论文摘要
精密微驱动器是微机电系统的核心部件,是实现微器件运动的关键。微驱动器的工作原理主要是利用物体的物性效应(物理效应、化学效应、生物效应等)实现对目的物的驱动与操作,本质就是将光、电、热等多种形式的能量转换成为机械能输出,是近几年研究的热点。文章全面综述了电热式、磁致伸缩、电磁、压电陶瓷、静电和形状记忆合金几种微位移驱动器的原理、结构、特性及应用领域。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 解甜,王传礼,喻曹丰
关键词: 微驱动器,静电驱动,形状记忆合金驱动,电磁驱动,电热驱动,压电驱动,超磁致伸缩驱动
来源: 微电机 2019年07期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,仪器仪表工业
单位: 安徽理工大学机械工程学院
基金: 国家自然科学基金(51075001),安徽理工大学青年教师科学研究基金(12870)
分类号: TH703;TB34
DOI: 10.15934/j.cnki.micromotors.2019.07.014
页码: 72-81
总页数: 10
文件大小: 506K
下载量: 471
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标签：微驱动器论文; 静电驱动论文; 形状记忆合金驱动论文; 电磁驱动论文; 电热驱动论文; 压电驱动论文; 超磁致伸缩驱动论文;