导读:本文包含了扫描镜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:可编程,门阵列,系统,效应,激光,微机,辐射计。
扫描镜论文文献综述
闵溢龙,王淦泉[1]（2018）在《叁轴稳定卫星扫描镜伺服系统的谐振抑制》一文中研究指出本文针对叁轴稳定卫星中的扫描镜伺服系统在运行时产生的机械谐振现象,采用在反馈回路中加入加速度观测器的方法抑制此类机械谐振.首先针对大惯量扫描镜伺服系统的机械传动结构建立研究模型,通过数学推导和仿真分析谐振产生的原因及谐振对系统控制性能的影响;然后采用加速度观测器方法,将观测出的加速度反馈到伺服系统电流环的前端对谐振进行补偿,并分析了噪声对观测器性能的影响与限制;最后的仿真结果表明,相比于采用陷波滤波器抑制谐振的方法,采用加速度观测器能更为有效地抑制叁轴稳定卫星中扫描镜伺服控制系统中的机械谐振,并提高系统的控制性能,且设计的观测器对噪声具有良好的鲁棒性.(本文来源于《控制理论与应用》期刊2018年09期）
梁增基,陈四海,罗栋[2]（2018）在《用FPGA实现二维压电扫描镜的磁滞补偿》一文中研究指出针对二维压电扫描镜中压电陶瓷的磁滞效应,根据Madelung规则和汝长海等的理论建立模型,采用精确计算目标偏转后位置对应的输出电压方法,补偿磁滞带来的扫描角度非线性问题。首先测得主磁滞环的电压-位移曲线,存入FLASH中构造磁滞对应表;然后,利用现场可编程门阵列(FPGA)具有的强大时序处理能力和高速运算能力精确地进行算法处理,补偿压电陶瓷的磁滞效应;最后,通过D/A模块输出结果,配合外围电压放大电路控制扫描镜的精确偏转。测试平台主要由He-Ne激光器、扫描镜、位置敏感探测器(PSD)和NI数据采集卡等搭建而成,用LabVIEW编写测试程序,可以直接测量扫描镜的偏转角度信息。校正前压电扫描镜偏转角度的最大误差为2.5mrad,开环补偿算法校正后成功地将偏转误差控制在0.3mrad内,磁滞效应的校正取得了理想的效果。(本文来源于《压电与声光》期刊2018年01期）
赵灿兵,周春芬,胡志斌,刘鹏,王杰[3]（2017）在《一种用于红外光电系统的新型压电陶瓷扫描镜的反馈控制》一文中研究指出由于高精度位移传感器体积大、价格高,系统传递函数复杂难以辨识等因素,目前对于压电驱动的FSM大多通过前馈补偿的方法进行开环控制。为了实现对一种新型叁支撑叁维FSM的反馈控制,本文基于电阻应变片构建了反馈信号进行采集的系统,先用电阻应变片采集压电陶瓷得输出位移,然后通过标定系统将其转化为反射镜的偏转角度。并在此基础上,对系统的开环传递函数进行了辨识,得到了一个七阶的传递函数。实验证明,反馈信号采集系统能够兼顾体积和精度,所获得的传递函数能够较好地拟合该系统的动态特性,为后续控制算法的设计实现奠定了很好的基础。(本文来源于《红外技术》期刊2017年12期）
王肖伊,王琪,李赟玺,杨亚非[4]（2017）在《外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制》一文中研究指出随着MOEMS扫描镜的发展,其较高的谐振频率及IC兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔,研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发,建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型,利用四阶Runge-Kutta算法仿真表明:在外参数指令信号激励下,MOEMS扫描镜扭转状态经历阻尼运动、周期、倍周期和混沌等动力学过程,其中周期运动存在着一个较大的参数控制范围。根据Lyapunov稳定性理论,设计了一种连续混沌系统追踪控制器,使受控的MOEMS扫描镜扭转状态收敛于任意期望的指令信号。实验表明,李萨如图指令信号适用于激光3D图像传感器;几何矢量指令信号适用于激光3D打印系统,理论分析与实验相一致。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2017年09期）
郭向楠,苑伟政,王军平,虞益挺,孟庆超[5]（2017）在《基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究》一文中研究指出设计一种基于FR-4材料的电磁驱动微扫描镜,进行了有限元仿真,并利用标准PCB技术制作了器件。测试结果表明,器件具有约0.015(°)/m A的静态转角,在50~500 Hz驱动频率下光学转角始终大于±2°,在360 Hz处达到最大±34.18°,同时反馈电压与扫描角度具有良好的线性关系。器件通过了高低温及寿命试验,其可靠性得到了验证。(本文来源于《航空兵器》期刊2017年04期）
梁增基[6]（2017）在《基于FPGA的阵列式二维压电扫描镜开环补偿研究》一文中研究指出激光扫描镜是一种精确的光束控制器件,主要应用于空间光通信、激光雷达等领域,可以实现光束的精确偏转或者快速扫描。其中压电陶瓷驱动的激光扫描镜适合高频率小角度扫描,但是压电陶瓷驱动的微位移结构含有磁滞和蠕变等非线性效应,现有的数学模型很难对它们进行精确建模,这给压电陶瓷非线性效应的校正带来了巨大挑战。本论文为了补偿压电陶瓷的非线性效应,分析并测量了压电陶瓷工作频率在低于50Hz状态下的磁滞和蠕变特性,根据压电陶瓷的经验模型,总结并提出了合适的开环补偿算法方案。以Madelung规则和汝长海等人的理论为基础建立模型,采用精确计算目标偏转后的位置对应的输出电压的方法补偿磁滞效应,采用输出逆蠕变电压的方法补偿蠕变效应。为了满足阵列式二维压电扫描镜的控制与通信要求,在它的机械结构和电压放大电路基础上,选择FPGA作为控制核心,以CAN通信作为主通信模块,上位机通过CAN发送器发送偏转命令,同时控制四个二维压电扫描镜的精确偏转。首先测得主磁滞环的电压—位移曲线,以及时间—蠕变因子的曲线,存入Flash中构造磁滞对应表与蠕变对应表;然后利用FPGA强大的时序处理能力和高速运算能力精确地进行算法处理,补偿压电陶瓷的磁滞效应和蠕变效应。最后通过数模转换(DA)模块输出运算结果,配合外围电压放大电路控制扫描镜的精确偏转。FPGA中所有控制程序都是用Verilog HDL语言实现的。测试平台主要由He-Ne激光器,扫描镜,位置敏感探测器(PSD)和NI数据采集卡等搭建而成,用LabVIEW编写测试程序,通过反射光斑在PSD上的位移间接获取扫描镜偏转角度信息。开环补偿算法校正前压电扫描镜偏转角度的最大误差为2.414mrad,校正后成功将偏转误差控制在了0.262mrad以内,误差降低了一个数量级,压电扫描镜磁滞效应和蠕变效应的校正取得了理想的效果。由于开环算法本身的局限性,如果需要进一步提高压电扫描镜的偏转精度和工作频率,必须采用闭环控制,比如滑膜控制的方法,来实现其非线性效应的校正。(本文来源于《华中科技大学》期刊2017-05-01）
何嘉辉,周鹏,余晖俊,沈文江,司金海[7]（2017）在《电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究》一文中研究指出基于微机电系统工艺,设计并制作了一种电磁驱动大尺寸的二维扫描振镜.分析了两种不同的电磁驱动方式产生的力的大小,选择驱动力较大的双极子方式作为驱动.运用有限元法模拟了器件的谐振频率静态及动态响应,仿真结果与实际测得的结果一致.描述了振镜的工艺流程及封装方式,并制备了振镜.实验测得振镜在120mA静态电流驱动下,慢轴和快轴分别能达到的最大转角为±4.5°及±5°,慢轴及快轴的谐振频率分别为348Hz及660Hz,并得到在此谐振频率下的李萨如图形.将器件用于激光成像系统之中,使得散斑对比度下降到4.2%,激光成像质量得到很大提升.(本文来源于《光子学报》期刊2017年01期）
乔大勇,王利湘,夏长锋,苏小操[8]（2016）在《MEMS扫描镜光学性能的圆片级自动检测系统设计》一文中研究指出为快速准确地检测出一张硅片上数百个MEMS扫描镜的良品与次品,设计了一种自动测量系统。选用高精度二维位置敏感探测器(PSD)设备,设计其后置硬件电路并编写数据采集的程序。结合经典叁角法测量角度的原理搭建自动检测系统,在室温和正常光照条件下,完成了MEMS扫描镜光学性能圆片级自动检测的实验。结果表明:该系统能够快速准确地同时对扫描镜的两个轴进行检测并给出结果。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2016年09期）
马天义,余跃,许敬,吴建东[9]（2016）在《MOEMS 2D扫描镜的研究进展》一文中研究指出微光电子机械系统(MOEMS)扫描镜凭借其在成本、功耗和封装上的优势,在军民用多领域都有广泛的应用前景。在分析MOEMS扫描镜的分类方式的基础上,针对静电驱动中的微机械集成方式,展开框架式和无框架式两种MOEMS扫描镜的工作原理的探讨,并给出了典型产品及系统应用,总结了目前在MOEMS扫描镜的系统应用方面存在的难点问题。介绍了国内MOEMS扫描镜的研究现状,并分析了与国外产品的差距。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2016年06期）
殷东羽[10]（2016）在《基于数字图像的扫描镜动态精度测量方法研究》一文中研究指出新一代静止气象卫星“风云四号”是叁轴稳定平台卫星,其载荷之一扫描成像辐射计采用二维扫描成像技术实现对地成像。在18°×18°地球视场范围内,扫描镜的动态运动精度指标高达1″(1σ)。如何评价扫描镜在工作模式下的动态运动精度成为一个技术难题。针对这个技术难题,本课题进行了基于数字图像的扫描镜动态精度(扫描精度)测量方法的研究,分别从方法原理提出、系统构建、成像信息处理、方法精度论证、方法实施这几个层次进行了研究和探讨。首先,本文提出了基于数字图像的扫描镜动态精度测量方法,即在扫描镜动态扫描模式下,给定一个精密标准图案进行扫描成像,通过检测所成图像上像点与理想像点位置之间的偏差反演扫描镜的动态精度。本文选用带有13*13阵列菱形图案的目标板作为精密标准图案场景,采用积分球作为照明系统对目标板进行照明,目标板发出的光线经过平行光管(投影系统)输出平行光到达扫描辐射计进行成像。文中关于目标板的标准图案选取、尺寸参数设计、材质选型,以及照明系统的选取、投影系统的指标分别进行了详细论证。其次,对于成像的信息处理是该方法基于数字图像的含义所在。本文采用角点和质心点作为扫描图像的特征点进行位置检测,进而反演扫描精度。选取Harris Affine角点检测算法进行角点检测,选取了传统质心检测算法进行质心点检测。针对每一个检测算法,文中进行了详细的精度仿真论证。再次,本文对该方法分别从仿真和试验这两个方面进行了方法本身精度的分析和标定。本课题通过可控亚像素偏移成像序列进行测角方法精度的试验标定,得出基于角点的测角方法精度为0.56~0.91urad(1σ),基于质心点的测角方法精度为0.56~0.84urad(1σ),可以满足FY-4扫描镜动态精度检测需求。最后,基于搭建的测试平台,在扫描镜10°/s的运动模式下,采用该测角方法对扫描镜进行动态精度测试。测得在局部小视场范围(0.33°×0.33°)内,扫描镜的动态指向角位置精度为2.64urad(1σ,0.54″)。通过以上四个层次的研究工作,本文提出并论证了基于数字图像的扫描镜动态精度测量方法,并取得了良好的测试结果和精度,为扫描镜在大视场扫描工作模式下的动态精度测量提供了有效参考。本方法研究的创新之处在于基于辐射计扫描成像工作原理,对扫描数字图像进行处理和像点信息获取,实现了扫描镜在动态运动过程中的动态精度测量,并通过数字图像处理技术提高了测角精度。(本文来源于《中国科学院研究生院(上海技术物理研究所)》期刊2016-05-26）
扫描镜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对二维压电扫描镜中压电陶瓷的磁滞效应,根据Madelung规则和汝长海等的理论建立模型,采用精确计算目标偏转后位置对应的输出电压方法,补偿磁滞带来的扫描角度非线性问题。首先测得主磁滞环的电压-位移曲线,存入FLASH中构造磁滞对应表;然后,利用现场可编程门阵列(FPGA)具有的强大时序处理能力和高速运算能力精确地进行算法处理,补偿压电陶瓷的磁滞效应;最后,通过D/A模块输出结果,配合外围电压放大电路控制扫描镜的精确偏转。测试平台主要由He-Ne激光器、扫描镜、位置敏感探测器(PSD)和NI数据采集卡等搭建而成,用LabVIEW编写测试程序,可以直接测量扫描镜的偏转角度信息。校正前压电扫描镜偏转角度的最大误差为2.5mrad,开环补偿算法校正后成功地将偏转误差控制在0.3mrad内,磁滞效应的校正取得了理想的效果。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
扫描镜论文参考文献
[1].闵溢龙,王淦泉.叁轴稳定卫星扫描镜伺服系统的谐振抑制[J].控制理论与应用.2018
[2].梁增基,陈四海,罗栋.用FPGA实现二维压电扫描镜的磁滞补偿[J].压电与声光.2018
[3].赵灿兵,周春芬,胡志斌,刘鹏,王杰.一种用于红外光电系统的新型压电陶瓷扫描镜的反馈控制[J].红外技术.2017
[4].王肖伊,王琪,李赟玺,杨亚非.外参数激励MOEMS扫描镜动力学过程与追踪控制[J].红外与激光工程.2017
[5].郭向楠,苑伟政,王军平,虞益挺,孟庆超.基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究[J].航空兵器.2017
[6].梁增基.基于FPGA的阵列式二维压电扫描镜开环补偿研究[D].华中科技大学.2017
[7].何嘉辉,周鹏,余晖俊,沈文江,司金海.电磁驱动大尺寸MEMS扫描镜的研究[J].光子学报.2017
[8].乔大勇,王利湘,夏长锋,苏小操.MEMS扫描镜光学性能的圆片级自动检测系统设计[J].传感器与微系统.2016
[9].马天义,余跃,许敬,吴建东.MOEMS2D扫描镜的研究进展[J].传感器与微系统.2016
[10].殷东羽.基于数字图像的扫描镜动态精度测量方法研究[D].中国科学院研究生院(上海技术物理研究所).2016
论文知识图
