全文摘要
本实用新型提供了一种晶圆洗边装置，包括：托架，配置以承托晶圆并带动晶圆旋转；以及卡针，可绕固定于所述托架的转轴转动，包括位于所述转轴两侧的重心端和卡合端；其中，所述卡针随所述托架旋转而在离心作用下相应转动，使得所述卡合端在所述晶圆背离所述托架的一面形成对于所述晶圆的夹持，通过卡针实现了对晶圆的定位并抑制了在晶圆在高速旋转时产生的抖动。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201921077822.4
申请日:2019-07-10
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209880558U
授权时间:20191231
主分类号:H01L21/67
专利分类号:H01L21/67;H01L21/687
范畴分类:38F;
申请人:德淮半导体有限公司
第一申请人:德淮半导体有限公司
申请人地址:223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
发明人:赵培培;吴明;林宗贤;郭松辉;朱晓彤;刘强
第一发明人:赵培培
当前权利人:德淮半导体有限公司
代理人:杨楷;毛立群
代理机构:31291
代理机构编号:上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计