论文摘要
微电铸已成为制作金属微器件的关键技术之一,然而微电铸层中过大的残余应力会给微器件的尺寸精度与使用寿命带来极大的影响。针对一款悬臂型后座保险锁微器件在电铸阶段出现的变形现象进行分析,基于纳米压痕技术,以有、无兆声辅助电铸微器件为被测样片开展了应力测试实验,讨论了纳米压痕技术中两种常用的计算模型对应力测试结果的影响。结果表明:兆声辅助电铸器件中的残余应力相对无兆声辅助电铸器件减小了57.84%,验证了兆声辅助电铸能有效减小铸层中残余内应力,并从声流和稳态空化两种理论解释了兆声辅助电铸过程中铸层残余内应力减小的原因。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超
关键词: 纳米压痕法,兆声辅助电铸,微电铸器件
来源: 电加工与模具 2019年04期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,电力工业
单位: 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室
基金: 国家自然科学基金资助项目（51975103,51475245）
分类号: TQ153.4
页码: 44-48+68
总页数: 6
文件大小: 639K
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