一种大型真空镀膜连续线腔体论文和设计-熊凯

全文摘要

本实用新型公开了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在进样室的一端设置第一阀门；在进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；中间阀门的中间设置密封阀板；在中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，第二缓冲室设置第二阀门；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。

主设计要求

1.一种大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在所述的进样室的一端设置第一阀门；在所述的进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；所述的中间阀门的中间设置密封阀板；在所述的中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在所述的第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；所述的镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端。

设计方案

2.如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于；所述的进样室的前侧设置第一密封门；第一密封门与所述的进样室铰链连接。

3.如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的第一缓冲室的前侧设置第二密封门；在第二密封门设置第一主抽气口法兰。

4.如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的镀膜室的前端设置第三密封门；在所述的第三密封门上面设置分子泵抽气口连接法兰；在分子泵抽气口连接法兰中间设置第一真空镀膜装置连接口；在第三密封门的下方设置第二真空镀膜装置连接口。

5.如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的第二缓冲室的前侧设置第四密封门；在第四密封门设置第二主抽气口法兰。

6.如权利要求1所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的进样室、第一缓冲室、镀膜室以及第二缓冲室的上方均设置压力检测口。

7.如权利要求1-6中任一项所述的大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，所述的大型真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在所述的大型真空镀膜连续线腔体内部设置一传输线；用于所述的进样室至所述的第二缓冲室之间依次传递。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及大型真空镀膜设备，尤其涉及一种大型真空镀膜连续线腔体。

背景技术

在现有的真空镀膜设备中均采用单台设备装置进行生产，在现有的单台设备中都是采用单台的腔体，进行生产，生产效率低下，连续生产需要研制大型真空镀膜连续线腔体；如果要实现真空镀膜连续生产，就需要真空镀膜连续线腔体，在现有的技术中，都是单台腔体为主。为了实现连续生产，需要真空镀膜连续线腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型实现了一种大型真空镀膜连续线腔体，其特征在于，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在所述的进样室的一端设置第一阀门；在所述的进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；所述的中间阀门的中间设置密封阀板；在所述的中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在所述的第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；所述的镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，所述的第二缓冲室设置第二阀门。

进一步；所述的进样室的前侧设置第一密封门；第一密封门与所述的进样室铰链连接。

进一步，所述的第一缓冲室的前侧设置第二密封门；在第二密封门设置第一主抽气口法兰。

进一步，所述的镀膜室的前端设置第三密封门；在所述的第三密封门上面设置分子泵抽气口连接法兰；在分子泵抽气口连接法兰中间设置第一真空镀膜装置连接口；在第三密封门的下方设置第二真空镀膜装置连接口。

进一步，所述的第二缓冲室的前侧设置第四密封门；在第四密封门设置第二主抽气口法兰。

进一步，所述的进样室、第一缓冲室、镀膜室以及第二缓冲室的上方均设置压力检测口。

进一步，所述的大型真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在所述的大型真空镀膜连续线腔体内部设置一传输线；用于所述的进样室至所述的第二缓冲室之间依次传递。

在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。

附图说明

图1是本实用新型的立体图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是本实用新型的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合附图1-附图3所示，本实施例中提供了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进样室1；中间阀门2；第一缓冲室3；镀膜室4；第二缓冲室5；在进样室1的一端设置第一阀门6；在进样室1的另一端与中间阀门2的一端进行连接；中间阀门2的中间设置密封阀板7；在中间阀门2的另一端连接第一缓冲室3的一端，在第一缓冲室3的另一端连接镀膜室4的一端；镀膜室4的另一端连接第二缓冲室5的一端，第二缓冲室5设置第二阀门8；这样，在连续工作中，可以在进样室1中放入镀膜产品；并关上第一密封门9然后开始抽取真空，等第一缓冲室3的真空环境建立以后，然后通过传送系统将镀膜产品，并打开中间阀门2的状态下，送至第一缓冲室3内，并关上中间阀门2；此时，进样室1就可以再次放入镀膜产品；待镀膜室4的真空条件达到了镀膜所需的真空环境以后，依靠传送系统就可以将镀膜产品送至镀膜室4中；开始镀膜，以此同时，第一缓冲室3内已经有镀膜产品等待镀膜，待镀膜完成以后，将镀膜室4中的产品送至第二缓冲室5，进行真空环境的去除缓冲，直至达到常压下，打开第四密封门16，取出产品。从而实现了镀膜产品的连续生产。

结合附图2、附图3所示，为了实现上述的技术效果，进样室1的前侧设置第一密封门9；第一密封门9与进样室1铰链连接。在第一缓冲室3的前侧设置第二密封门10；在第二密封门10设置第一主抽气口法兰11；用于连接主抽气装置，快速的达到真空状态。在镀膜室4的前端设置第三密封门12；在第三密封门12上面设置分子泵抽气口连接法兰13；在分子泵抽气口连接法兰13中间设置第一真空镀膜装置连接口14；用于安装镀膜装置，在第三密封门13的下方设置第二真空镀膜装置连接口15。在第二缓冲室5的前侧设置第四密封门16；在第四密封门设置第二主抽气口法兰17。

结合附图3所示，为了更好的监控压力的变化，需要给压力传感器提供安装位置，为此在进样室1、第一缓冲室3、镀膜室4以及第二缓冲室5的上方均设置压力检测口18。

在本实施例中的大型真空镀膜连续线腔体内部连接成一直线状，在大型真空镀膜连续线腔体内部设置一传输线19；用于进样室1至第二缓冲室5之间依次传递镀膜产品。

作为本实用新型优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，也是本实用新型的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

设计图

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主设计要求

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