MEMS陀螺仪传感器专用ASIC简介及设计

论文摘要

MEMS做为本世纪前沿技术,有着非常广阔的前景,越来越受到业界专注。本文介绍了华润上华设计中心研发的3轴陀螺仪专用ASIC的相关设计方法和电路。该电路主要由电荷放大器、相位检测器、积分电路、高性能模数转换器、温度感应器及直接数字综合电路等组成,其突出特点是高精度、低功耗、小面积,在满足不断增长的消费电子用MEMS陀螺仪市场需求方面处于世界前沿。

论文目录

• 1 概述
• 2 原理
• 3 ASIC电路设计
•   3.1 电荷转换放大器 （CA）
•   3.2 同步检测器 （SD）
•   3.3 相位检测器 （PD）
•   3.4 幅度检测器 （AMD）
•   3.5 增益放大器及失调校准 （GOC）
•   3.6 高精度模数转换器 （sigma-deltaADC）
•   3.7 直接数字综合技术 （DDS）
•   3.8 数模转换器 （DAC） 和传感器驱动器 （Sensor Driver）
• 4 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王浩

关键词: 微电机系统,陀螺仪,模数转换器,电荷放大器,相位检测器,幅度检测器,同步检测器,温度传感器,直接数字综合

来源: 中国集成电路 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业,自动化技术

单位: 无锡华润上华科技有限公司设计服务中心

分类号: TH824.3;TP212

页码: 44-50

总页数: 7

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