论文摘要
<正>压电陶瓷（PZT）作为原子力显微镜（AFM）控制结构中微驱动定位的关键器件,能够用于快速跟踪测量样品表面的形貌变化,而其驱动电源是决定压电陶瓷微驱动性能的核心部分。本文采用线性放大式驱动电源原理,设计了一种以AD8572+PA85A为核心的高精度压电陶瓷驱动电源。主要介绍了驱动电源的工作原理、两级运放的特点和影响运放稳定性的关键因素。实验结果表明设计的驱动电源线性度高、响应速
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类型: 期刊论文
作者: 程俊辉,范青武,刘旭东,郭艺良,张跃飞
来源: 电子世界 2019年07期
年度: 2019
分类: 信息科技,经济与管理科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 电力工业,电信技术
单位: 北京工业大学信息学部数字社区教育部工程研究中心,北京工业大学固体微结构与性能研究所
基金: 科技部国家重大科学仪器设备开发专项——材料微观力学性能原位测试仪器的研制与应用(项目编号:2012YQ03007508)
分类号: TN86
DOI: 10.19353/j.cnki.dzsj.2019.07.063
页码: 134-136
总页数: 3
文件大小: 1593K
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