导读:本文包含了闪耀光栅论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:光栅,凸面,光刻,全息,离子束,效率,激光。
闪耀光栅论文文献综述
王琼,沈晨,谭鑫,齐向东,巴音贺希格[1]（2019）在《摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅》一文中研究指出通过摆动离子束刻蚀方法,制作了用于短波红外高光谱成像光谱仪的凸面闪耀光栅。该方法通过在光栅子午方向上进行摆动刻蚀,解决了凸面光栅子午方向的闪耀角一致性问题。建立了摆动刻蚀模型来分析摆动速度、束缝宽度等工艺参数对槽型演化的影响,并计算了优化的刻蚀工艺参数。制备了基底尺寸为67mm,曲率半径为156.88mm,刻线密度为45.5gr/mm,闪耀角为2.2°的凸面闪耀光栅,并对其表面形貌及衍射效率进行了测量。实验结果表明,摆动刻蚀法能够制作出闪耀角一致性好、衍射效率高的小闪耀角凸面光栅,满足成像光谱仪对光谱分辨率和便携性的使用要求。(本文来源于《强激光与粒子束》期刊2019年06期）
刘全,吴建宏,郭培亮,陈新华[2]（2019）在《高衍射效率凸面闪耀光栅的研制》一文中研究指出基于严格耦合波分析,研究凸面闪耀光栅的衍射特性;采用全息光刻-离子束刻蚀法制作中心周期为2.45μm、曲率半径为51.64 mm、口径为17 mm的凸面闪耀光栅,闪耀角为6.4°,顶角为141°。结果表明,在整个可见-近红外波段,所制作光栅的1级衍射效率大于40%,在闪耀波长处1级衍射效率大于75%。(本文来源于《中国激光》期刊2019年03期）
郭培亮[3]（2018）在《同质掩模法制作凸面闪耀光栅的研究》一文中研究指出凸面光栅成像光谱仪是一种重要的观测仪器,具有高分辨率、高时效性、测量范围广等优点,目前已广泛应用于资源勘探、农业生产、科学研究、医疗卫生、军事侦查等领域,凸面闪耀光栅是该成像光谱仪的关键元件,通常凸面闪耀光栅的工作波段范围较窄,较难满足宽波段光谱仪的需求,采用凸面双闪耀光栅是拓宽工作波段的有效手段。本文围绕全息离子束刻蚀法制作凸面双闪耀光栅,进行了理论分析与工艺探究,主要包含了如下几个方面:首先介绍了凸面闪耀光栅制作方法与国内外研究现状,简单介绍了离子束刻蚀技术与Kaufman离子源,结合实验数据绘制了石英、光刻胶两种材料在Ar离子束与CHF3反应离子束中的刻蚀特性曲线,得到材料刻蚀速率与离子束入射角度的关系,为同质掩模的制作与闪耀光栅的刻蚀提供依据与指导。然后介绍了光栅衍射理论,重点理论分析了闪耀角与衍射效率的关系,并确定了凸面双闪耀光栅各区域内的闪耀角。接着针对传统全息离子束刻蚀技术中光刻胶掩模很难满足凸面双闪耀光栅的制作要求这一问题,提出同质掩模法制作凸面双闪耀光栅。分析了利用同质掩模时,闪耀角与离子束入射角的关系,为闪耀光栅的制作提供理论指导。最后,离子束刻蚀制作了6.5°、7°、11.3°、14.1°闪耀角的凸面闪耀光栅,验证了同质掩模情况下,闪耀角与离子束入射角之间的关系,并在此基础上制作了闪耀角分别为6.3°和17.3°,反闪耀角分别为66°和56°的凸面双闪耀光栅;测量了该光栅的一级相对衍射效率,并与理论值进行了对比分析。(本文来源于《苏州大学》期刊2018-05-01）
张雪东[4]（2018）在《飞秒激光制备带有闪耀光栅的全息板实现复合涡旋光的方法研究》一文中研究指出复合涡旋光不仅拥有涡旋光的所有的特性,而且拥有着自己的特点,比如具有多个相位奇点,更高的轨道角动量(OAM),可以通过增加复合OAM模式的数目,提供任意的OAM量子态,这在量子信息和光通信上提供了各式各样的机会。一个可变的幅值分束器和一个轨道角动量被用来产生迭加的涡旋光,但是传统的方法产生的涡旋光纯度可能较低,而且整个实验系统庞大,复杂。在此,提出一种简易的方法可以同时产生和分离高纯度的涡旋光,并且通过集成设计的结构实现涡旋光的迭加,得到带有可控拓扑荷的复合涡旋光。首先,阐述了涡旋光的概念、特征以及波函数,其中详细分析了轨道角动量与自旋角动量的关系。此外总结了目前最常见的以及最新发现的方法,例如:螺旋相位板,计算全息-空间光调制器,q-板,回音壁模式谐振腔,超材料与超表面等。其次,闪耀光栅的全息板(HPBG)结构的加工系统,飞秒激光直写加工HPBG结构的流程以及加工的HPBG结构的衍射效率和传输效率被系统的研究。利用搭建的简单的检测光路,检测HPBG结构的菲涅尔衍射光场的图案,分析产生的涡旋光的多级分布、光强分布以及干涉图案,从而证明了单个HPBG结构可以产生分离高纯度的,带有可控拓扑荷的涡旋光以及涡旋光的相位奇点位置。最后,单个HPBG结构可以产生分离高纯度的涡旋光,通过这一特性,进一步研究了闪耀光栅的光栅周期与离散角的关系。设计了双HPBG结构,包括光栅周期(4.06μm),半径(20μm),HPBG结构间的间距(2μm)以及HPBG结构间的旋转方向(一个逆时针旋转60°,另外一个逆时针旋转120°)。通过设计的双HPBG结构实现了涡旋光在结构外固定位置迭加,而没有背景光。分析迭加后的光场图案,得出了复合涡旋光的拓扑荷等于两个涡旋光所带的拓扑荷之和,并且与衍射级方向有关。同理,复合的OAM态由带有不同拓扑荷的涡旋光所决定,而拓扑荷的改变可以仅仅通过转换带有不同拓扑荷的HPBG结构。为了获得更大的OAM,可以集成两个带有小的拓扑荷的HPBG结构。由此证明了方法是稳健的,它不仅克服了传统OAM迭加需要复杂的实验系统等问题,而且有效的产生了带有可控拓扑荷的复合涡旋光。(本文来源于《安徽大学》期刊2018-05-01）
朱嘉诚,靳阳明,黄绪杰,刘全,沈为民[5]（2017）在《宽波段凸面闪耀光栅优化设计》一文中研究指出凸面闪耀光栅是研制高光谱分辨率成像光谱仪的关键元件之一,一般凸面闪耀光栅的有效波段范围较窄,较难满足宽波段成像光谱仪对光栅衍射效率的需求。为拓宽仪器观测波段,对其中凸面闪耀光栅进行了优化设计。以0.4~2.5μm波段Offner型成像光谱仪为例,研究了凸面光栅单衍射级和双衍射级共路两种色散结构,采用分区闪耀光栅和双角闪耀光栅来提高宽波段范围内的衍射效率。优化设计了两种双闪耀光栅在不同色散结构下的槽形,用标量理论和有限元分析等方法对光栅衍射效率进行了计算。结合仪器信噪比,给出了满足成像光谱仪不同需求时所适用的光栅。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2017年11期）
聂秋玉[6]（2017）在《近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作》一文中研究指出利用硅的各向异性湿法腐蚀性质,在偏晶向(111)硅基底材料上,设计并制作了闪耀角为8°、周期为4μm的近红外闪耀光栅.设计时考虑了光栅顶部平台对光栅衍射效率的影响,修正了光栅的闪耀角.制作时利用一次性氧化削尖的方法,减少光栅顶部平台的宽度,以提高光栅的衍射效率.利用扫描电子显微镜(SEM)进行光栅形貌测试,结果表明:制作的光栅具有平滑的光学表面和良好的光栅槽形.对光栅进行衍射效率测量,当入射波长为1 392nm时,衍射效率能达到70%以上,表明光栅具有很高的衍射效率,能满足微型近红外光谱仪的使用要求.(本文来源于《西南大学学报(自然科学版)》期刊2017年06期）
张瑞,王志斌,温廷敦,张敏娟,李克武[7]（2016）在《基于二维激光告警的闪耀光栅设计》一文中研究指出现有光栅衍射型激光告警中,正弦光栅存在±1级衍射效率较低,闪耀光栅在闪耀波长附近0级和-1级衍射效率很低,这两种光栅的缺点都降低了激光告警的可靠性。为此文中提出了一种改进型闪耀光栅。将两闪耀光栅反相对接,并且中间留一定无光栅空间,此改进可提高波长在闪耀波长附近0级和-1级的衍射效率,将有效克服传统闪耀光栅的漏报警现象。设计加工了闪耀波长为800 nm的改进型闪耀光栅,理论分析了0级和±1级衍射效率;采用波长为808 nm和850 nm的光,对改进型闪耀光栅进行二维激光告警实验测试,实验结果表明,在波长为闪耀波长附近光入射时,改进型较普通闪耀光栅的0级和-1级衍射强度有很大提高,能够被CCD有效探测。该改进型闪耀光栅可有效提高二维激光告警系统的可靠性。(本文来源于《红外与激光工程》期刊2016年10期）
吴博琦,董连和,孙艳军,冷雁冰,王丽[8]（2016）在《用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究》一文中研究指出提出一种用于激光(工作波长为1 064nm)防护的非逆反射双层闪耀光栅。以光栅方程、闪耀波长和闪耀角关系公式为基础,研究了双层闪耀光栅光线分布特性,分析了上下微结构闪耀角度关系;设计了双层闪耀光栅各特性参数,其上、下层光栅闪耀角分别为50°和6°,周期均为5.2μm,光学元件厚为0.5mm,在下表面镀Ag反射膜。采用反应离子刻蚀(RIE)技术制作双层闪耀光栅,通过轮廓仪进行测试。研究结果表明,双层闪耀光栅的光学特性受微结构形状误差影响较大,当光线垂直照射双层闪耀光栅时,出射光与入射光形成20°夹角,实现了激光非逆反射的目的。(本文来源于《光电子·激光》期刊2016年03期）
胡进,董晓轩,浦东林,申溯,陈林森[9]（2015）在《基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻》一文中研究指出为提高图形化干涉光刻质量,提出了基于闪耀光栅的图形化干涉光刻(PIIL)系统,并对该系统所采用的光学原理和实现方法进行了研究。首先,分析了图形化干涉光刻系统的光场特性,阐述了其分辨率提升的原理。讨论了光学系统带宽和图案分布对光刻图形质量的影响,给出了图形质量控制的工艺方法。其次,提出了一种新型的图形化干涉光刻方法,该方法采用闪耀光栅作为衍射分光器件,实现了位相和振幅的一体化调制。采用数值计算方法模拟了闪耀光栅的衍射特性和像面光场分布,讨论了闪耀光栅的优化设计方法,获得了高达92.3%的±1级衍射效率。最后,基于数字微镜器件(DMD)和微缩成像光路设计开发了图形化干涉光刻系统,实验获得了像素化的点阵图形和质量明显改善的光刻图像,验证了该方法对任意图形的适用性。(本文来源于《光学精密工程》期刊2015年12期）
高霞,王志斌[10]（2014）在《对透射闪耀光栅的傅里叶分析》一文中研究指出一般的透射光栅光谱的缺点是,没有色散的零级主极大占去了入射能量中的很大一部分,剩下的能量又要分配到正负各级主极大上,造成用来分析的有色散的那些谱线中只分配到很小的能量。在实际的应用中,要设法把能量集中分配到所要利用的那级光谱中,闪耀光栅就是为此目的设计的。研究从不同方向入射透射闪耀光栅的透射函数,利用傅里叶光学,从理论上分析透射闪耀光栅衍射图样的复振幅和光强分布与闪耀角及波长的关系。(本文来源于《电子世界》期刊2014年13期）
闪耀光栅论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
基于严格耦合波分析,研究凸面闪耀光栅的衍射特性;采用全息光刻-离子束刻蚀法制作中心周期为2.45μm、曲率半径为51.64 mm、口径为17 mm的凸面闪耀光栅,闪耀角为6.4°,顶角为141°。结果表明,在整个可见-近红外波段,所制作光栅的1级衍射效率大于40%,在闪耀波长处1级衍射效率大于75%。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
闪耀光栅论文参考文献
[1].王琼,沈晨,谭鑫,齐向东,巴音贺希格.摆动刻蚀法制作高衍射效率凸面闪耀光栅[J].强激光与粒子束.2019
[2].刘全,吴建宏,郭培亮,陈新华.高衍射效率凸面闪耀光栅的研制[J].中国激光.2019
[3].郭培亮.同质掩模法制作凸面闪耀光栅的研究[D].苏州大学.2018
[4].张雪东.飞秒激光制备带有闪耀光栅的全息板实现复合涡旋光的方法研究[D].安徽大学.2018
[5].朱嘉诚,靳阳明,黄绪杰,刘全,沈为民.宽波段凸面闪耀光栅优化设计[J].红外与激光工程.2017
[6].聂秋玉.近红外MEMS闪耀光栅的设计与制作[J].西南大学学报(自然科学版).2017
[7].张瑞,王志斌,温廷敦,张敏娟,李克武.基于二维激光告警的闪耀光栅设计[J].红外与激光工程.2016
[8].吴博琦,董连和,孙艳军,冷雁冰,王丽.用于激光防护非逆向反射双层闪耀光栅的研究[J].光电子·激光.2016
[9].胡进,董晓轩,浦东林,申溯,陈林森.基于闪耀光栅图形化实现高分辨率干涉光刻[J].光学精密工程.2015
[10].高霞,王志斌.对透射闪耀光栅的傅里叶分析[J].电子世界.2014
论文知识图
