论文摘要
为实现表面微观形貌快速而较简单的检测,一种使用非平行光干涉照明的光学显微三维形貌检测方法被提出。该方法使用空间光调制器对激光光束进行衍射,选取光强相近的2个衍射级通过显微物镜,双光束干涉可得到周期接近图像分辨率、相位可精确调节的照明条纹,被测样本的三维形貌可通过拍摄4帧等相位差的条纹照明图像来计算得到。该方法不需借助干涉物镜产生条纹,不需要轴向扫描装置记录条纹变化,相位调节精确,成像直观。此外,该方法所产生干涉条纹的相位随坐标线性变化,不需对条纹周期进行修正。因为照明条纹参数调节光路独立于显微成像光路,系统装置具有光路简洁、易于调节的优点。为验证所提出三维检测精度,以粗糙度100 nm的粗糙度对比模块和硅片为被测样品进行了三维轮廓重建实验,实验结果显示,所提出方法轴向重复性测量精度为8.6 nm(2σ)。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 潘晖,屈玉福
关键词: 显微镜,三维检测,结构光投影,四步相移法
来源: 应用光学 2019年03期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 仪器仪表工业,计算机软件及计算机应用
单位: 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
基金: 国家自然科学基金(51675033)
分类号: TP391.41;TH742
页码: 422-428
总页数: 7
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