论文摘要
介绍了四川天一科技股份有限公司自主研发的两段PTSA法制备电子级液体CO2技术,该技术以富CO2的气体作为原料,提纯得到电子级液体CO2,产品符合半导体行业的质量要求。该技术已在工业化装置上成功运行,工程应用的结果表明其具有产品质量可靠、能耗低、投资少、运行费用低的优点。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 蒲裕,王键,刘昕,张杰,陈中明,管宁,李传华,王文涛
关键词: 工艺,电子级,液体二氧化碳,生产技术
来源: 天然气化工(C1化学与化工) 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 四川天一科技股份有限公司,吉林佰成气体有限公司
分类号: TQ116.3
页码: 98-102
总页数: 5
文件大小: 2051K
下载量: 59
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