导读:本文包含了光敏聚酰亚胺论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:聚酰亚胺,氟化,光刻,亚胺,薄膜,真空计,基团。
光敏聚酰亚胺论文文献综述
魏文康,虞鑫海,王凯,吕伦春[1]（2018）在《光敏聚酰亚胺的研究与应用进展》一文中研究指出光敏聚酰亚胺因其优良的综合性能,被广泛地应用于微电子领域的绝缘层和保护层等。本文综述了光敏聚酰亚胺(PSPI)的最新研究进展、发展概况,并且分别对负性光敏聚酰亚胺和正性光敏聚酰亚胺的结构、性能、合成方法以及相关材料的实际应用进行了系统的阐述。(本文来源于《合成技术及应用》期刊2018年03期）
张文涛,王国志,刘文兴,胥卫奇,沙伟华[2]（2018）在《光敏型聚酰亚胺的研究进展》一文中研究指出光敏型聚酰亚胺(PSPI)是一类在高分子链上兼有光敏基团和亚胺环的高性能高分子材料。光敏型聚酰亚胺是具有优良的机械强度、热稳定性、化学稳定性和低介电常数的高性能材料,因而其广泛应用于微电子、航空航天及光电子等领域。主要介绍了近几年来光敏型聚酰亚胺树脂的合成及应用,并对其发展的方向进行了讨论。(本文来源于《现代涂料与涂装》期刊2018年02期）
王飞,汪映寒[3]（2017）在《新型含肉桂酰侧基的光敏聚酰亚胺平行取向膜的研究》一文中研究指出以均苯四甲酸二酐(PMDA)和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)-六氟丙烷(AHHFP),经两步法合成含有羟基侧基的聚酰亚胺(PI),再经过肉桂酰氯功能化,得到可溶的光敏聚酰亚胺(PI-CA)。1H-NMR测试结果表明PI和PI-CA的成功制备。经过照射倾斜的平行紫外光,可以诱导液晶分子发生平行取向。(本文来源于《中国化学会2017全国高分子学术论文报告会摘要集——主题H：光电功能高分子》期刊2017-10-10）
曹建诚,王宽,刘敬成[4]（2017）在《光敏氟化聚酰亚胺/石墨烯复合材料的制备及其性能研究》一文中研究指出通过在还原石墨烯表面进行重氮盐修饰合成了氨基功能化石墨烯AFGO,后以4,4'-二氨基二苯醚(ODA)、3,5-二氨基苯甲酸(DABA)、二酸酐6FDA、AFGO和GMA为单体通过原位聚合法合成了一系列不同AFGO添加量的光敏性聚酰亚胺/石墨烯复合材料,并通过光固化技术制备了聚酰亚胺/石墨烯光固化复合薄膜GPI/AFGOs。利用ATR-FTIR、SEM、TEM等分析了不同AFGO添加量对复合薄膜性能的影响。通过红外光谱证明氧化石墨烯(GO)、氨基功能化石墨烯(AFGO)的成功制备;通过TEM中石墨烯片层的分布情况,证明利用重氮盐修饰法制备单层或多层的AFGO在基体中具有其良好的分散性,可以形成均匀、稳定的分散液。(本文来源于《中国化学会2017全国高分子学术论文报告会摘要集——主题M：高分子共混与复合体系》期刊2017-10-10）
牛通,王从香[5]（2017）在《基于本征光敏型聚酰亚胺的多层薄膜电路制作工艺》一文中研究指出本征光敏型聚酰亚胺(PSPI)具有优良的热稳定性、感光性、力学性能和介电性能,其在MCM组件中的应用,将进一步降低组件的重量、提高封装密度。在国外,PSPI在MCM中的应用已较为成熟,而国内在这方面与国外有较大的差距。为此,文章从应用的角度出发,研究了PSPI的光刻特性,优化工艺参数后,厚度10μm的PSPI可刻出Φ30μm的微孔;PSPI表面沉积金属的附着力是难点和关键,文中重点对PSPI表面金属化工艺进行了研究,通过对PSPI进行等离子处理工艺的优化,在其表面TiW-CuAu膜层的附着力满足要求,附着力达25 MPa;在此基础上,制作出了"3层介质+3层电路"的多层薄膜微波测试电路。结果表明,测试电路层间导通良好,在1~40 GHz范围内插入损耗小于0.85 d B,回波损耗小于-13 d B。(本文来源于《电子机械工程》期刊2017年04期）
王宽[6]（2017）在《光敏性氟化聚酰亚胺的制备及其性能研究》一文中研究指出随着“信息、能源、材料”叁大产业的快速发展,对高性能聚合物材料的需求是与日俱增。聚酰亚胺(PI)作为一种重要的高性能聚合物材料,因其突出的热学、力学、电学等性能,被广泛应用于微电子、航空航天、汽车、光伏能源等领域。但由于其溶解性差、熔融温度高、透明性低,以及固化温度较高、成膜工艺复杂、能源消耗严重等缺点,限制了其应用领域。因此,如何在保证聚酰亚胺优良性能的同时,设计新型可溶透明聚酰亚胺结构、简化其成膜工艺,以及制备多功能于一体的高性能聚酰亚胺材料,拓宽其应用领域等,对于推动工业发展和科技进步具有重要的研究意义。鉴于此,本论文通过含氟单体合成了一系列光敏性聚酰亚胺,并利用紫外光固化技术制备了综合性能良好的光固化涂层和薄膜,研究了其结构与性能之间的关系,以及其在微电子等工业中的应用。具体的研究内容如下:1.以2,2-双(4-氨基苯基)六氟丙烷(6FpDA)、4,4'-(六氟异丙基)双邻苯二甲酸二酐(6FDA)、4-氨基苯甲酸(ABA)、甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)为单体,合成了一系列末端含有不同碳碳双键含量的光敏性氟化聚酰亚胺GFPIs。采用傅里叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、X射线衍射(XRD)、差示扫描量热分析(DSC)、溶解性测试等表征了聚合物的结构和性能。结果显示:聚合物呈现出非结晶形态和优异的溶解性。然后通过光固化技术制备了氟化聚酰亚胺光固化涂层GFPIs,利用实时红外光谱(RTIR)、热失重分析(TGA)、紫外透射光谱(UV-Vis)、水接触角测试、吸水性测试等分析了涂层的性能。研究结果表明:涂层GFPIs具有较高的双键转化率、优异的热稳定性、高的透明性和低的吸水性,有望作为缓冲层、耐高温涂层应用于微电子工业中。此外,聚合物GFPIs在光刻胶中也有良好的应用,通过涂层配方优化和扫描电子显微镜(SEM)分析,其分辨率可达50μm。2.以二胺6FpDA、生物基二胺Priamine 1074、二酸酐6FDA、ABA和GMA为单体,合成了一系列不同生物基含量的光敏性生物基聚酰亚胺BGPIs。采用全反射傅立叶红外光谱(ATR-FTIR)、1H-NMR、GPC、XRD、DSC、溶解性测试等表征了聚合物的结构和性能。结果显示:聚合物呈现出非晶聚集态结构和优异的溶解性,生物基含量可达48.9%。然后通过光固化技术制备了生物基聚酰亚胺光固化涂层BGPIs,利用RTIR、TGA、UV-Vis、水接触角测试、吸水性测试、SEM等分析了涂层的性能。研究结果表明:涂层BGPIs具有较高的交联密度、高的附着力、低的吸水性、突出的光学透明性和优异的热稳定性能,初始分解温度均在400℃以上,可作为生物基耐高温涂层应用于微电子工业中。此外,聚合物BGPIs在光刻胶中也有良好的应用,通过涂层配方优化和SEM分析,其分辨率可达45μm。3.通过在还原石墨烯表面进行重氮盐修饰合成了氨基功能化石墨烯AFGO,采用ATR-FTIR、XRD、TGA、拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)等表征了石墨烯的结构和性能。结果显示:AFGO具有优异的分散性,氨基表面修饰率为9%。然后以4,4'-二氨基二苯醚(ODA)、3,5-二氨基苯甲酸(DABA)、二酸酐6FDA、AFGO和GMA为单体合成了一系列不同AFGO添加量的光敏性聚酰亚胺/石墨烯复合材料,并通过光固化技术制备了聚酰亚胺/石墨烯光固化复合薄膜GPI/AFGOs。利用RTIR、SEM、TGA、电子拉力机测试仪、超高电阻测试仪、吸水性测试、水接触角等分析了不同AFGO添加量对复合薄膜性能的影响。研究结果表明:随着AFGO含量的增加,复合薄膜GPI/AFGOs的热性能、导电性、憎水性和疏水性等性能均得到了显着的提高;尤其是其力学性能,当AFGO含量为1.00%时,薄膜的拉伸强度和断裂伸长率分别达到最大值(108.7 MPa和46.4%),增加了102.8%和354.9%,可作为抗静电柔性薄膜应用于微电子行业。(本文来源于《江南大学》期刊2017-06-01）
邢瑞远[7]（2017）在《基于光敏聚酰亚胺衬底层的微型皮拉尼真空计研究》一文中研究指出皮拉尼真空计是利用压强改变电阻周围的热效应,从而由电信号反映发热电阻周围压强的一种气压检测传感器。MEMS加工技术的快速发展,推动着微机械皮拉尼真空计的工艺不断成熟。其中,选择合适的材料制作悬浮平板会是提高皮拉尼真空计性能的关键因素之一,一般微机械皮拉尼真空计的悬浮平板采用二氧化硅、氮化硅、或者两者的复合膜制作而成,制备此类介质薄膜需要专门的沉积设备,而且难以消除薄膜的残余应力,制作成本较高且加工难度大。光敏聚酰亚胺(PSPI)作为一种易于图形化的材料因其化学性质稳定、热稳定性优良、机械性能强以及容易制备等优点,可以很好的充当悬浮薄膜结构,广泛应用于MEMS器件加工当中。本文中涉及的MEMS传感器为微型皮拉尼真空计,该器件结构设计分为四层,分别为硅基底、铝膜层、支撑发热电阻结构的悬浮平板层和发热电阻层。为提高皮拉尼真空计的性能,我在设计中创新性的使用了光敏聚酰亚胺来制作该真空计的悬浮平板薄膜,并依据该皮拉尼真空计的结构特点,设计了详细的加工工艺流程。工艺流程共包括27个步骤,涵盖了旋转涂胶、光刻、镀膜、ICP刻蚀等半导体工艺,在此重点介绍了对电阻制备有较大影响的旋转涂胶工艺以及对悬臂梁有较大影响的ICP刻蚀工艺。最后,基于这种PSPI材料加工出了微型皮拉尼真空计样品。本文中检验真空计电阻和压强对应关系的电路采用的是“四线法”扣除线电阻,并用真空系统提供发热电阻周围的压强环境,最终测出该皮拉尼真空计在1~10 Pa的压强范围内可以分辨1 Pa气压变化,10~100 Pa的压强范围内可以分辨10 Pa气压变化,100~500 Pa的压强范围内可以分辨100 Pa气压变化。本实验成功实现了基于光敏聚酰亚胺做为悬浮平板薄膜的皮拉尼真空计的制作,光敏聚酰亚胺体现出了易于图形化、良好的热稳定性以及稳固的机械性等优点,可推广到所有类似的需要悬浮平板的微机械器件结构之中。(本文来源于《华中科技大学》期刊2017-05-01）
朱丹阳,金锐,吴作林,韩宝春,杨正华[8]（2017）在《化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响》一文中研究指出选用2,2′-双叁氟甲基-4,4′-联苯二胺(TFDB)与二苯醚四甲酸二酐(ODPA)作为聚合物的基本骨架进行缩聚反应生成聚酰胺酸,再经过化学亚胺化得到可溶性聚酰亚胺(PI)。通过调节2-甲基吡啶在亚胺化试剂中的含量以达到控制酰亚胺化程度的目的,探讨不同亚胺化程度的PI胶的显影性能。结果表明,当n(2-甲基吡啶)∶n(乙酸酐)=1∶5时,所合成的光敏聚酰亚胺的显影性能最优。(本文来源于《应用化学》期刊2017年03期）
郭喜,李忠贺,刘佳星,杨刚[9]（2016）在《光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用》一文中研究指出介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏聚酰亚胺的应用能够简化近40%的制作工艺,提高了硫化镉紫外器件的生产效率和成品率。(本文来源于《激光与红外》期刊2016年09期）
周萌萌[10]（2015）在《自增感型光敏聚酰亚胺的制备与表征》一文中研究指出本论文以3,3',4,4'-二苯酮四酸二酐和3,5-二氨基苯甲酸为主要原料,N,N'-二甲基乙酰胺为溶剂,对氨基苯甲酸为封端剂,采用溶液聚合的方法合成了聚酰亚胺前驱体溶液。然后分别以4-羟基查耳酮和肉桂醇为功能性单体合成了两种侧链上含有光敏基团的光敏聚酰亚胺前驱体溶液,经过化学亚胺化得到两种光敏聚酰亚胺溶液。接着用去离子水沉析和洗涤,干燥后得到两种光敏聚酰亚胺树脂。采用傅立叶变换红外分析(FTIR)、核磁共振氢谱分析(~1H-NMR)对两种光敏聚酰亚胺树脂的结构进行了表征,结果表明成功地合成了两种光敏聚酰亚胺树脂。采用FTIR对曝光前后的含查耳酮结构的光敏聚酰亚胺薄膜的结构进行了比较,研究发现在1647 cm~(-1)处C=C的特征吸收峰消失,说明经过紫外线曝光后的含查耳酮结构的光敏聚酰亚胺分子中的C=C发生了交联反应。凝胶渗透色谱分析(GPC)的结果表明含查耳酮结构的光敏聚酰亚胺树脂的分子量为5047,含肉桂基结构的光敏聚酰亚胺树脂的分子量为4628。紫外可见吸收光谱分析(UV-Vis)得出含查耳酮结构的光敏聚酰亚胺树脂和含肉桂基结构的光敏聚酰亚胺树脂的最大紫外可见吸收波长分别为319nm和326nm。溶解性分析结果表明曝光前的两种光敏聚酰亚胺具有较好的溶解性,而曝光后的光敏聚酰亚胺薄膜的溶解性降低。此外,本文还对两种光敏聚酰亚胺树脂的光敏性进行了测试分析,结果表明含查耳酮结构的光敏聚酰亚胺薄膜的最佳曝光时间比含肉桂基结构的光敏聚酰亚胺薄膜短,其曝光时间分别90s和100s左右。热失重(TGA)测试结果表明含查耳酮结构的光敏聚酰亚胺薄膜失重5wt%的热分解温度为351℃,含肉桂基的光敏聚酰亚胺薄膜失重5wt%的热分解温度为280℃。(本文来源于《河北科技大学》期刊2015-12-22）
光敏聚酰亚胺论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
光敏型聚酰亚胺(PSPI)是一类在高分子链上兼有光敏基团和亚胺环的高性能高分子材料。光敏型聚酰亚胺是具有优良的机械强度、热稳定性、化学稳定性和低介电常数的高性能材料,因而其广泛应用于微电子、航空航天及光电子等领域。主要介绍了近几年来光敏型聚酰亚胺树脂的合成及应用,并对其发展的方向进行了讨论。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
光敏聚酰亚胺论文参考文献
[1].魏文康,虞鑫海,王凯,吕伦春.光敏聚酰亚胺的研究与应用进展[J].合成技术及应用.2018
[2].张文涛,王国志,刘文兴,胥卫奇,沙伟华.光敏型聚酰亚胺的研究进展[J].现代涂料与涂装.2018
[3].王飞,汪映寒.新型含肉桂酰侧基的光敏聚酰亚胺平行取向膜的研究[C].中国化学会2017全国高分子学术论文报告会摘要集——主题H：光电功能高分子.2017
[4].曹建诚,王宽,刘敬成.光敏氟化聚酰亚胺/石墨烯复合材料的制备及其性能研究[C].中国化学会2017全国高分子学术论文报告会摘要集——主题M：高分子共混与复合体系.2017
[5].牛通,王从香.基于本征光敏型聚酰亚胺的多层薄膜电路制作工艺[J].电子机械工程.2017
[6].王宽.光敏性氟化聚酰亚胺的制备及其性能研究[D].江南大学.2017
[7].邢瑞远.基于光敏聚酰亚胺衬底层的微型皮拉尼真空计研究[D].华中科技大学.2017
[8].朱丹阳,金锐,吴作林,韩宝春,杨正华.化学亚胺化程度对正性光敏聚酰亚胺影响[J].应用化学.2017
[9].郭喜,李忠贺,刘佳星,杨刚.光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用[J].激光与红外.2016
[10].周萌萌.自增感型光敏聚酰亚胺的制备与表征[D].河北科技大学.2015
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