静态阴极电弧蒸发制备的CrN涂层的结构和性能（英文）

论文摘要

采用静态阴极电弧蒸发法,在基体面向等离子体源的正表面和其背面沉积CrN涂层。研究氮气压力对涂层的结构、相组成、力学性能和摩擦学性能的影响。分别用扫描电镜、接触轮廓仪和X射线衍射仪对涂层的形貌和结构进行表征,采用纳米压痕法对其力学性能进行研究,并采用球盘式摩擦计对涂层的摩擦磨损性能进行研究。结果表明,涂层沉积过程中氮气压力的增加将导致相变的发生,其顺序为Cr2N→Cr2N+CrN→CrN。与沉积在基体背面的涂层相比,沉积在基体正面的涂层的粗糙度更高,这主要是正面涂层中大颗粒的数量较多造成的。基体正面涂层的硬度和弹性模量也较高。研究还发现,涂层的附着力与磨损率呈反比关系。

论文目录

• 1 Introduction
• 2 Experimental
•   2.1 Coating deposition
•   2.2 Coating evaluation
• 3 Results and discussion
•   3.1 General characterization of deposited samples
•   3.2 XRD pattern
•   3.3 Morphology
•   3.4 Hardness and elastic modulus
•   3.5 Adhesion
•   3.6 Wear
• 4 Conclusions

文章来源

类型: 期刊论文

作者: B.WARCHOLINSKI,A.GILEWICZ,A.S.KUPRIN,I.V.KOLODIY

关键词: 氮化铬,电弧蒸发,相成分,粗糙度,硬度,磨损

来源: Transactions of Nonferrous Metals Society of China 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

分类号: TG174.4

页码: 799-810

总页数: 12

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