D5/04
专利分类号:B28D5/04;B28D7/00
范畴分类:26K;
申请人:安徽华顺半导体发展有限公司
第一申请人:安徽华顺半导体发展有限公司
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发明人:李广森
第一发明人:李广森
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