压电微夹钳的迟滞及蠕变补偿

论文摘要

为提高压电微夹钳的操作精度,对其迟滞及蠕变误差进行补偿。基于压电材料迟滞曲线的非对称性,为提高微夹钳迟滞模型的精度,采用升回程分别建模的方法,建立了微夹钳的Prandtl-Ishlinskii（PI）迟滞模型,对迟滞误差进行了补偿。在综合考虑模型简单且具有较高精度的前提下,采用二阶惯性环节建立了微夹钳的蠕变模型,设计出无需求蠕变逆模型的补偿器,对蠕变误差进行了补偿。实验结果表明,在最大位移为120μm时,钳指位移的迟滞误差由补偿前的-11.8～10.7μm减小为-1.7～1.0μm;在900 s作用时间内,钳指位移的蠕变由补偿前的4μm几乎减小为0。

论文目录

• 0 引言
• 1 微夹钳结构及运动原理
•   1.1 微夹钳结构
•   1.2 微夹钳运动原理
• 2 微夹钳迟滞补偿
•   2.1 迟滞建模
•   2.2 迟滞补偿
• 3 微夹钳蠕变补偿
•   3.1 蠕变建模
•   3.2 蠕变补偿
• 4 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 卢志诚,刘文翠,惠相君,周鹏飞,孙靖康,汪家乐,崔玉国

关键词: 压电微夹钳,迟滞建模,迟滞补偿,蠕变建模,蠕变补偿

来源: 压电与声光 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 机械工业

单位: 宁波大学机械工程与力学学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(51175271)

分类号: TH136

页码: 244-248

总页数: 5

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