全方位离子注入论文_王浪平

导读:本文包含了全方位离子注入论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:离子,等离子体,纳米,氮化,成批,合金,光谱。

全方位离子注入论文文献综述

王浪平[1](2017)在《[例48]全方位离子注入与沉积在航天精密运动部件表面强化中的应用》一文中研究指出在火箭、卫星等研制中,渗氮、喷涂等表面强化方法很容易导致零件尺寸变差,因此必须在精密部件表面制备出高尺寸精度和高性能的强化层。而传统表面强化技术难以同时满足这两个要求。全方位离子注入与沉积技术利用离子鞘层来实现离子的加速,克服了传统束线离子注入的直射性效应;当离子鞘层与工件之间"保形"时,可在复杂形状零件表面获得均匀的表面强化层,在高精度表面强(本文来源于《中国表面工程》期刊2017年02期)

刘洪喜,蒋业华,汤宝寅[2](2010)在《全方位离子注入与沉积TiN薄膜的纳米压痕和纳米划擦行为》一文中研究指出用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合改性技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜。膜层的相组成及其表面形貌分别用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征。合成薄膜前后试样的力学性能经纳米压痕和划痕实验评价。XRD结果表明,膜层中主要存在TiN相,择优取向(200),同时含有少量TiO2和钛氮氧的化合物。AFM形貌显示出试样表面TiN呈定向排列,膜层均匀完整,结构致密。纳米压痕测试结果表明,膜层具有较高的纳米硬度和弹性模量,最大值分别达到22.5和330 GPa,较基体分别增长104.5%和50%。根据纳米划痕形貌和划痕深度随划痕位置的变化关系分析出,薄膜在纳米划擦过程中先后经历了弹性变形,弹塑性变形,加载开裂或卸载剥落叁个阶段。划擦剥落抗力达到80mN,表明TiN薄膜具有很好的弹性恢复能力和较强的疲劳剥落抗力。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2010年05期)

王浪平,王小峰,汤宝寅[3](2010)在《全方位离子注入与沉积技术及其在航空领域的应用探讨》一文中研究指出全方位离子注入与沉积技术在诸多领域已经得到了较为广泛的应用,在航空领域也体现出较大的应用前景,将来必定能够为改善航空关键部件的性能提供可靠的技术支持。(本文来源于《航空制造技术》期刊2010年16期)

刘洪喜,蒋业华,周荣,汤宝寅[4](2010)在《全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能》一文中研究指出用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI440C不锈钢表面制备了类金刚石(DLC)碳膜。膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出DLC膜结构致密均匀。Raman光谱分析结果表明,制备的DLC主要是由金刚石键(sp3)和石墨键(sp2)组成的混合无定形碳膜,且sp3键含量大于10%。以纯石墨棒做阴极,C2H2为工作气体条件下合成的DLC薄膜中,sp3键含量总体上较单纯用石墨作阴极而无工作气体条件下合成的DLC薄膜中sp3键含量高。与基体相比,薄膜试样的显微硬度和摩擦磨损性能均得到了较大改善,最大硬度提高88.7%,磨损寿命延长超过4倍。(本文来源于《材料热处理学报》期刊2010年02期)

刘洪喜,蒋业华,周荣,詹肇麟,杨天武[5](2009)在《TC4合金表面全方位离子注入Ag的耐摩擦磨损和抗腐蚀性能》一文中研究指出为改善TC4合金表面的耐磨性能和抗腐蚀性能,用等离子体浸没离子注入(PIII)技术在合金表面注入不同剂量的金属银。采用XRD、XPS、AES等方法分析改性层的元素浓度分布和化学组成,研究Ag离子注入后试样表面的耐摩擦磨损性能、抗腐蚀性能、纳米硬度和弹性模量。结果表明,表面改性层中主要存在Ag相,同时含有少量的TiAg;处理后注入剂量为1×1017ions/cm2试样的纳米硬度和弹性模量分别提高62.5%和54.5%;磨损面积减小57.6%;摩擦系数由基体合金的0.78下降到0.2。在3.5%NaCl溶液中的腐蚀电位升高,腐蚀电流密度明显减小,耐蚀性得到了显着改善。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2009年12期)

龙重,刘柯钊,白彬,梁宏伟,严东旭[6](2008)在《铀表面全方位离子注入渗氮处理研究》一文中研究指出利用全方位离子注入技术在金属铀表面进行渗氮处理。结果表明,离子注入温度和脉宽是关键工艺参数;提高基体温度,明显增加氮离子在铀中的注入深度。利用俄歇电子能谱(AES)分析注入工艺参数与渗氮层深度间的关系,增加注入脉宽能明显提升含氮层深度。在其它工艺参数不变的情况下,采用60μs脉宽的渗氮层深度比40μs有显着增加,而80μs注入脉宽的渗氮层深度比低温氮离子注入深度提高一个数量级。脉冲负高压对渗氮层深度影响并不明显,但会提高氮的保持剂量。(本文来源于《材料热处理学报》期刊2008年05期)

汤宝寅,王浪平[7](2008)在《全方位离子注入与沉积批量处理技术》一文中研究指出主要介绍全方位离子注入与沉积批量处理对设备的要求以及相关设备的研制,球形、圆柱体、内表面等零件的全方位离子注入与沉积批量处理方法;以及全方位为离子注入与沉积的工业化应用的一些实例。(本文来源于《2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集》期刊2008-09-01)

龙重[8](2008)在《金属铀表面全方位离子注入氮化改性研究》一文中研究指出为了提高金属铀的抗腐蚀能力,本文利用全方位离子注入技术在铀表面进行氮化处理,通过AES、XPS、XRD、SEM等分析手段对样品表面的氮化层组织结构进行了分析。对于氮化层的形成机理从理论上给出了解释。为了检验氮化处理后铀表面抗腐蚀性能,对样品进行了大气腐蚀,湿热腐蚀,电化学腐蚀实验。AES深度剖析数据表明氮化层主要为铀氮氧叁种元素,氧含量较高,氮元素在深度上呈双峰分布。用AES分析了不同工艺参数对氮化效果的影响,增加电压、频率、脉宽、注入时间都明显增大了氮元素注入剂量,但只有增加脉宽,能提高氮的注入深度。利用XPS分析了各元素化学状态。氧和氮都是以化合态的形式存在。铀元素的化学状态比较复杂。在氧含量较高的位置,铀主要以UO_2存在,在氮含量较高的位置,铀则主要以U_2N_3和金属铀存在。从整体上看,改性层为两个富氮层夹在叁个富氧层之间的结构。改性层和金属铀之间没有明显分界面,逐渐过渡,结合紧密。通过XRD低角衍射发现表层主要是由UO_2和U_2N_3的混合物构成,没有发现明显的金属铀衍射峰。从全方位离子注入的原理对氮离子注入剂量进行了计算,氮离子注入剂量为10~(17)-10~(18)cm~(-2)。计算了热平衡时样品表面温度。不同工艺参数下,样品表面温度差别不大,均在400℃左右。对氮化过程中的氧化因素进行了分析。铀表面易吸附氧,氮化过程中样品表面化学活性极高。全方位离子注入为脉冲方式进行,每个注入周期内占空比较小,注入间隙有足够的时间让铀表面吸附含氧介质。离子轰击和温升加速了表面的氧向基体内部扩散,所以氮化时间越长,氧化越严重。从扩散理论分析了氮双峰的形成机理。第一个氮元素富集峰由注入形成,第二个氮元素富集峰由扩散形成。注入离子的级联碰撞使表层附近的氮原子离开晶格,产生扩散。在离开注入区一定距离后,氮原子重新被晶格空位捕获,形成化合物。故在距离表面一定深度的位置堆积成第二个氮峰。没有离子轰击时,氮扩散较为困难。即扩散只在注入期间发生,所以只有脉冲宽度能影响氮化深度。通过腐蚀实验检验了氮化层的抗腐蚀性能。在大气环境中,由SEM观测到表面几乎没有发生变化。湿热腐蚀之后,样品表面有微弱点蚀痕迹。AES检测到表面氧含量略有增加。各元素分布在湿热腐蚀后都没太大变化,氮和氧有向基体内部扩散的趋势。此外,通过XPS检测了样品表面吸附特性的变化,表面吸附的含氧介质大大减少。通过电化学测试了氮化面在氯离子溶液的腐蚀特性。铀表面氮化处理后抗腐蚀性能明显上升,实验范围内不同氮注入剂量的样品在电化学腐蚀中没有明显差别。氮化处理极大提高了铀表面的抗腐蚀性能,改性层与基体结合紧密,具有长期抗腐蚀能力。虽然目前存在着氧化较严重的问题,但通过工艺改进,具有实际应用前景。(本文来源于《中国工程物理研究院》期刊2008-04-01)

王浪平,王小峰,汤宝寅[9](2007)在《全方位离子注入与沉积技术及其工业机的研制》一文中研究指出全方位离子注入与沉积(Plasma immersion ion implantation and deposition,PIIID)技术发展到现在,已经逐步走向工业化应用。本文介绍了全方位离子注入与沉积技术的原理,探讨了全方位离子注入与沉积工业机应该具备的功能,介绍了研制成功的全方位离子注入与沉积设备的结构和实施效果,其脉冲阴极弧等离子体源沉积速率达到2.9(?)/s,IGBT固体开关调制器输出电压达到10 kV,能够一次处理多个工业零件。(本文来源于《核技术》期刊2007年12期)

王浪平,王宇航,王小峰,汤宝寅,董申[10](2007)在《铝合金、钛合金的全方位离子注入与沉积复合处理工艺研究》一文中研究指出铝合金、钛合金等材料具有许多优良性能,广泛用于航空、航天、舰艇及能源化工等工业部门,但是这两种材料的耐磨损性能较差。本研究利用了全方位离子注入与沉积(PIII&D)技术来强化处理这些合金表面,采用离子注入+过渡层+耐磨损层的复合强化处理工艺,通过摩擦磨损试验来研究不同的过渡层结构和厚度对磨损性能的影响。实验结果表明,通过优化过渡层结构和厚度,耐磨损性能有了很大的提高。(本文来源于《核技术》期刊2007年12期)

全方位离子注入论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合改性技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了高硬耐磨的TiN薄膜。膜层的相组成及其表面形貌分别用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)表征。合成薄膜前后试样的力学性能经纳米压痕和划痕实验评价。XRD结果表明,膜层中主要存在TiN相,择优取向(200),同时含有少量TiO2和钛氮氧的化合物。AFM形貌显示出试样表面TiN呈定向排列,膜层均匀完整,结构致密。纳米压痕测试结果表明,膜层具有较高的纳米硬度和弹性模量,最大值分别达到22.5和330 GPa,较基体分别增长104.5%和50%。根据纳米划痕形貌和划痕深度随划痕位置的变化关系分析出,薄膜在纳米划擦过程中先后经历了弹性变形,弹塑性变形,加载开裂或卸载剥落叁个阶段。划擦剥落抗力达到80mN,表明TiN薄膜具有很好的弹性恢复能力和较强的疲劳剥落抗力。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

全方位离子注入论文参考文献

[1].王浪平.[例48]全方位离子注入与沉积在航天精密运动部件表面强化中的应用[J].中国表面工程.2017

[2].刘洪喜,蒋业华,汤宝寅.全方位离子注入与沉积TiN薄膜的纳米压痕和纳米划擦行为[J].真空科学与技术学报.2010

[3].王浪平,王小峰,汤宝寅.全方位离子注入与沉积技术及其在航空领域的应用探讨[J].航空制造技术.2010

[4].刘洪喜,蒋业华,周荣,汤宝寅.全方位离子注入与沉积类金刚石碳膜的结构与性能[J].材料热处理学报.2010

[5].刘洪喜,蒋业华,周荣,詹肇麟,杨天武.TC4合金表面全方位离子注入Ag的耐摩擦磨损和抗腐蚀性能[J].稀有金属材料与工程.2009

[6].龙重,刘柯钊,白彬,梁宏伟,严东旭.铀表面全方位离子注入渗氮处理研究[J].材料热处理学报.2008

[7].汤宝寅,王浪平.全方位离子注入与沉积批量处理技术[C].2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集.2008

[8].龙重.金属铀表面全方位离子注入氮化改性研究[D].中国工程物理研究院.2008

[9].王浪平,王小峰,汤宝寅.全方位离子注入与沉积技术及其工业机的研制[J].核技术.2007

[10].王浪平,王宇航,王小峰,汤宝寅,董申.铝合金、钛合金的全方位离子注入与沉积复合处理工艺研究[J].核技术.2007

论文知识图

&D处理的模拟区域Fig.1-13Simul...微波ECR全方位离子注入系统全方位离子注入试样外观图微波ERC全方位离子注入系统一l微波ECR全方位离子注入系统全方位离子注入技术原理

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