论文摘要
化学强化玻璃被广泛应用于电子产品屏幕,但很难被切割加工。利用皮秒激光高峰值功率、超短脉冲及贝塞尔光束长焦深的特点,在化学强化玻璃内加工出一个狭长的改性截面,利用强化玻璃本身的应力与皮秒激光诱导的应力,使强化玻璃精准地沿着改性截面自动断开,并获得了切割速度高达400 mm/s,切割面粗糙度为395 nm的切割分离效果。实验结果表明,影响切割速度和质量的主要参数是单脉冲能量和脉冲改性间距。
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类型: 期刊论文
作者: 杨泽齐,段军,陈航,刘朋,陈乔丹,徐新科
关键词: 激光光学,化学强化玻璃,皮秒激光,贝塞尔光束,玻璃切割
来源: 中国激光 2019年11期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 物理学,无机化工,无线电电子学
单位: 华中科技大学武汉光电国家研究中心
基金: 国家自然科学基金(51675205)
分类号: TN249;TQ171.6
页码: 161-166
总页数: 6
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