全文摘要
本实用新型公开一种MEMS麦克风和应用该MEMS麦克风的电子设备。其中，MEMS麦克风包括外部封装结构和设于所述外部封装结构内的MEMS芯片，所述外部封装结构包括电路板，所述电路板开设有供外部声波传入的进声孔，所述MEMS麦克风还包括防护网组件，所述防护网组件罩盖所述进声孔。本实用新型的技术方案可避免水和异物由进声孔进入MEMS麦克风，避免MEMS麦克风工作异常。
主设计要求
1.一种MEMS麦克风，包括外部封装结构和设于所述外部封装结构内的MEMS芯片，所述外部封装结构包括电路板，所述电路板开设有供外部声波传入的进声孔，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括防护网组件，所述防护网组件罩盖所述进声孔。
设计方案
1.一种MEMS麦克风，包括外部封装结构和设于所述外部封装结构内的MEMS芯片，所述外部封装结构包括电路板，所述电路板开设有供外部声波传入的进声孔，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括防护网组件，所述防护网组件罩盖所述进声孔。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述电路板的邻近所述进声孔的表面开设有安装槽，所述安装槽环绕所述进声孔设置，所述防护网组件安装于所述安装槽。
3.如权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防护网组件包括支撑圈和罩盖所述支撑圈的防护网，所述支撑圈安装于所述安装槽内，所述防护网罩盖所述进声孔。
4.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，定义所述支撑圈的厚度为D，则满足条件：8μm≤D≤300μm。
5.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，定义所述防护网的厚度为d，则满足条件：1μm≤d≤300μm。
6.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，定义所述安装槽的深度为H，则满足条件：8μm≤H≤300μm。
7.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑圈的表面与所述安装槽的槽壁之间设有胶黏层。
8.如权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述支撑圈为金属支撑圈或塑料支撑圈；
且\/或，所述防护网为金属防护网或塑料防护网。
9.如权利要求1至8中任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述防护网组件设于所述电路板的背离所述MEMS芯片的一侧表面。
10.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的MEMS麦克风。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及传感器技术领域，特别涉及一种MEMS麦克风和应用该MEMS麦克风的电子设备。
背景技术
传感器作为检测器件，现已普遍应用在手机、笔记本电脑、平板电脑以及穿戴设备之中。近年来，随着科技的快速发展，微机电系统(MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem)应运而生，MEMS麦克风(一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器)便是其中之一，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。现有的MEMS麦克风，其外部封装结构普遍开设有供外部声波传入的进声孔，但是进声孔处却未设置任何防护结构，这样容易导致水或者异物进入，造成MEMS麦克风工作异常。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提供一种MEMS麦克风，旨在避免水和异物由进声孔进入MEMS麦克风，避免MEMS麦克风工作异常。
为实现上述目的，本实用新型提出的MEMS麦克风包括外部封装结构和设于所述外部封装结构内的MEMS芯片，所述外部封装结构包括电路板，所述电路板开设有供外部声波传入的进声孔，所述MEMS麦克风还包括防护网组件，所述防护网组件罩盖所述进声孔。
在本实用新型一实施例中，所述电路板的邻近所述进声孔的表面开设有安装槽，所述安装槽环绕所述进声孔设置，所述防护网组件安装于所述安装槽。
在本实用新型一实施例中，所述防护网组件包括支撑圈和罩盖所述支撑圈的防护网，所述支撑圈安装于所述安装槽内，所述防护网罩盖所述进声孔。
在本实用新型一实施例中，定义所述支撑圈的厚度为D，则满足条件：8μm≤D≤300μm。
在本实用新型一实施例中，定义所述防护网的厚度为d，则满足条件：1μm≤d≤300μm。
在本实用新型一实施例中，定义所述安装槽的深度为H，则满足条件：8μm≤H≤300μm。
在本实用新型一实施例中，所述支撑圈的表面与所述安装槽的槽壁之间设有胶黏层。
在本实用新型一实施例中，所述支撑圈为金属支撑圈或塑料支撑圈；
且\/或，所述防护网为金属防护网或塑料防护网。
在本实用新型一实施例中，所述防护网组件设于所述电路板的背离所述MEMS芯片的一侧表面。
本实用新型还提出一种电子设备，该电子设备包括MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括外部封装结构和设于所述外部封装结构内的MEMS芯片，所述外部封装结构包括电路板，所述电路板开设有供外部声波传入的进声孔，所述MEMS麦克风还包括防护网组件，所述防护网组件罩盖所述进声孔。
本实用新型的技术方案，防护网组件罩盖进声孔，这样，防护网组件可有效阻隔水和异物，避免水和异物由进声孔进入到MEMS芯片的内部，从而避免水和异物对MEMS芯片的工作性能造成不良影响。即，避免水和异物由进声孔进入MEMS麦克风，避免MEMS麦克风工作异常。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1为本实用新型MEMS麦克风一实施例的结构示意图；
图2为图1中Ⅱ处的放大图；
图3为图1中MEMS麦克风移除防护网组件后的结构示意图。
附图标号说明：
申请码:申请号:CN201920066143.0 申请日:2019-01-15 公开号:公开日:国家:CN 国家/省市:95(青岛) 授权编号:CN209105452U 授权时间:20190712 主分类号:H04R 19/04 专利分类号:H04R19/04 范畴分类:38B;39C; 申请人:歌尔科技有限公司 第一申请人:歌尔科技有限公司 申请人地址:266104 山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室 发明人:徐达 第一发明人:徐达 当前权利人:歌尔科技有限公司 代理人:胡海国 代理机构:44287 代理机构编号:深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 优先权:关键词:当前状态:审核中 类型名称:外观设计
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