微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较

论文摘要

针对孔径100～200μm、采用中空供液工艺的高深宽比微细电解加工中,中空电极流速难以在线测量,侧壁绝缘层易出现损伤、脱落等问题,利用不同压力下流速雾化现象在光照下的差异性,建立压力-流速-雾化面积比关系曲线,实现在线流速测试并优化了初始供液压力。通过比较加工孔和加工后电极表面形貌,优选出丙烯酸环氧树脂绝缘层制备工艺,并在304不锈钢片上加工出入口直径180.6μm、出口直径173.8μm、锥度约0.78°的阵列孔,验证了方法应用的可行性。

论文目录

• 1 微细中空电极流速测试
•   1.1 中空电极制备
•   1.2 流速测试
•   1.3 初始供液压力优化
• 2 侧壁绝缘层制备工艺比较
•   2.1 TEOS/MPTMS凝胶法
•   2.2 PI套管法
•   2.3 丙烯酸环氧树脂电泳法
• 3 加工实验
•   3.1 表面形貌对比
•   3.2 耐久性对比
•   3.3 微细阵列孔加工
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 温杰超,孔全存,李勇,钟浩,刘桂礼

关键词: 微细电解加工,中空电极,流速测试,侧壁绝缘,电泳

来源: 电加工与模具 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,清华大学机械工程系,北京信息科技大学精密测量技术与仪器研究所

基金: 国家自然科学基金面上项目（51675054,51775302）,北京市自然科学基金资助项目（3172013）,北京市教委科技发展计划面上项目（KM201711232005）

分类号: TG662

页码: 33-39

总页数: 7

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