金刚石线切割多晶硅片的表面织构研究

论文摘要

采用HNO3:HF:H2O=5:1:3.4和HNO3:HF:H2O=8:1:3.4两种腐蚀液体系,研究了HNO3浓度、腐蚀液温度、腐蚀时间对金刚石切割多晶硅片表面腐蚀的影响,分析了制绒后的多晶硅表面形貌与表面反射率的关系.实验结果表明:HNO3:HF:H2O=5:1:3.4腐蚀液体系优于HNO3:HF:H2O=8:1:3.4腐蚀液体系;在HNO3:HF:H2O=5:1:3.4腐蚀液体系,腐蚀液温度为9℃,腐蚀时间为100 s的条件下,获得均匀的表面刻蚀纹,具有较低的表面反射率,其平均反射率低于19%.

论文目录

• 1 实验方法
• 2 结果与讨论
•   2.1 HNO3浓度对多晶硅表面腐蚀的影响
•   2.2 HNO3 ∶ HF∶H2O = 5∶1∶3.4体系腐蚀结果
•   2.3 HNO3 ∶ HF∶H2O = 8∶1∶3.4体系腐蚀结果
•   2.4 腐蚀温度对多晶硅表面腐蚀的影响
•   2.5 腐蚀时间对多晶硅表面腐蚀的影响
• 3 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: OUTHONGKHAM Mekoutan,廖华,李景天

关键词: 多晶硅,金刚石线锯,酸刻蚀,制绒,反射率

来源: 云南师范大学学报(自然科学版) 2019年02期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 云南师范大学太阳能研究所

基金: 云南省院士专家工作站资助项目(周国富专家工作站,2017IC011)

分类号: TQ127.2

页码: 25-30

总页数: 6

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