基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计

基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计

论文摘要

矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息。内部集成了HTCC调理电路,能够有效降低传感器耦合噪声,提高检测信号的信噪比。通过驻波管计量,MEMS复合式水听器的工作频率范围为20~1 000 Hz,矢量振速通道灵敏度为-170.5 d B@1 k Hz,标量声压通道灵敏度为-174.7 d B@1 k Hz。通过内嵌电路,信噪比提高了15 d B。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 MEMS复合同振型水听器
  •   1.1 MEMS振速芯片设计
  •   1.2 声压通道设计
  •   1.3 封装设计
  •   1.4 HTCC调理电路设计
  • 2 测试结果
  • 3 结束语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 张松,董自强,胡天宇,苗峻,李旭,朱林,唐立赫,张晓桐,王大宇

    关键词: 同振型,矢量水听器,高温共烧陶瓷内嵌电路

    来源: 无线电工程 2019年09期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅱ辑

    专业: 物理学,工业通用技术及设备

    单位: 中国电子科技集团公司第五十四研究所

    基金: 海洋公益行业科研专项基金资助项目(201305028)

    分类号: TB565.1

    页码: 829-833

    总页数: 5

    文件大小: 251K

    下载量: 74

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