论文摘要
为实现对望远镜系统中光学元件表面缺陷在线检测,介绍了一种用于光学元件表面缺陷检测的变焦距成像光学系统,采用机械变焦形式实现变焦功能。根据望远镜系统技术要求计算出变焦距系统的关键参数,通过Zemax软件设计并优化得到最终结果,整个变焦系统的设计实现了90 mm～540 mm的6倍变焦,在变焦过程中F数和像面位置保持不变,变焦系统总长为553.1 mm。从调制传递函数（MTF）、点列图2个方面分析了系统的成像质量,系统在各焦距处的MTF值在100 lp/mm处均大于0.3,物方分辨率优于0.055 mm,在不同焦距处弥散斑半径均方根值均控制在艾里斑半径范围内。最后对系统环境适应性进行了分析,讨论了工作温度范围为-10℃～40℃时对系统成像质量的影响,并给出了温度补偿方案。实验结果表明,补偿后的系统成像质量良好,满足实际需求。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张文学,王继红,任戈
关键词: 光学元件,在线检测,变焦距光学系统,环境适应性分析
来源: 应用光学 2019年05期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 仪器仪表工业,计算机软件及计算机应用
单位: 中国科学院光束控制重点实验室,中国科学院光电技术研究所,中国科学院大学
基金: 脉冲功率激光技术国家重点实验室开放基金资助项目(SKL2018KF05)
分类号: TP391.41;TH743
页码: 779-785
总页数: 7
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