全文摘要
本实用新型公开了一种半导体制品的承载部件及传输装置，该承载部件具有能够与水平放置的半导体制品的边缘相抵接的斜面；而且，当半导体制品与斜面抵接时，斜面能够支撑半导体制品，使半导体制品的下表面悬空。因此，本实用新型的承载部件仅仅与半导体制品的边缘相接触，可实现半导体制品的表面无接触承载，从而降低半导体制品在放置过程中表面被污染或划伤的风险。
主设计要求
1.一种半导体制品的承载部件，其特征在于，包括：具有能够与水平放置的半导体制品的边缘相抵接的斜面；而且，当所述半导体制品与所述斜面抵接时，所述斜面能够支撑所述半导体制品，使所述半导体制品的下表面悬空。
设计方案
1.一种半导体制品的承载部件，其特征在于，包括：具有能够与水平放置的半导体制品的边缘相抵接的斜面；而且，当所述半导体制品与所述斜面抵接时，所述斜面能够支撑所述半导体制品，使所述半导体制品的下表面悬空。
2.如权利要求1所述的半导体制品的承载部件，其特征在于，所述斜面具有所述半导体制品的边缘的轮廓相适应的形状。
3.如权利要求2所述的半导体制品的承载部件，其特征在于，具有多个所述斜面，且至少有两个所述斜面相对设置；其中，所述斜面为平面或曲面。
4.如权利要求3所述的半导体制品的承载部件，其特征在于，包括第一构件和第二构件；其中，所述第一构件和所述第二构件分别具有一个所述斜面。
5.如权利要求2所述的半导体制品的承载部件，其特征在于，具有一个所述斜面，且所述斜面为非封闭的曲面。
6.如权利要求1～5任一项所述的半导体制品的承载部件，其特征在于，所述斜面具有一层或多层硬质薄膜材料，或具有一层或多层包覆性涂层。
7.一种半导体制品的传输装置，其特征在于，包括传输机构和将若干个如权利要求1～6任一项所述的承载部件；其中，所述承载部件安装在所述传输机构上，用于承载半导体制品；所述传输机构，用于带动所述承载部件沿传输方向移动，实现半导体制品的传输。
8.如权利要求7所述的半导体制品的传输装置，其特征在于，所述传输机构采用链传动方式带动所述承载部件移动；其中，所述承载部件通过骨架链安装在所述传输机构的传动链上，而且，所述传输机构沿所述传动链的传动路径设置限位装置，以减小所述承载部件在传动路径上的晃动。
9.如权利要求7或8所述的半导体制品的传输装置，其特征在于，还包括控制模块和至少三个距离测量模块；其中，每个所述距离测量模块均安装在同一水平高度，并分别测量该水平高度至所述半导体制品上表面上一个相应测量点的距离；所述控制模块用于根据各个距离测量模块测量到的距离，计算出所述半导体制品的倾斜度，并判断该倾斜度是否超过设定的阈值，若超过，则控制所述传输机构停止运行以及控制报警模块发出报警。
10.如权利要求9所述的半导体制品的传输装置，其特征在于，所述控制模块采用工控机；所述距离测量模块采用红外线距离传感器。
设计说明书
技术领域
本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及半导体制品的承载部件和传输装置，尤其应用于对表面特性有严苛要求的半导体制品的传输与制造过程。
背景技术
半导体制品是在半导体晶片上经过一系列工艺制程后得到的产品，而在半导体制品的制造过程中，例如晶圆加工、显示面板制造和太阳能电池制造，往往需要传输机构来将半导体制品从一个工序移动到另一个工序，。而目前，传输机构的传输方式是将半导体制品放置在传输机构的传送面上进行传输，由于半导体制品有一面必然与传输机构的传输平面相接触，这样便存在半导体制品与该传输平面相接触的一面被污染或被划伤的风险。而对于如异质结太阳电池、液晶显示面板等半导体制品，其产品性能主要由其表面特性决定，一旦出现表面被污染，被划伤的情况，将严重影响半导体制品的表面特性，造成半导体制品因性能不达标而报废，从而降低半导体制品的良品率和生产效率，使半导体制品的生产成本大幅增加。
因此，亟待一种新的半导体制品的传输方案，能够有效提高制造对表面特性有严苛要求的半导体制品的良品率。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于：提供一种半导体制品的承载部件和传输装置，能够在传输过程中，避免传输机构与半导体制品进行面接触，从而降低半导体制品表面被污染或被划伤的风险，尤其对于对表面特性有严苛要求的半导体制品而言，能够有效地提高良品率和生产效率。
为实现上述实用新型目的，本实用新型提供以下技术方案：
一种半导体制品的承载部件，其包括：具有能够与水平放置的半导体制品的边缘相抵接的斜面；而且，当所述半导体制品与所述斜面抵接时，所述斜面能够支撑所述半导体制品，使所述半导体制品的下表面悬空。
根据一种具体的实施方式，本实用新型的承载部件其所述斜面具有所述半导体制品的边缘的轮廓相适应的形状。
进一步地，本实用新型的承载部件具有多个所述斜面，且至少有两个所述斜面相对设置；其中，所述斜面为平面或曲面。更进一步地，本实用新型的承载部件包括第一构件和第二构件；其中，所述第一构件和所述第二构件分别具有一个所述斜面。
进一步地，本实用新型的承载部件具有一个所述斜面，且所述斜面为非封闭的曲面。
根据一种具体的实施方式，本实用新型的承载部件中，所述斜面具有一层或多层硬质薄膜材料，或具有一层或多层包覆性涂层。
基于统一发明构思，本实用新型还提供一种半导体制品的传输装置，其包括传输机构和将若干个本实用新型所述的承载部件；其中，所述承载部件安装在所述传输机构上，用于承载半导体制品；所述传输机构，用于带动所述承载部件沿传输方向移动，实现半导体制品的传输。
根据一种具体的实施方式，本实用新型的传输装置中，所述传输机构采用链传动方式带动所述承载部件移动；其中，所述承载部件通过骨架链安装在所述传输机构的传动链上，而且，所述传输机构沿所述传动链的传动路径设置限位装置，以减小所述承载部件在传动路径上的晃动。
根据一种具体的实施方式，本实用新型的传输装置还包括控制模块和至少三个距离测量模块；其中，每个所述距离测量模块均安装在同一水平高度，并分别测量该水平高度至所述半导体制品上表面上一个相应测量点的距离；所述控制模块用于根据各个距离测量模块测量到的距离，计算出所述半导体制品的倾斜度，并判断该倾斜度是否超过设定的阈值，若超过，则控制所述传输机构停止运行以及控制报警模块发出报警。
进一步地，所述控制模块采用工控机；所述距离测量模块采用红外线距离传感器。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
1、本实用新型半导体制品的承载部件具有能够与水平放置的半导体制品的边缘相抵接的斜面；而且，当半导体制品与斜面抵接时，斜面能够支撑半导体制品，使半导体制品的下表面悬空。因此，本实用新型的承载部件仅仅与半导体制品的边缘相接触，可实现半导体制品的表面无接触承载，从而降低半导体制品在放置过程中表面被污染或划伤的风险。
2、本实用新型的半导体制品的承载部件其斜面具有半导体制品的边缘的轮廓相适应的形状。因此，在承载部件的斜面与半导体制品的边缘相抵接时，由于形状相适配接触更充分，能够提高承载半导体制品的稳定性，降低半导体制品的晃动几率。
3、本实用新型的半导体制品的承载部件由于具有两个相对设置的斜面，不仅能更好地支撑半导体制品，还能方便半导体制品的取放。而且，根据半导体制品的形状，设置斜面的形状，如显示面板、太阳能电池具有直边，则将斜面设置为平面，如晶圆，则将斜面设置为曲面。尤其，针对晶圆的承载，将承载部件设置为具有一个斜面，且该斜面为非封闭的曲面，由于该非封闭的曲面需要具有π弧度以上，能够提供更大的接触面积，从而保证承载部件承载晶圆的实用性。
4、本实用新型的半导体制品的承载部件其斜面具有一层或多层硬质薄膜材料，或具有一层或多层包覆性涂层。由于斜面具有硬质薄膜结构或包覆性涂层，能够增加斜面的硬度，从而减少承载部件与半导体制品频繁接触而破坏斜面的情况发生。
5、本实用新型的半导体制品的传输装置由于在传输机构上安装有本实用新型的承载部件，通过该承载部件与半导体制品的边缘相接触，同时承载部件在传输机构的带动下移动，可实现半导体制品的表面无接触传输，从而降低半导体制品在传输过程中表面被污染或划伤的风险。
6、本实用新型的半导体制品的传输装置中，传输机构采用链传动方式带动承载部件移动；而且，承载部件通过骨架链在传输机构的传动链上，而且，在传输机构沿传动链的传动路径设置限位装置，以减小承载部件在传动路径上的晃动。从而保证半导体制品在传输过程中的稳定性，减少半导体制品磕碰损坏的情况发生。
7、本实用新型的半导体制品的传输装置中，每个距离测量模块均安装在同一水平高度，并分别测量该水平高度至半导体制品上表面上一个相应测量点的距离；控制模块根据各个距离测量模块测量到的距离，计算出半导体制品的倾斜度，并判断该倾斜度是否超过设定的阈值，若超过，则控制传输机构停止运行以及控制报警模块发出报警。因此，本发明能够避免由于半导体制品的放置不符合水平要求，造成半导体制品在后续传输过程中发生偏移，进而发生半导体制品磕碰损坏的情况。
附图说明
图1为本实用新型承载部件的第一种实施结构示意图；
图2为图1所示承载部件放置半导体制品的结构示意图；
图3为本实用新型承载部件的第二种实施结构示意图；
图4为本实用新型承载部件的第三种实施结构示意图；
图5为本实用新型承载部件的第四种实施结构示意图；
图6为本实用新型承载部件的第五种实施结构示意图；
图7为图6所示承载部件放置半导体制品的结构示意图；
图8为本实用新型承载部件的第六种实施结构示意图；
图9为本实用新型承载部件的第七种实施结构示意图；
图10为本实用新型传输机构的结构示意图；
图11为本实用新型传输机构的一种实施结构示意图；
图12为本实用新型倾斜度检测原理的示意图。
附图标记列表
100-承载部件，110-承载部件的斜面，100a-第一构件，100b-第二构件，110a-第一斜面，110b-第二斜面，110c-第三斜面，100A-第一承载部件，100B-第二承载部件，100C-第三承载部件，200-半导体制品，200A-第一半导体制品，200B-第二半导体制品，200C-第三半导体制品，300-传输机构，310a，310b-驱动轮，320a、320b-传动链，330a，330b-限位装置，400-倾斜度检测装置，500-安装支架。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
本实用新型半导体制品的承载部件具有能够与水平放置的半导体制品的边缘相抵接的斜面；而且，当半导体制品与斜面抵接时，斜面能够支撑半导体制品，使半导体制品的下表面悬空。由于承载部件仅仅与半导体制品的边缘相接触，因而可实现半导体制品的表面无接触承载，并降低半导体制品在放置过程中表面被污染或划伤的风险。
而且，本实用新型的半导体制品的承载部件，其斜面具有半导体制品的边缘的轮廓相适应的形状。因此，在承载部件的斜面与半导体制品的边缘相抵接时，由于形状相适配接触更充分，能够提高承载半导体制品的稳定性，降低半导体制品的晃动几率。
如图1、4、5、6和8所示，承载部件100设置为具有第一斜面110a和第二斜面110b，且第一斜面110a、第二斜面110b相对设置，由于承载部件100具有两个相对设置的斜面，放置半导体制品时，能够更好地支撑半导体制品。
同时，由于图1和图6中，承载部件100是在其主体结构上形成第一斜面110a和第二斜面110b，如图2和7所示，当半导体制品放置在承载部件上时，能够与第一斜面110a、第二斜面110b和底面构成通道，抓取机构能够沿该通道伸至半导体制品的底部，吸取并抬升半导体制品200，从而方便半导体制品的取放。
具体的，如图1所示，半导体制品200可以为显示面板和太阳能电池，由于显示面板和太阳能电池通常具有直边，因此，将第一斜面110a、第二斜面110b设置为平面，同时，如图3所示，承载部件100增加一个斜面100c，进一步增加提高承载半导体制品的稳定性。另外，如图4和5所示，承载部件100由第一构件100a和第二构件100b构成，在第一构件100a上形成有第一斜面110a，在第二构件100b上形成有第二斜面110b，具体的形状结构不限于图4和图5所示，第一构件和第二构件的形状可以是具有斜面的任意形状，如梯形等。
具体的，如图6和图7所示，半导体制品200为晶圆，由于晶圆的外形轮廓为圆形，因此，将第一斜面110a、第二斜面110b设置为具有圆台的一部分侧面的曲面形状，且第一斜面110a、第二斜面110b沿水平方向上的半径从上往下逐渐减小，如图7所示，半导体制品200的半径小于第一斜面110a、第二斜面110b的最大半径，大于第一斜面110a、第二斜面110b的最小半径。
如图8所示，承载部件100由第一构件100a和第二构件100b构成，在第一构件100a上形成有第一斜面110a，在第二构件100b上形成有第二斜面110b。其工作原理与图6所示的承载部件100一致，仅仅是将承载部件100制作成两个独立的部分。
如图9所示，针对晶圆的承载与放置，将承载部件100设置为具有一个斜面110，且将斜面110设置为具有圆台的一部分侧面的曲面形状，同时，斜面110位非封闭的曲面，且斜面110需要具有π弧度以上，才能够维持晶圆的稳定，同时，由于斜面110需要具有π弧度以上，从而能够提供更大的接触面积，进而保证承载部件承载晶圆的实用性。
本实用新型的半导体制品的承载部件中，将斜面设置为具有一层或多层硬质薄膜材料，或具有一层或多层包覆性涂层。由于斜面具有硬质薄膜结构或包覆性涂层结构，能够增加斜面的硬度，提高承载部件的耐用性，从而减少承载部件与半导体制品频繁接触而破坏斜面的情况发生。
具体的，本实用新型的承载部件主体结构可以采用高强度塑料、树脂、不锈钢、铝合金等制成，同时，采用化学气相沉积、物理气相沉积和磁控溅镀等方式，将硬质薄膜材料分一层或多层设置在承载部件的斜面上，硬质薄膜材料可以采用氮化铬、金刚石薄膜，以及三元化合物BC4<\/sub>N，B12<\/sub>C2.88<\/sub>Si0.35<\/sub>和Si3<\/sub>N2.2<\/sub>C2.16<\/sub>等现有材料。而包覆性涂层采用电子束物理气相沉积、真空镀膜、离子镀膜和溅射镀膜及等离子喷涂等方式将一种金属或合金包覆在基体金属表面并通过后处理使包覆材料与基体表面紧密结合。
如图10所示，本实用新型还提供一种半导体制品的传输装置，其包括传输机构300，以及第一承载部件100A、第二承载部件100B和第三承载部件100C。其中，第一承载部件100A、第二承载部件100B和第三承载部件100C安装在传输机构300上。具体的，需要将承载部件固定安装在传输机构的传输部件上，避免承载部件与传输部件的相对移动。传输机构可以采用现有的带式传输设备或链式传输设备。
具体的，将第一半导体制品200A，第二半导体制品200B，第三半导体制品200C依次水平放置于第一承载部件100A、第二承载部件100B和第三承载部件100C之上，在放置时，使半导体制品的边缘与承载部件具有的斜面抵接，并利用承载部件的斜面支撑半导体制品，使半导体制品的下表面悬空。
传输机构300带动第一承载部件100A、第二承载部件100B和第三承载部件100C沿传输方向移动，实现第一半导体制品200A，第二半导体制品200B，第三半导体制品200C的传输。
如图11所示，本实用新型的半导体制品的传输装置中，传输机构300采用链传动方式带动承载部件100移动，并采用如图4所示的承载部件。
而且，利用骨架链将第一构件110a、第二构件110b分别安装在传输机构300的传动链320a、320b上，而且，第一构件110a与第二构件110b的位置严格对齐，为了方便传输自动化控制，将各个承载部件等间距地设置在传动链上。具体的，传动链320a、320b可采用是传动用短节距滚子链、传动用双节距滚子链、传动用齿形链和无级变速链等。而且驱动轮310a、310b采用同轴双齿，驱动轮的驱动方式采用联动轴同步传动、同步电机驱动传动和滑轨同步传动等。同时，在传动链320a、320b上的传动路径上设置限位装置330a，330b，以减小在第一构件110a、第二构件110b在其传动路径上的晃动。
本实用新型的半导体制品的传输装置中，可根据需要传输的半导体制品，设计承载部件的尺寸，以及根据需要传输的距离，来确定选择传动链的类型和长度。承载部件的形状设计根据具体要求，进行设计，如出于方便加工的考虑，或出于承载稳定性的考虑。
本实用新型的半导体制品的传输装置还包括控制模块(图中未示出)和至少三个距离测量模块。其中，每个距离测量模块均安装在同一水平高度，并分别测量该水平高度至半导体制品上表面上一个相应测量点的距离；控制模块用于根据各个距离测量模块测量到的距离，计算出半导体制品的倾斜度，并判断该倾斜度是否超过设定的阈值，若超过，则控制传输机构停止运行以及控制报警模块发出报警。
在实施时，多个距离测量模块集成在倾斜度检测装置400中，该倾斜度检测装置400通过一个安装支架500设置于传输机构300之上。控制模块采用工控机，距离测量模块采用红外线距离传感器。
具体的，如图12所示，由于不共线的三个点可以确定一个平面，因此，本实用新型的半导体制品的传输装置包括三个红外线距离传感器，并分别测量半导体制品200上的A点、B点和C点至红外线距离传感器所设置位置的距离，同时，由于红外线距离传感器均设置在同一水平高度，便可根据A点、B点和C点的距离，计算出该半导体制品200上表面的倾斜度。
在实施时，通过工控机来处理各个距离测量模块检测到的数据，并计算出半导体制品上表面的倾斜度，同时，工控机具有工业设备控制的功能，能够根据半导体制品的放置是否符合水平要求，控制传输机构的驱动电机的启动和报警模块发出报警。上述计算倾斜度的方式属于现有技术，此处不再赘述。
因此，本实用新型能够避免由于半导体制品的放置不符合水平要求，造成半导体制品在后续传输过程中发生偏移，进而发生半导体制品磕碰损坏的情况。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201921085303.2
申请日:2019-07-11
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:90(成都)
授权编号:CN209544304U
授权时间:20191025
主分类号:H01L 21/687
专利分类号:H01L21/687;H01L21/677
范畴分类:38F;23E;
申请人:中威新能源（成都）有限公司
第一申请人:中威新能源（成都）有限公司
申请人地址:610000 四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
发明人:谢毅;石建华;孟凡英;刘正新;张丽平
第一发明人:谢毅
当前权利人:中威新能源（成都）有限公司
代理人:何悦
代理机构:51250
代理机构编号:成都蓉域智慧知识产权代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计